A haladóSiC konzolos lapátA vet-china által létrehozott Wafer Processing kiváló megoldást kínál a félvezetőgyártáshoz. Ez a konzolos lapát SiC (szilícium-karbid) anyagból készült, és nagy keménysége és hőállósága lehetővé teszi, hogy kiváló teljesítményt nyújtson magas hőmérsékleten és korrozív környezetben. A konzolos lapát kialakítása lehetővé teszi a wafer megbízható alátámasztását a feldolgozás során, csökkentve a széttöredezés és a sérülés kockázatát.
SiC konzolos lapátegy speciális alkatrész, amelyet félvezetőgyártó berendezésekben, például oxidációs kemencékben, diffúziós kemencékben és lágyító kemencékben használnak, fő felhasználási területe a szeletek be- és kirakodása, valamint a szeletek megtartása és szállítása magas hőmérsékletű folyamatok során.
Közös struktúrákaSiccellensúlypmegrohaszt: Az egyik végén rögzített, a másikon szabad konzolos szerkezet jellemzően lapos és lapátszerű kialakítású.
A VET Energy nagy tisztaságú, átkristályosított szilícium-karbid anyagokat használ a minőség garantálása érdekében.
| Az átkristályosított szilícium-karbid fizikai tulajdonságai | |
| Ingatlan | Tipikus érték |
| Üzemi hőmérséklet (°C) | 1600°C (oxigénnel), 1700°C (redukáló környezetben) |
| SiC-tartalom | > 99,96% |
| Ingyenes Si-tartalom | < 0,1% |
| Térfogatsűrűség | 2,60-2,70 g/cm³3 |
| Látszólagos porozitás | < 16% |
| Nyomószilárdság | > 600MPa |
| Hideg hajlítószilárdság | 80-90 MPa (20°C) |
| Meleg hajlítószilárdság | 90-100 MPa (1400°C) |
| Hőtágulás 1500°C-on | 4,70 10-6/°C |
| Hővezető képesség 1200°C-on | 23W/m•K |
| Rugalmassági modulus | 240 GPa |
| Hősokk-állóság | Rendkívül jó |
A VET Energy fejlett SiC konzolos lapátjának előnyei szeletfeldolgozáshoz:
-Magas hőmérsékleti stabilitás: 1600°C feletti környezetben használható;
-Alacsony hőtágulási együttható: megőrzi a méretstabilitást, csökkentve az ostya vetemedésének kockázatát;
-Nagy tisztaság: alacsonyabb a fémszennyeződés kockázata;
-Kémiai inertség: korrózióálló, különféle gázkörnyezetekben használható;
-Nagy szilárdság és keménység: Kopásálló, hosszú élettartam;
-Jó hővezető képesség: elősegíti az ostyák egyenletes felmelegedését.
-
Kiváló súrlódási tulajdonságokkal rendelkező C/C kompozitok (CFCS)...
-
Hordozható 1000 W-os 24 V-os hidrogén üzemanyagcellás üzemanyagcella...
-
Kínai gyártó SiC bevonatú grafit MOCVD EP...
-
Az elektrolizáló cella gázdiffúziós rétege...
-
100 W-os üzemanyagcellás köteg 12 V-os hidrogénüzemű üzemanyag...
-
Nagy szilárdságú üvegszén-tégely nagy szilárdságú...



