QabaqcılSiC Konsol Avarçəkməvet-china tərəfindən yaradılan lövhə emalı yarımkeçirici istehsalı üçün əla bir həll təqdim edir. Bu konsol avar SiC (silikon karbid) materialından hazırlanmışdır və yüksək sərtliyi və istiliyə davamlılığı yüksək temperatur və korroziyalı mühitlərdə əla performansı qorumağa imkan verir. Konsol avarının dizaynı, emal zamanı lövhənin etibarlı şəkildə dəstəklənməsini təmin edir və parçalanma və zədələnmə riskini azaldır.
SiC Konsol Avarçəkməoksidləşmə sobası, diffuziya sobası və tavlama sobası kimi yarımkeçirici istehsal avadanlıqlarında istifadə olunan ixtisaslaşmış bir komponentdir, əsas istifadəsi lövhələrin yüklənməsi və boşaldılması, yüksək temperaturlu proseslər zamanı lövhələri dəstəkləməsi və nəql etməsi üçündür.
Ümumi strukturlar-ınSiCcanti-əbədipdayaq: Bir ucu sabit, digər ucu sərbəst olan konsol quruluşu, adətən, düz və avarçəkən dizayna malikdir.
VET Energy keyfiyyətə zəmanət vermək üçün yüksək təmizlikli yenidən kristallaşdırılmış silikon karbid materiallarından istifadə edir.
| Yenidən kristallaşdırılmış silikon karbidin fiziki xüsusiyyətləri | |
| Əmlak | Tipik Dəyər |
| İş temperaturu (°C) | 1600°C (oksigenlə), 1700°C (reduksiya mühiti) |
| SiC tərkibi | > 99.96% |
| Pulsuz Si məzmunu | <0.1% |
| Toplu sıxlıq | 2.60-2.70 q/sm33 |
| Görünən məsaməlilik | < 16% |
| Sıxılma gücü | > 600MPa |
| Soyuq əyilmə gücü | 80-90 MPa (20°C) |
| İsti əyilmə gücü | 90-100 MPa (1400°C) |
| Termal genişlənmə @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| İstilik keçiriciliyi @1200°C | 23W/m•K |
| Elastik modul | 240 GPa |
| Termal şoka davamlılıq | Son dərəcə yaxşı |
VET Energy şirkətinin lövhə emalı üçün qabaqcıl SiC konsol avarının üstünlükləri aşağıdakılardır:
-Yüksək temperatur sabitliyi: 1600°C-dən yuxarı mühitlərdə istifadəyə yararlıdır;
-Aşağı istilik genişlənmə əmsalı: ölçülü sabitliyi qoruyur, lövhənin əyilmə riskini azaldır;
-Yüksək təmizlik: metal çirklənməsi riski daha aşağıdır;
-Kimyəvi inertlik: korroziyaya davamlı, müxtəlif qaz mühitləri üçün uyğundur;
-Yüksək möhkəmlik və sərtlik: Aşınmaya davamlı, uzun xidmət müddəti;
-Yaxşı istilik keçiriciliyi: lövhənin vahid istiləşməsinə kömək edir.
