Fortgeschratt SiC Cantilever Paddel fir Waferveraarbechtung

Kuerz Beschreiwung:

De Advanced SiC Cantilever Paddle fir Waferveraarbechtung, dee vu vet-china lancéiert gouf, benotzt High-Tech SiC-Materialien fir d'Effizienz an d'Prezisioun vun der Waferveraarbechtung ze verbesseren. De Cantilever Paddle vu Vet-china huet eng exzellent Hëtztbeständegkeet a Korrosiounsbeständegkeet, wat eng stabil Wafer-Handhabungsleistung an haarde Produktiounsëmfeld garantéiert, wouduerch en eng ideal Wiel ass fir d'Produktiounsertrag ze verbesseren.

Schéckt eis eng E-Mail Als PDF eroflueden

Produktdetailer

Produkt Tags

Déi FortgeschrattSiC Cantilever Paddelfir Waferveraarbechtung, déi vu vet-china erstallt gouf, bitt eng exzellent Léisung fir d'Hallefleederproduktioun. Dëse Cantilever-Paddel ass aus SiC (Siliziumkarbid)-Material gemaach, a seng héich Häert an Hëtztbeständegkeet erméiglechen et him, eng exzellent Leeschtung an héijen Temperaturen an a korrosiven Ëmfeld ze behalen. Den Design vum Cantilever-Paddel erlaabt et, datt de Wafer während der Veraarbechtung zouverlässeg ënnerstëtzt gëtt, wat de Risiko vu Fragmentéierung a Schied reduzéiert.

SiC Cantilever Paddelass eng spezialiséiert Komponent, déi an Ausrüstung fir d'Produktioun vu Hallefleeder wéi Oxidatiounsuewen, Diffusiounsuewen an Glühuewen benotzt gëtt, d'Haaptbenotzung ass fir Wafer ze belueden an ze entlueden, Ënnerstëtzung an Transport vu Waferen während Héichtemperaturprozesser.

Gemeinsam StrukturenvunSiCcAntileverpaddéieren: Eng Konsolestruktur, op engem Enn fix an op deem aneren Enn fräi, huet typescherweis e flaache a paddelähnleche Design.

VET Energy benotzt héichreine rekristalliséiert Siliziumcarbidmaterialien fir d'Qualitéit ze garantéieren.

Physikalesch Eegeschafte vu rekristalliséiertem Siliziumcarbid
Immobilie	Typesche Wäert
Aarbechtstemperatur (°C)	1600°C (mat Sauerstoff), 1700°C (reduzéierend Ëmwelt)
SiC-Gehalt	> 99,96%
Gratis Si-Inhalt	< 0,1%
Volumendicht	2,60-2,70 g/cm³³
Scheinbar Porositéit	< 16%
Kompressiounsstäerkt	> 600MPa
Kalt Biegefestigkeit	80-90 MPa (20°C)
Hëtzt Biegefestigkeit	90-100 MPa (1400°C)
Thermesch Expansioun @1500°C	4,70 10^-6/°C
Wärmeleitfäegkeet @1200°C	23 JoerW/m•K
Elastizitéitsmodul	240 GPa
Widderstand géint thermesch Schock	Extrem gutt