የላቀSiC Cantilever መቅዘፊያለ Wafer Processing በ vet-china የተፈጠረው ለሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ጥሩ መፍትሄ ይሰጣል። ይህ የካንቴሌቨር መቅዘፊያ ከሲሲ (ሲሊኮን ካርቦይድ) ቁሳቁስ የተሰራ ነው፣ እና ከፍተኛ ጥንካሬው እና የሙቀት መከላከያው በከፍተኛ ሙቀት እና በቆሻሻ አካባቢዎች ውስጥ ጥሩ አፈፃፀም እንዲኖር ያስችለዋል። የ Cantilever Paddle ንድፍ በማቀነባበሪያው ወቅት ቫፈርን በአስተማማኝ ሁኔታ እንዲደገፍ ያስችለዋል, ይህም የመከፋፈል እና የመጎዳትን አደጋ ይቀንሳል.
SiC Cantilever መቅዘፊያበሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መሳሪያዎች ውስጥ እንደ ኦክሳይድ እቶን ፣ ማከፋፈያ እቶን እና ማቃጠያ ምድጃ ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውል ልዩ አካል ነው ፣ ዋናው ጥቅም ለዋፈር ጭነት እና ማራገፊያ ፣ ከፍተኛ ሙቀት ባለው ሂደቶች ውስጥ ዋፍሎችን ይደግፋል እና ያጓጉዛል።
የተለመዱ መዋቅሮችየሲሲcአንቲሊቨርpመደመር: በአንደኛው ጫፍ ላይ ተስተካክሎ በሌላኛው በኩል ደግሞ ነፃ የሆነ የካንትሪቨር መዋቅር በተለምዶ ጠፍጣፋ እና መቅዘፊያ መሰል ንድፍ አለው።
የ VET ኢነርጂ ጥራትን ለማረጋገጥ ከፍተኛ ንፅህናን እንደገና ክራስታላይዝድ የሲሊኮን ካርቦይድ ቁሳቁሶችን ይጠቀማል።
| የ Recrystalized ሲሊኮን ካርቦይድ አካላዊ ባህሪያት | |
| ንብረት | የተለመደ እሴት |
| የሥራ ሙቀት (° ሴ) | 1600°ሴ (ከኦክሲጅን ጋር)፣ 1700°C (አካባቢን የሚቀንስ) |
| የሲሲ ይዘት | > 99.96% |
| ነፃ የሲ ይዘት | <0.1% |
| የጅምላ እፍጋት | 2.60-2.70 ግ / ሴ.ሜ3 |
| ግልጽ porosity | < 16% |
| የመጨመቂያ ጥንካሬ | > 600MPa |
| ቀዝቃዛ መታጠፍ ጥንካሬ | 80-90 MPa (20°ሴ) |
| ትኩስ መታጠፍ ጥንካሬ | 90-100 MPa (1400°ሴ) |
| የሙቀት መስፋፋት @1500°C | 4.70 10-6/° ሴ |
| Thermal conductivity @1200°C | 23ወ/ም•ኬ |
| የመለጠጥ ሞጁሎች | 240 ጂፒኤ |
| የሙቀት ድንጋጤ መቋቋም | እጅግ በጣም ጥሩ |
የVET ኢነርጂ የላቀ የሲሲ ካንቲለር ፓድል ለዋፈር ማቀነባበሪያ ጥቅሞቹ፡-
- ከፍተኛ የሙቀት መጠን መረጋጋት: ከ 1600 ዲግሪ ሴንቲግሬድ በላይ በሆኑ አካባቢዎች ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላል;
ዝቅተኛ የሙቀት ማስፋፊያ ቅንጅት-የመለኪያ መረጋጋትን ይጠብቃል ፣ የዋፈር የመጥፋት አደጋን ይቀንሳል።
- ከፍተኛ ንፅህና: ዝቅተኛ የብረት ብክለት አደጋ;
- የኬሚካል ኢንቬንሽን: ዝገት-ተከላካይ, ለተለያዩ የጋዝ አካባቢዎች ተስማሚ;
- ከፍተኛ ጥንካሬ እና ጥንካሬ: መልበስ-የሚቋቋም, ረጅም የአገልግሎት ሕይወት;
- ጥሩ የሙቀት አማቂ conductivity: ወጥ wafer ማሞቂያ ውስጥ ይረዳል.









