വേഫർ പ്രോസസ്സിംഗിനുള്ള അഡ്വാൻസ്ഡ് SiC കാന്റിലിവർ പാഡിൽ

അഡ്വാൻസ്ഡ്SiC കാന്റിലിവർ പാഡിൽവെറ്റ്-ചൈന സൃഷ്ടിച്ച വേഫർ പ്രോസസ്സിംഗ്, സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണത്തിന് മികച്ച ഒരു പരിഹാരം നൽകുന്നു. ഈ കാന്റിലിവർ പാഡിൽ SiC (സിലിക്കൺ കാർബൈഡ്) മെറ്റീരിയൽ കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്, കൂടാതെ അതിന്റെ ഉയർന്ന കാഠിന്യവും താപ പ്രതിരോധവും ഉയർന്ന താപനിലയിലും നാശകരമായ അന്തരീക്ഷത്തിലും മികച്ച പ്രകടനം നിലനിർത്താൻ ഇതിനെ പ്രാപ്തമാക്കുന്നു. കാന്റിലിവർ പാഡിലിന്റെ രൂപകൽപ്പന പ്രോസസ്സിംഗ് സമയത്ത് വേഫറിനെ വിശ്വസനീയമായി പിന്തുണയ്ക്കാൻ അനുവദിക്കുന്നു, ഇത് വിഘടിക്കലിനും കേടുപാടുകൾക്കും സാധ്യത കുറയ്ക്കുന്നു.

SiC കാന്റിലിവർ പാഡിൽഓക്സിഡേഷൻ ഫർണസ്, ഡിഫ്യൂഷൻ ഫർണസ്, അനീലിംഗ് ഫർണസ് തുടങ്ങിയ സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ ഉപകരണങ്ങളിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന ഒരു പ്രത്യേക ഘടകമാണ് ഇത്, ഉയർന്ന താപനില പ്രക്രിയകളിൽ വേഫർ ലോഡുചെയ്യുന്നതിനും അൺലോഡുചെയ്യുന്നതിനും, പിന്തുണയ്ക്കുന്നതിനും വേഫറുകൾ കൊണ്ടുപോകുന്നതിനുമാണ് പ്രധാന ഉപയോഗം.

സാധാരണ ഘടനകൾയുടെസി.ഐ.സിcആന്റിലിവർpകൂട്ടുകൂടുക: ഒരു കാന്റിലിവർ ഘടന, ഒരു അറ്റത്ത് ഉറപ്പിച്ചതും മറ്റേ അറ്റത്ത് സ്വതന്ത്രവുമാണ്, സാധാരണയായി പരന്നതും പാഡിൽ പോലുള്ളതുമായ രൂപകൽപ്പനയാണ് ഇതിനുള്ളത്.

ഗുണനിലവാരം ഉറപ്പുനൽകുന്നതിനായി VET എനർജി ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള റീക്രിസ്റ്റലൈസ് ചെയ്ത സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് വസ്തുക്കൾ ഉപയോഗിക്കുന്നു.