ใบพัดแบบคานยื่น SiC ขั้นสูงสำหรับกระบวนการผลิตเวเฟอร์

คำอธิบายโดยย่อ:

แผ่นพายแบบคานยื่น SiC ขั้นสูงสำหรับกระบวนการผลิตเวเฟอร์ที่เปิดตัวโดย vet-china ใช้วัสดุ SiC เทคโนโลยีขั้นสูงเพื่อปรับปรุงประสิทธิภาพและความแม่นยำในกระบวนการผลิตเวเฟอร์ แผ่นพายแบบคานยื่นของ vet-china มีคุณสมบัติทนความร้อนและทนการกัดกร่อนได้ดีเยี่ยม ทำให้มั่นใจได้ถึงประสิทธิภาพการจัดการเวเฟอร์ที่เสถียรในสภาพแวดล้อมการผลิตที่รุนแรง จึงเป็นตัวเลือกที่เหมาะสมสำหรับการเพิ่มผลผลิต

ส่งอีเมลถึงเรา ดาวน์โหลดเป็นไฟล์ PDF

รายละเอียดสินค้า

แท็กสินค้า

ขั้นสูงใบพายคานยื่น SiCอุปกรณ์รองรับเวเฟอร์แบบคานยื่น (Cantilever Paddle) ที่ผลิตโดย vet-china เป็นโซลูชันที่ยอดเยี่ยมสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ อุปกรณ์นี้ทำจากวัสดุ SiC (ซิลิคอนคาร์ไบด์) ซึ่งมีความแข็งและความทนทานต่อความร้อนสูง ทำให้สามารถทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพในอุณหภูมิสูงและสภาพแวดล้อมที่มีฤทธิ์กัดกร่อน การออกแบบของอุปกรณ์รองรับเวเฟอร์แบบคานยื่นนี้ช่วยรองรับเวเฟอร์ได้อย่างมั่นคงในระหว่างกระบวนการผลิต ลดความเสี่ยงต่อการแตกหักและความเสียหาย

ใบพายคานยื่น SiCเป็นส่วนประกอบเฉพาะที่ใช้ในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เช่น เตาออกซิเดชัน เตาแพร่ และเตาอบอ่อน โดยมีวัตถุประสงค์หลักคือการโหลดและขนถ่ายเวเฟอร์ รองรับและขนส่งเวเฟอร์ระหว่างกระบวนการที่อุณหภูมิสูง

โครงสร้างทั่วไปของซีซีcคานต้านpยุ่งเหยิง: โครงสร้างแบบคานยื่น ซึ่งยึดปลายด้านหนึ่งไว้และปล่อยให้ปลายอีกด้านหนึ่งเป็นอิสระ โดยทั่วไปจะมีลักษณะแบนและคล้ายใบพาย

VET Energy ใช้วัสดุซิลิคอนคาร์ไบด์ที่ผ่านกระบวนการตกผลึกใหม่ที่มีความบริสุทธิ์สูง เพื่อรับประกันคุณภาพ

คุณสมบัติทางกายภาพของซิลิคอนคาร์ไบด์ที่ตกผลึกใหม่
คุณสมบัติ	ค่าทั่วไป
อุณหภูมิใช้งาน (°C)	1600°C (มีออกซิเจน), 1700°C (สภาพแวดล้อมแบบรีดิวซ์)
ปริมาณ SiC	> 99.96%
เนื้อหา Si ฟรี	< 0.1%
ความหนาแน่นรวม	2.60-2.70 กรัม/ซม.³
ความพรุนที่ปรากฏ	< 16%
ความแข็งแรงในการรับแรงอัด	> 600เมกะปาสคาล
ความแข็งแรงดัดเย็น	80-90 เมกะปาสคาล (20°C)
ความแข็งแรงดัดร้อน	90-100 เมกะปาสคาล (1400°C)
การขยายตัวเนื่องจากความร้อนที่ 1500°C	4.70 10^-6/°C
ค่าการนำความร้อนที่ 1200°C	23ว/ม•เค
โมดูลัสความยืดหยุ่น	240 จีพีเอ
ความต้านทานต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างฉับพลัน	ดีเยี่ยม