Fortgeschratt SiC Cantilever Paddel fir Waferveraarbechtung

Kuerz Beschreiwung:

De Advanced SiC Cantilever Paddle fir Waferveraarbechtung, dee vu vet-china lancéiert gouf, benotzt High-Tech SiC-Materialien fir d'Effizienz an d'Prezisioun vun der Waferveraarbechtung ze verbesseren. De Cantilever Paddle vu Vet-china huet eng exzellent Hëtztbeständegkeet a Korrosiounsbeständegkeet, wat eng stabil Wafer-Handhabungsleistung an haarde Produktiounsëmfeld garantéiert, wouduerch en eng ideal Wiel ass fir d'Produktiounsertrag ze verbesseren.


Produktdetailer

Produkt Tags

Déi FortgeschrattSiC Cantilever Paddelfir Waferveraarbechtung, déi vu vet-china erstallt gouf, bitt eng exzellent Léisung fir d'Hallefleederproduktioun. Dëse Cantilever-Paddel ass aus SiC (Siliziumkarbid)-Material gemaach, a seng héich Häert an Hëtztbeständegkeet erméiglechen et him, eng exzellent Leeschtung an héijen Temperaturen an a korrosiven Ëmfeld ze behalen. Den Design vum Cantilever-Paddel erlaabt et, datt de Wafer während der Veraarbechtung zouverlässeg ënnerstëtzt gëtt, wat de Risiko vu Fragmentéierung a Schied reduzéiert.

SiC Cantilever Paddelass eng spezialiséiert Komponent, déi an Ausrüstung fir d'Produktioun vu Hallefleeder wéi Oxidatiounsuewen, Diffusiounsuewen an Glühuewen benotzt gëtt, déi haaptsächlech benotzt gëtt fir Wafer ze belueden an ze entlueden, Ënnerstëtzung an Transport vu Waferen während Héichtemperaturprozesser.

Gemeinsam StrukturenvunSiCcAntileverpaddéieren: Eng Konsolestruktur, op engem Enn fix an op deem aneren Enn fräi, huet typescherweis e flaache a paddelähnleche Design.

VET Energy benotzt héichreine rekristalliséiert Siliziumcarbidmaterialien fir d'Qualitéit ze garantéieren.

Physikalesch Eegeschafte vu rekristalliséiertem Siliziumcarbid

Immobilie

Typesche Wäert

Aarbechtstemperatur (°C)

1600°C (mat Sauerstoff), 1700°C (reduzéierend Ëmwelt)

SiC-Gehalt

> 99,96%

Gratis Si-Inhalt

< 0,1%

Volumendicht

2,60-2,70 g/cm³3

Scheinbar Porositéit

< 16%

Kompressiounsstäerkt

> 600MPa

Kalt Biegefestigkeit

80-90 MPa (20°C)

Hëtzt Biegefestigkeit

90-100 MPa (1400°C)

Thermesch Expansioun @1500°C

4,70 10-6/°C

Wärmeleitfäegkeet @1200°C

23 JoerW/m•K

Elastizitéitsmodul

240 GPa

Widderstand géint thermesch Schock

Extrem gutt

D'Virdeeler vum Advanced SiC Cantilever Paddle fir d'Waferveraarbechtung vu VET Energy sinn:

-Héich Temperaturstabilitéit: benotzbar an Ëmfeld iwwer 1600°C;

-Nidderegen thermeschen Ausdehnungskoeffizient: erhält d'dimensional Stabilitéit a reduzéiert de Risiko vu Waferverformung;

-Héich Rengheet: manner Risiko vu Metallkontaminatioun;

-Chemesch Inertitéit: korrosiounsbeständeg, gëeegent fir verschidden Gasëmfeld;

-Héich Stäerkt an Häert: Verschleißbeständeg, laang Liewensdauer;

-Gutt Wärmeleitfäegkeet: hëlleft bei enger gläichméisseger Wafererhëtzung.

Cantilever Paddel 10
Cantilever Paddel 16
研发团队2
生产设备1
公司客户1

  • Virdrun:
  • Weider:

  • WhatsApp Online Chat!