የላቀውየሲሲ ካንቲሌቨር ፓድልበቬት-ቻይና የተፈጠረው ለዋፈር ፕሮሰሲንግ ለሴሚኮንዳክተር ማምረቻ በጣም ጥሩ መፍትሄ ይሰጣል። ይህ ካንቲሌቨር ፓድል ከሲሲ (ሲሊከን ካርቦይድ) ቁሳቁስ የተሰራ ሲሆን ከፍተኛ ጥንካሬው እና የሙቀት መቋቋም በከፍተኛ ሙቀት እና በዝገት አካባቢዎች ውስጥ እጅግ በጣም ጥሩ አፈፃፀም እንዲኖር ያስችለዋል። የካንቲሌቨር ፓድል ዲዛይን ዋፈር በሚሰራበት ጊዜ በአስተማማኝ ሁኔታ እንዲደገፍ ያስችለዋል፣ ይህም የመበታተን እና የመጎዳት አደጋን ይቀንሳል።
የሲሲ ካንቲሌቨር ፓድልእንደ ኦክሲዴሽን እቶን፣ የስርጭት እቶን እና የአኒሊንግ እቶን ባሉ ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መሳሪያዎች ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውል ልዩ አካል ሲሆን ዋናው ጥቅም ለዋፈር ጭነት እና ማራገፍ፣ በከፍተኛ ሙቀት ሂደቶች ወቅት ዋፈርን ለመደገፍ እና ለማጓጓዝ ነው።
የተለመዱ መዋቅሮችየሲሲcአንቲሌቨርpአድልድ: የካንቲሌቨር መዋቅር፣ በአንደኛው ጫፍ ላይ እና በሌላኛው ጫፍ ላይ ነፃ፣ በተለምዶ ጠፍጣፋ እና እንደ መቅዘፊያ የሚመስል ንድፍ አለው።
የVET ኃይል ጥራቱን ለማረጋገጥ ከፍተኛ ንፁህ የሆነ እንደገና የተገነቡ የሲሊኮን ካርቦይድ ቁሳቁሶችን ይጠቀማል።
| የሪሳይክልድ ሲሊከን ካርቦይድ አካላዊ ባህሪያት | |
| ንብረት | የተለመደው እሴት |
| የሥራ ሙቀት (°ሴ) | 1600°ሴ (ከኦክስጅን ጋር)፣ 1700°ሴ (የሚቀንስ አካባቢ) |
| የሲሲ ይዘት | > 99.96% |
| ነፃ የሲ ይዘት | < 0.1% |
| የጅምላ ጥግግት | 2.60-2.70 ግ/ሴሜ3 |
| ግልጽ የሆነ ቀዳዳ | < 16% |
| የመጭመቂያ ጥንካሬ | > 600MPa |
| የቀዝቃዛ መታጠፍ ጥንካሬ | 80-90 MPa (20°ሴ) |
| የሞቀ የማጠፍ ጥንካሬ | 90-100 MPa (1400°ሴ) |
| የሙቀት መስፋፋት @1500°ሴ | 4.70 10-6/°ሴ |
| የሙቀት ኮዳክቲቭነት @1200°ሴ | 23ወ/ሜ•ኬ |
| ኤላስቲክ ሞዱለስ | 240 ጂፒኤ |
| የሙቀት ድንጋጤ መቋቋም | እጅግ በጣም ጥሩ |
የVET Energy Advanced SiC Cantilever Paddle ለ Wafer Processing ጥቅሞች የሚከተሉት ናቸው፡
- ከፍተኛ የሙቀት መረጋጋት፡ ከ1600°ሴ በላይ በሆኑ አካባቢዎች ጥቅም ላይ ሊውል የሚችል፤
- ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት ኮፊሸንት፡- የልኬት መረጋጋትን ይጠብቃል፣ የዋፈር የጦርነት አደጋን ይቀንሳል፤
- ከፍተኛ ንፅህና፡ የብረት ብክለት አደጋ ዝቅተኛ;
- የኬሚካል ኢንተለጀንስ፡- ዝገት የሚቋቋም፣ ለተለያዩ የጋዝ አካባቢዎች ተስማሚ፤
- ከፍተኛ ጥንካሬ እና ጥንካሬ፡- ለረጅም ጊዜ የሚቆይ፣ ለረጅም ጊዜ የሚቆይ፣ የሚለብስ እና የሚቋቋም፤
- ጥሩ የሙቀት ማስተላለፊያ፡- ወጥ የሆነ የዋፈር ማሞቂያ እንዲኖር ይረዳል።
