Pangrojong Wafer Grafit PECVD

Gambar Unggulan Dukungan Wafer Grafit PECVD

Pedaran Singkat:

Dirancang pikeun presisi sareng kinerja, Pangrojong Wafer Grafit VET Energy mangrupikeun bahan anu idéal pikeun dianggo dina pamrosésan wafer canggih, dimana stabilitas termal anu luhur sareng kinerja anu konsisten penting pisan. Naha anjeun damel sareng wafer semikonduktor atanapi substrat anu hipu anu sanés, pangrojong grafit kualitas luhur ieu bakal ningkatkeun reliabilitas prosés sareng kualitas produk anjeun, jantenkeun komponén anu teu tiasa dipisahkeun pikeun manufaktur modéren.

Kirim email ka kami Unduh salaku PDF

Rincian Produk

Tag Produk

Pangrojong wafer grafit prosés VET Energy PECVD nyaéta bahan konsumsi inti anu dirancang pikeun prosés PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition). Produk ieu didamel tina bahan grafit kapadetan luhur sareng kemurnian luhur, kalayan résistansi suhu luhur anu saé, résistansi korosi, stabilitas diménsi sareng ciri-ciri sanésna, tiasa nyayogikeun platform pangrojong anu stabil pikeun prosés PECVD, pikeun mastikeun kaseragaman sareng karataan déposisi pilem.

Desain "pangrojong grafit" tina pangrojong wafer grafit VET Energy henteu ngan ukur tiasa ngadukung wafer sacara efektif, tapi ogé nyayogikeun stabilitas termal dina lingkungan PECVD suhu luhur sareng tekanan luhur pikeun mastikeun stabilitas prosés.

Pangrojong wafer grafit prosés VET Energy PECVD ngagaduhan ciri-ciri ieu:

▪Kamurnian luhur:eusi pangotor anu handap pisan, nyingkahan kontaminasi pilem, pikeun mastikeun kualitas pilem.

▪Kapadetan luhur:kapadetan luhur, kakuatan mékanis luhur, tiasa tahan suhu luhur sareng lingkungan PECVD tekanan tinggi.

▪Stabilitas diménsi anu saé:parobahan diménsi leutik dina suhu anu luhur pikeun mastikeun stabilitas prosés.

▪Konduktivitas termal anu saé:mindahkeun panas sacara efektif pikeun nyegah wafer panas teuing.

▪Résistansi korosi anu kuat:Mampu nolak erosi ku rupa-rupa gas korosif sareng plasma.

▪Layanan khusus:Méja pangrojong grafit tina rupa-rupa ukuran sareng bentuk tiasa disaluyukeun numutkeun kabutuhan konsumén.

Bahan grafit tina SGL:

Parameter has: R6510
Indéks	Standar tés	Nilai	Unit
Ukuran butir rata-rata	ISO 13320	10	μm
Kapadetan curah	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Porositas kabuka	DIN66133	10	%
Ukuran pori sedeng	DIN66133	1.8	μm
Permeabilitas	DIN 51935	0.06	cm²/dtk
Karasa Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Résistansi listrik spésifik	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Kakuatan fléksibel	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Kakuatan komprési	DIN 51910	130	MPa
Modulus Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Ékspansi termal (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Konduktivitas termal (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Ieu dirancang khusus pikeun manufaktur sél surya efisiensi tinggi, ngadukung pamrosésan wafer ukuran ageung G12. Desain pamawa anu dioptimalkeun sacara signifikan ningkatkeun throughput, ngamungkinkeun tingkat hasil anu langkung luhur sareng biaya produksi anu langkung handap.

Barang	Tipe	Pembawa wafer nomer
Parahu PEVCD Grefit - Séri 156	156-13 parahu grefit	144
	156-19 parahu grefit	216
	156-21 parahu grefit	240
	Parahu grafit 156-23	308
Parahu PEVCD Grefit - Séri 125	Parahu grefit 125-15	196
	Parahu grefit 125-19	252
	Parahu grifit 125-21	280