พาย Cantilever SiC ขั้นสูงสำหรับการประมวลผลเวเฟอร์

คำอธิบายสั้น ๆ :

พายแคนติเลเวอร์ซิลิกอนขั้นสูงสำหรับการประมวลผลเวเฟอร์ที่เปิดตัวโดย Vet-china ใช้วัสดุซิลิกอนไฮเทคเพื่อปรับปรุงประสิทธิภาพและความแม่นยำของการประมวลผลเวเฟอร์ พายแคนติเลเวอร์ของ Vet-china มีคุณสมบัติทนความร้อนและทนต่อการกัดกร่อนได้ดีเยี่ยม ช่วยให้จัดการเวเฟอร์ได้อย่างเสถียรในสภาพแวดล้อมการผลิตที่รุนแรง จึงเป็นตัวเลือกที่เหมาะสำหรับการปรับปรุงผลผลิต

ส่งอีเมล์ถึงเรา ดาวน์โหลดเป็น PDF

รายละเอียดสินค้า

แท็กสินค้า

ขั้นสูงพายแคนติลีเวอร์ SiCสำหรับการแปรรูปเวเฟอร์ที่คิดค้นโดย Vet-china ถือเป็นโซลูชันที่ยอดเยี่ยมสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ พายแคนติเลเวอร์นี้ทำจากวัสดุ SiC (ซิลิกอนคาร์ไบด์) และความแข็งและทนความร้อนสูงทำให้รักษาประสิทธิภาพที่ยอดเยี่ยมในอุณหภูมิสูงและสภาพแวดล้อมที่กัดกร่อนได้ การออกแบบของพายแคนติเลเวอร์ช่วยให้เวเฟอร์ได้รับการรองรับอย่างน่าเชื่อถือระหว่างการแปรรูป ซึ่งช่วยลดความเสี่ยงของการแตกเป็นเสี่ยงและความเสียหาย

พายแคนติลีเวอร์ SiCเป็นส่วนประกอบเฉพาะทางที่ใช้ในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เช่น เตาออกซิเดชัน เตาแพร่ และเตาอบอ่อน โดยการใช้งานหลักคือการโหลดและขนถ่ายเวเฟอร์ รองรับและขนส่งเวเฟอร์ระหว่างกระบวนการอุณหภูมิสูง

โครงสร้างทั่วไปของซิลิคอนคาร์ไบด์cแอนตี้คันโยกpแอ๊ดเดิล: โครงสร้างยื่นที่ยึดอยู่ที่ปลายด้านหนึ่งและอิสระที่อีกด้านหนึ่ง โดยทั่วไปจะมีการออกแบบแบบแบนและคล้ายใบพาย

VET Energy ใช้ซิลิกอนคาร์ไบด์ที่ตกผลึกใหม่ที่มีความบริสุทธิ์สูงเพื่อรับประกันคุณภาพ

คุณสมบัติทางกายภาพของซิลิกอนคาร์ไบด์ที่ตกผลึกใหม่
คุณสมบัติ	ค่าทั่วไป
อุณหภูมิการทำงาน (°C)	1,600°C (ด้วยออกซิเจน), 1,700°C (สภาพแวดล้อมที่ลดลง)
เนื้อหา SiC	> 99.96%
เนื้อหา SI ฟรี	< 0.1%
ความหนาแน่นเป็นกลุ่ม	2.60-2.70 ก./ซม.³
ความพรุนที่เห็นได้ชัด	< 16%
ความแข็งแรงของการบีบอัด	> 600เมกะปาสคาล
ความแข็งแรงดัดเย็น	80-90 เมกะปาสคาล (20 องศาเซลเซียส)
ความแข็งแรงการดัดร้อน	90-100 MPa (1400°C)
การขยายตัวเนื่องจากความร้อน @1500°C	4.70 10^-6/°ซ
การนำความร้อน @1200°C	23ว/ม•เค
โมดูลัสยืดหยุ่น	เกรดเฉลี่ย 240
ทนทานต่อแรงกระแทกจากความร้อน	ดีมากเลย