प्रगतएसआयसी कॅन्टिलीव्हर पॅडलव्हेट-चायनाने वेफर प्रोसेसिंगसाठी तयार केलेले हे उत्पादन सेमीकंडक्टर उत्पादनासाठी एक उत्कृष्ट उपाय प्रदान करते. हे कॅन्टिलीव्हर पॅडल एसआयसी (सिलिकॉन कार्बाइड) मटेरियलपासून बनलेले आहे आणि त्याची उच्च कठोरता व उष्णता प्रतिरोधकता यांमुळे ते उच्च तापमान आणि क्षरणकारी वातावरणातही उत्कृष्ट कार्यक्षमता टिकवून ठेवते. कॅन्टिलीव्हर पॅडलच्या डिझाइनमुळे प्रोसेसिंग दरम्यान वेफरला विश्वसनीयपणे आधार मिळतो, ज्यामुळे त्याचे तुकडे होण्याचा आणि नुकसान होण्याचा धोका कमी होतो.
एसआयसी कॅन्टिलीव्हर पॅडलहा एक विशेष घटक आहे जो ऑक्सिडेशन फर्नेस, डिफ्यूजन फर्नेस आणि ॲनीलिंग फर्नेस यांसारख्या सेमीकंडक्टर उत्पादन उपकरणांमध्ये वापरला जातो. याचा मुख्य उपयोग वेफर लोडिंग आणि अनलोडिंगसाठी, तसेच उच्च-तापमान प्रक्रियेदरम्यान वेफर्सना आधार देण्यासाठी आणि त्यांची वाहतूक करण्यासाठी होतो.
सामान्य संरचनाच्याएसआयसीcअँटीलिव्हरpगोंधळ: एका टोकाला स्थिर आणि दुसऱ्या टोकाला मुक्त असलेल्या कॅन्टिलीव्हर संरचनेची रचना सामान्यतः सपाट आणि वल्ह्यासारखी असते.
VET एनर्जी गुणवत्तेची हमी देण्यासाठी उच्च शुद्धतेच्या पुन:स्फटिकीकृत सिलिकॉन कार्बाइड सामग्रीचा वापर करते.
| पुनःस्फटिकीकृत सिलिकॉन कार्बाइडचे भौतिक गुणधर्म | |
| मालमत्ता | ठराविक मूल्य |
| कार्यरत तापमान (°C) | १६००°से (ऑक्सिजनसह), १७००°से (क्षपणकारी वातावरण) |
| SiC सामग्री | ९९.९६% |
| मोफत Si सामग्री | < ०.१% |
| स्थूल घनता | २.६०-२.७० ग्रॅम/सेमी3 |
| स्पष्ट सच्छिद्रता | < १६% |
| दाब शक्ती | ६००एमपीए |
| थंड वाकण्याची ताकद | ८०-९० एमपीए (२०°से) |
| गरम वाकण्याची ताकद | ९०-१०० एमपीए (१४००°से) |
| १५००°C तापमानावर औष्णिक प्रसरण | ४.७० १०-6/°C |
| औष्णिक वाहकता @१२००°C | २३डब्ल्यू/एम•के |
| लवचिक मापांक | २४० जीपीए |
| थर्मल शॉक रेझिस्टन्स | अत्यंत चांगले |
वेफर प्रोसेसिंगसाठी व्हीईटी एनर्जीच्या ॲडव्हान्स्ड एसआयसी कॅन्टिलीव्हर पॅडलचे फायदे खालीलप्रमाणे आहेत:
-उच्च तापमान स्थिरता: 1600°C पेक्षा जास्त तापमानाच्या वातावरणात वापरण्यायोग्य;
कमी औष्णिक प्रसरण गुणांक: आकारमान स्थिरता टिकवून ठेवते, ज्यामुळे वेफर वाकण्याचा धोका कमी होतो;
उच्च शुद्धता: धातूंच्या भेसळीचा धोका कमी;
-रासायनिक निष्क्रियता: गंजरोधक, विविध वायू वातावरणांसाठी उपयुक्त;
उच्च सामर्थ्य आणि कडकपणा: झीज-प्रतिरोधक, दीर्घायुषी;
-उत्तम औष्णिक वाहकता: वेफरला एकसमान उष्णता मिळण्यास मदत करते.
