Podpora za grafitne rezine PECVD

Izpostavljena slika nosilca grafitne rezine PECVD

Kratek opis:

Grafitni nosilec rezin VET Energy, zasnovan za natančnost in zmogljivost, je idealen material za uporabo pri napredni obdelavi rezin, kjer sta visoka toplotna stabilnost in dosledna zmogljivost ključnega pomena. Ne glede na to, ali delate s polprevodniškimi rezinami ali drugimi občutljivimi substrati, bo ta visokokakovosten grafitni nosilec izboljšal zanesljivost vašega procesa in kakovost izdelkov, zaradi česar je nepogrešljiv sestavni del sodobne proizvodnje.

Pošljite nam e-pošto Prenesi kot PDF

Podrobnosti o izdelku

Oznake izdelkov

Grafitna podlaga za rezine VET Energy PECVD je potrošni material za jedro, zasnovan za postopek PECVD (kemično nanašanje s plazmo). Ta izdelek je izdelan iz visoko čistega grafita visoke gostote, z odlično odpornostjo na visoke temperature, korozijsko odpornostjo, dimenzijsko stabilnostjo in drugimi lastnostmi, ter lahko zagotovi stabilno podporno platformo za postopek PECVD, da se zagotovi enakomernost in ravnost nanašanja filma.

Zasnova "grafitne podpore" grafitnega nosilca rezin VET Energy ne le učinkovito podpira rezino, temveč zagotavlja tudi toplotno stabilnost v okolju PECVD pri visoki temperaturi in visokem tlaku, da se zagotovi stabilnost procesa.

Grafitni nosilec rezin, izdelan po postopku VET Energy PECVD, ima naslednje značilnosti:

▪Visoka čistost:izjemno nizka vsebnost nečistoč, preprečuje kontaminacijo filma in zagotavlja kakovost filma.

▪Visoka gostota:visoka gostota, visoka mehanska trdnost, lahko prenese visoke temperature in visok tlak v okolju PECVD.

▪Dobra dimenzijska stabilnost:majhne dimenzijske spremembe pri visoki temperaturi, da se zagotovi stabilnost procesa.

▪Odlična toplotna prevodnost:učinkovito prenašajo toploto, da preprečijo pregrevanje rezin.

▪Močna odpornost proti koroziji:Odporen na erozijo zaradi različnih korozivnih plinov in plazme.

▪Prilagojena storitev:Grafitne podporne mize različnih velikosti in oblik je mogoče prilagoditi potrebam strank.

Grafitni material iz SGL:

Tipični parameter: R6510
Kazalo	Preskusni standard	Vrednost	Enota
Povprečna velikost zrn	ISO 13320	10	μm
Gostota v razsutem stanju	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Odprta poroznost	DIN66133	10	%
Srednja velikost por	DIN66133	1,8	μm
Prepustnost	DIN 51935	0,06	cm²/s
Trdota po Rockwellu HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Specifična električna upornost	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Upogibna trdnost	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Tlačna trdnost	DIN 51910	130	MPa
Youngov modul	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Toplotni raztezek (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2 x 10^-6	K^-1
Toplotna prevodnost (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Zasnovan je posebej za visoko učinkovito proizvodnjo sončnih celic in podpira obdelavo rezin velike velikosti G12. Optimizirana zasnova nosilcev znatno poveča prepustnost, kar omogoča višji izkoristek in nižje proizvodne stroške.

Predmet	Vrsta	Nosilec rezin s številko
PEVCD Grephite čoln - Serija 156	156-13 grefitni čoln	144
	156-19 gramofilasti čoln	216
	156-21 grefitni čoln	240
	Grafitni čoln 156-23	308
PEVCD čoln Grephite - serija 125	125-15 grefitni čoln	196
	125-19 gramofilasti čoln	252
	Grafitni čoln 125-21	280