ದಿ ಅಡ್ವಾನ್ಸ್ಡ್SiC ಕ್ಯಾಂಟಿಲಿವರ್ ಪ್ಯಾಡಲ್ವೆಟ್-ಚೀನಾ ರಚಿಸಿದ ವೇಫರ್ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯು ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನೆಗೆ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಪರಿಹಾರವನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ. ಈ ಕ್ಯಾಂಟಿಲಿವರ್ ಪ್ಯಾಡಲ್ ಅನ್ನು SiC (ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್) ವಸ್ತುವಿನಿಂದ ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಇದರ ಹೆಚ್ಚಿನ ಗಡಸುತನ ಮತ್ತು ಶಾಖ ನಿರೋಧಕತೆಯು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ನಾಶಕಾರಿ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳಲು ಅನುವು ಮಾಡಿಕೊಡುತ್ತದೆ. ಕ್ಯಾಂಟಿಲಿವರ್ ಪ್ಯಾಡಲ್ನ ವಿನ್ಯಾಸವು ಸಂಸ್ಕರಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹವಾಗಿ ಬೆಂಬಲಿಸಲು ಅನುವು ಮಾಡಿಕೊಡುತ್ತದೆ, ಇದು ವಿಘಟನೆ ಮತ್ತು ಹಾನಿಯ ಅಪಾಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
SiC ಕ್ಯಾಂಟಿಲಿವರ್ ಪ್ಯಾಡಲ್ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ಕುಲುಮೆ, ಪ್ರಸರಣ ಕುಲುಮೆ ಮತ್ತು ಅನೀಲಿಂಗ್ ಕುಲುಮೆಯಂತಹ ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುವ ವಿಶೇಷ ಘಟಕವಾಗಿದೆ, ಮುಖ್ಯ ಬಳಕೆಯು ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ವೇಫರ್ ಲೋಡಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಇಳಿಸುವಿಕೆ, ಬೆಂಬಲ ಮತ್ತು ಸಾಗಣೆಗೆ ವೇಫರ್ಗಳಿಗೆ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಸಾಮಾನ್ಯ ರಚನೆಗಳುನಸಿ.ಐ.ಸಿ.cಆಂಟಿಲಿವರ್pಸೇರಿಸು: ಒಂದು ತುದಿಯಲ್ಲಿ ಸ್ಥಿರವಾಗಿರುವ ಮತ್ತು ಇನ್ನೊಂದು ತುದಿಯಲ್ಲಿ ಮುಕ್ತವಾಗಿರುವ ಕ್ಯಾಂಟಿಲಿವರ್ ರಚನೆಯು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಸಮತಟ್ಟಾದ ಮತ್ತು ಪ್ಯಾಡಲ್ ತರಹದ ವಿನ್ಯಾಸವನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತದೆ.
ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಖಾತರಿಪಡಿಸಲು VET ಎನರ್ಜಿಯು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಮರುಸ್ಫಟಿಕೀಕರಣಗೊಂಡ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ.
| ಮರುಸ್ಫಟಿಕೀಕರಿಸಿದ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ನ ಭೌತಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು | |
| ಆಸ್ತಿ | ವಿಶಿಷ್ಟ ಮೌಲ್ಯ |
| ಕೆಲಸದ ತಾಪಮಾನ (°C) | 1600°C (ಆಮ್ಲಜನಕದೊಂದಿಗೆ), 1700°C (ಪರಿಸರವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುವುದು) |
| SiC ವಿಷಯ | > 99.96% |
| ಉಚಿತ Si ವಿಷಯ | < 0.1% |
| ಬೃಹತ್ ಸಾಂದ್ರತೆ | ೨.೬೦-೨.೭೦ ಗ್ರಾಂ/ಸೆಂ.ಮೀ.3 |
| ಸ್ಪಷ್ಟ ರಂಧ್ರತ್ವ | < 16% |
| ಸಂಕೋಚನ ಶಕ್ತಿ | > 600ಎಂಪಿಎ |
| ಶೀತ ಬಾಗುವ ಶಕ್ತಿ | 80-90 MPa (20°C) |
| ಬಿಸಿ ಬಾಗುವ ಶಕ್ತಿ | 90-100 MPa (1400°C) |
| ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ @1500°C | 4.70 10-6/°ಸೆ |
| ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ @1200°C | 23ಪ/ಮೀ•ಕಿ |
| ಸ್ಥಿತಿಸ್ಥಾಪಕ ಮಾಡ್ಯುಲಸ್ | 240 ಜಿಪಿಎ |
| ಉಷ್ಣ ಆಘಾತ ನಿರೋಧಕತೆ | ತುಂಬಾ ಚೆನ್ನಾಗಿದೆ |
ವೇಫರ್ ಸಂಸ್ಕರಣೆಗಾಗಿ VET ಎನರ್ಜಿಯ ಸುಧಾರಿತ SiC ಕ್ಯಾಂಟಿಲಿವರ್ ಪ್ಯಾಡಲ್ನ ಅನುಕೂಲಗಳು:
-ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಸ್ಥಿರತೆ: 1600°C ಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಬಳಸಬಹುದಾಗಿದೆ;
- ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಗುಣಾಂಕ: ಆಯಾಮದ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಕಾಯ್ದುಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ, ವೇಫರ್ ವಾರ್ಪೇಜ್ ಅಪಾಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ;
-ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆ: ಲೋಹದ ಮಾಲಿನ್ಯದ ಕಡಿಮೆ ಅಪಾಯ;
-ರಾಸಾಯನಿಕ ಜಡತ್ವ: ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕ, ವಿವಿಧ ಅನಿಲ ಪರಿಸರಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ;
-ಹೆಚ್ಚಿನ ಶಕ್ತಿ ಮತ್ತು ಗಡಸುತನ: ಉಡುಗೆ-ನಿರೋಧಕ, ದೀರ್ಘ ಸೇವಾ ಜೀವನ;
-ಉತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ: ಏಕರೂಪದ ವೇಫರ್ ತಾಪನಕ್ಕೆ ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ.









