Що таке покриття SIC?

Карбід кремнію– це тверда сполука, що містить кремній та вуглець, яка зустрічається в природі як надзвичайно рідкісний мінерал муассаніт. Частинки карбіду кремнію можна з'єднувати спіканням, утворюючи дуже тверду кераміку, яка широко використовується в галузях, що вимагають високої міцності, особливо у виробництві напівпровідників.

Фізична структура SiC

Що таке покриття SiC?

Карбід кремнію (SiC) – це щільне, зносостійке карбід-кремнієве покриття з високою корозійною та термостійкістю, а також чудовою теплопровідністю. Це високочисте SiC-покриття в основному використовується в напівпровідниковій та електронній промисловості для захисту носіїв пластин, основ та нагрівальних елементів від агресивних та реакційних середовищ. SiC-покриття також підходить для вакуумних печей та нагрівання зразків у високому вакуумі, реакційних та кисневих середовищах.

Поверхневе покриття SiC високої чистоти

Що таке процес нанесення покриття SiC?

Тонкий шар карбіду кремнію наноситься на поверхню підкладки за допомогоюCVD (хімічне осадження з парової фази)Осадження зазвичай проводиться за температур 1200-1300°C, а теплове розширення матеріалу підкладки має бути сумісним з покриттям SiC, щоб мінімізувати термічне напруження.

КРИСТАЛІЧНА СТРУКТУРА CVD SIC ПЛІВКИ

Кристалічна структура плівки CVD SIC-покриття

Фізичні властивості покриття SiC головним чином відображаються в його стійкості до високих температур, твердості, корозійній стійкості та теплопровідності.

Типові фізичні параметри зазвичай такі:

ТвердістьКарбід кремнію (SiC) зазвичай має твердість за Віккерсом у діапазоні 2000-2500 HV, що забезпечує йому надзвичайно високу зносостійкість та ударостійкість у промисловому застосуванні.

ЩільністьКарбід кремнію (SiC) зазвичай має щільність 3,1-3,2 г/см³. Висока щільність сприяє механічній міцності та довговічності покриття.

ТеплопровідністьКарбід кремнію (SiC) має високу теплопровідність, зазвичай у діапазоні 120-200 Вт/мК (при 20°C). Це забезпечує йому хорошу теплопровідність у середовищах з високими температурами та робить його особливо придатним для обладнання для термічної обробки в напівпровідниковій промисловості.

Температура плавленняКарбід кремнію має температуру плавлення приблизно 2730°C і відмінну термостабільність за екстремальних температур.

Коефіцієнт теплового розширенняКарбід-кремнієві покриття мають низький лінійний коефіцієнт теплового розширення (КТР), зазвичай у діапазоні 4,0-4,5 мкм/мК (при 25-1000℃). Це означає, що їхня розмірна стабільність чудова за великих перепадів температур.

Стійкість до корозіїПокриття з карбіду кремнію надзвичайно стійкі до корозії в сильних кислотних, лужних та окислювальних середовищах, особливо при використанні сильних кислот (таких як HF або HCl), їхня корозійна стійкість значно перевищує стійкість звичайних металевих матеріалів.

Підкладка для нанесення покриття SiC

Карбід-кремнієве покриття часто використовується для покращення корозійної стійкості, стійкості до високих температур та плазмової ерозії підкладки. До поширених підкладок для застосування належать:

Тип основи	Причина заявки	Типове використання
Графіт	- Легка структура, хороша теплопровідність - Але легко піддається корозії плазмою, вимагає захисту покриттям SiC	Деталі вакуумних камер, графітові човники, лотки для плазмового травлення тощо.
Кварц (кварц/SiO₂)	- Висока чистота, але легко піддається корозії - Покриття підвищує стійкість до плазмової ерозії	Деталі камери CVD/PECVD
Кераміка (наприклад, глинозем Al₂O₃)	- Висока міцність та стабільна конструкція - Покриття покращує стійкість поверхні до корозії	Футеровка камери, арматура тощо.
Метали (такі як молібден, титан тощо)	- Хороша теплопровідність, але погана стійкість до корозії - Покриття покращує стабільність поверхні	Компоненти реакції спеціального процесу
Спечене тіло з карбіду кремнію (SiC в масі)	- Для середовищ з високими вимогами до складних умов праці - Покриття додатково покращує чистоту та стійкість до корозії	Високоякісні компоненти камер CVD/ALD

Вироби з покриттям SiC зазвичай використовуються в наступних галузях напівпровідників

Карбід-кремнієві покриття широко використовуються в обробці напівпровідників, головним чином у середовищах з високою температурою, високою корозією та сильною плазмою. Нижче наведено кілька основних процесів або галузей застосування та їхні короткі описи:

Процес/галузь подання заявки	Короткий опис	Функція покриття карбідом кремнію
Плазмове травлення (травлення)	Використовуйте гази на основі фтору або хлору для перенесення шаблонів	Захищають від плазмової ерозії та запобігають забрудненню частинками та металом
Хімічне осадження з парової фази (CVD/PECVD)	Осадження оксидних, нітридних та інших тонких плівок	Стійкість до агресивних газів-попередників та збільшення терміну служби компонентів
Камера фізичного осадження з парової фази (PVD)	Бомбардування високоенергетичними частинками під час процесу нанесення покриття	Покращення стійкості до ерозії та термостійкості реакційної камери
Процес MOCVD (наприклад, епітаксіальне вирощування SiC)	Тривала реакція за високої температури та корозійної атмосфери з високим вмістом водню	Підтримуйте стабільність обладнання та запобігайте забрудненню зростаючих кристалів
Процес термічної обробки (LPCVD, дифузія, відпал тощо)	Зазвичай проводиться при високій температурі та вакуумі/атмосфері	Захист графітових човників та лотків від окислення або корозії
Тримач/затискач для пластин (обробка пластин)	Графітова основа для перенесення або підтримки пластини	Зменшення виділення частинок та уникнення контактного забруднення
Компоненти камери ALD	Багаторазово та точно контролювати осадження атомного шару	Покриття підтримує чистоту камери та має високу стійкість до корозії до попередників

Чому варто обрати VET Energy?

VET Energy є провідним виробником, новатором та лідером у Китаї з виробництва карбід-кремнієвих покриттів, основними продуктами з карбід-кремнієвих покриттів є...носій пластини з покриттям SiC, покриття з карбіду кремніюепітаксіальний сусцептор, Графітове кільце з покриттям SiC, Півмісяцеві деталі з покриттям SiC, Вуглецево-вуглецевий композит з покриттям SiC, Човник з пластини з покриттям SiC, Нагрівач з покриттям SiCтощо. VET Energy прагне надавати напівпровідниковій промисловості найсучасніші технологічні та продуктові рішення, а також надає послуги з налаштування. Ми щиро сподіваємося стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.