Padl Cantilever SiC Uwch ar gyfer Prosesu Wafer

Disgrifiad Byr:

Mae'r Padl Cantilever SiC Uwch ar gyfer Prosesu Wafferi a lansiwyd gan vet-china yn defnyddio deunyddiau SiC uwch-dechnoleg i wella effeithlonrwydd a chywirdeb prosesu wafferi. Mae padl cantilever Vet-china yn cynnwys ymwrthedd gwres a gwrthiant cyrydiad rhagorol, gan sicrhau perfformiad trin wafferi sefydlog mewn amgylcheddau gweithgynhyrchu llym, gan ei wneud yn ddewis delfrydol ar gyfer gwella cynnyrch cynhyrchu.


Manylion Cynnyrch

Tagiau Cynnyrch

Yr UwchPadl Cantilever SiCMae Prosesu Wafer a grëwyd gan vet-china yn darparu ateb rhagorol ar gyfer gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion. Mae'r padl cantilever hwn wedi'i wneud o ddeunydd SiC (silicon carbide), ac mae ei galedwch uchel a'i wrthwynebiad gwres yn ei alluogi i gynnal perfformiad rhagorol mewn amgylcheddau tymheredd uchel a chyrydol. Mae dyluniad y Padl Cantilever yn caniatáu i'r wafer gael ei gynnal yn ddibynadwy yn ystod y prosesu, gan leihau'r risg o ddarnio a difrod.

Padl Cantilever SiCyn gydran arbenigol a ddefnyddir mewn offer gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion fel ffwrnais ocsideiddio, ffwrnais trylediad, a ffwrnais anelio, y prif ddefnydd yw llwytho a dadlwytho wafferi, cynnal a chludo wafferi yn ystod prosesau tymheredd uchel.

Strwythurau cyffredinoSiCcgwrthlifwrpaddoli: Mae gan strwythur cantilifer, wedi'i osod ar un pen ac yn rhydd ar y pen arall, ddyluniad gwastad a thebyg i badlau fel arfer.

Mae VET Energy yn defnyddio deunyddiau silicon carbid wedi'u hailgrisialu o burdeb uchel i warantu'r ansawdd.

Priodweddau ffisegol Silicon Carbide wedi'i Ailgrisialu

Eiddo

Gwerth Nodweddiadol

Tymheredd gweithio (°C)

1600°C (gydag ocsigen), 1700°C (amgylchedd lleihaol)

Cynnwys SiC

> 99.96%

Cynnwys Si am ddim

< 0.1%

Dwysedd swmp

2.60-2.70 g/cm3

Mandylledd ymddangosiadol

< 16%

Cryfder cywasgu

> 600MPa

Cryfder plygu oer

80-90 MPa (20°C)

Cryfder plygu poeth

90-100 MPa (1400°C)

Ehangu thermol @1500°C

4.70 10-6/°C

Dargludedd thermol @1200°C

23W/m•K

Modwlws elastig

240 GPa

Gwrthiant sioc thermol

Eithriadol o dda

Manteision Padl Cantilever SiC Uwch VET Energy ar gyfer Prosesu Wafer yw:

-Sefydlogrwydd tymheredd uchel: gellir ei ddefnyddio mewn amgylcheddau uwchlaw 1600°C;

-Cyfernod ehangu thermol isel: yn cynnal sefydlogrwydd dimensiynol, gan leihau'r risg o ystumio wafer;

-Purdeb uchel: risg is o halogiad metel;

-Anadweithiolrwydd cemegol: gwrthsefyll cyrydiad, addas ar gyfer amrywiol amgylcheddau nwy;

-Cryfder a chaledwch uchel: Gwrthsefyll traul, bywyd gwasanaeth hir;

-Dargludedd thermol da: yn helpu i gynhesu wafer unffurf.

Padl Cantilever10
Padl Cantilever16
研发团队2
生产设备1
Ystyr geiriau: 公司客户1

  • Blaenorol:
  • Nesaf:

  • Sgwrs Ar-lein WhatsApp!