ብጁ የሲሲ ሽፋን በርሜል ሱስሴፕተር

በርሜል ተንጠልጣይእንደ MOCVD, MBE, CVD ባሉ ሴሚኮንዳክተር ኤፒታክሲያል የእድገት ሂደቶች ውስጥ ዋና አካል ነው. እሱ በዋነኝነት የሚያገለግለው ከፍተኛ ሙቀት ባለው የሙቀት ምላሽ ክፍሎች ውስጥ ቫፈርን ለመሸከም እና አንድ ወጥ እና የተረጋጋ የሙቀት መስክ አከባቢን ለማቅረብ ነው (እንደ ጋኤን ፣ ሲሲ ፣ ወዘተ. ያሉ) በትክክል መቀመጥን ለማረጋገጥ። ዋናው ተግባራቱ በትክክለኛ የሙቀት መስክ ቁጥጥር አማካኝነት ከፍተኛ የሆነ የዋፈር የሙቀት መጠንን ማሳካት ሲሆን ይህም ውፍረት፣ የዶፒንግ ትኩረት እና የክሪስታል መዋቅር የኤፒታክሲያል ስስ ፊልሞችን ተመሳሳይነት ማረጋገጥ ነው።

ይህንን ለማድረግ የኛን የፈጠራ ባለቤትነት ቴክኖሎጂ እንጠቀማለን።በርሜል ሱስሴፕተርእጅግ በጣም ከፍተኛ ንፅህና, ጥሩ የሽፋን ተመሳሳይነት እና እጅግ በጣም ጥሩ የአገልግሎት ህይወት, እንዲሁም ከፍተኛ የኬሚካል መከላከያ እና የሙቀት መረጋጋት ባህሪያት.

የኬሚካል መረጋጋትን ለማሻሻል VET ኢነርጂ ከፍተኛ ንፅህና ግራፋይት ከሲቪዲ-ሲሲ ሽፋን ጋር ይጠቀማል፡-

1. ከፍተኛ ንፅህና ግራፋይት ቁሳቁስ
ከፍተኛ የሙቀት ማስተላለፊያ (thermal conductivity): የግራፋይት የሙቀት መጠን ከሲሊኮን በሶስት እጥፍ ይበልጣል, ይህም ሙቀትን ከማሞቂያው ምንጭ ወደ ቫፈር በፍጥነት ማስተላለፍ እና የሙቀት ጊዜን ሊያሳጥር ይችላል.
የሜካኒካል ጥንካሬ፡ የአይሶስታቲክ ግፊት ግራፋይት ጥግግት ≥ 1.85 ግ/ሴሜ ³፣ ከፍተኛ ሙቀትን ከ1200 ℃ በላይ ያለ ቅርፀት መቋቋም የሚችል።

2. የሲቪዲ ሲሲ ሽፋን
A β - SiC ንብርብር በግራፋይት ላይ በኬሚካል ትነት ክምችት (CVD) ላይ ይመሰረታል, በንፅህና ≥ 99.99995%, የሽፋን ውፍረት ተመሳሳይነት ስህተት ከ± 5% ያነሰ ነው, እና የወለል ንጣፉ ከ Ra0.5um ያነሰ ነው.

3. የአፈጻጸም ማሻሻል፡-
የዝገት መቋቋም፡- እንደ Cl2፣ HCl፣ ወዘተ የመሳሰሉ ከፍተኛ የሚበሰብሱ ጋዞችን መቋቋም ይችላል፣ የጋኤን ኤፒታክሲን ዕድሜ በ NH3 አካባቢ በሦስት እጥፍ ማራዘም ይችላል።
የሙቀት መረጋጋት፡ የሙቀት መስፋፋት (4.5 × 10-6/℃) ከግራፋይት ጋር ይዛመዳል በሙቀት መለዋወጥ ምክንያት የሚፈጠረውን የሽፋን መሰንጠቅን ለማስወገድ።
ጠንካራነት እና የመልበስ መቋቋም፡ የቪከርስ ጥንካሬ 28 ጂፒኤ ይደርሳል፣ ይህም ከግራፋይት በ10 እጥፍ ከፍ ያለ እና የዋፈር መቧጨር አደጋን ሊቀንስ ይችላል።