Cad is sciath sic ann?

Carbaíd SileacainIs comhdhúil chrua í ina bhfuil sileacan agus carbón, agus a fhaightear sa nádúr mar an mianra thar a bheith annamh moissanite. Is féidir cáithníní cairbíde sileacain a nascadh le chéile trí shintéiriú chun criadóireacht an-chrua a fhoirmiú, a úsáidtear go forleathan in iarratais a éilíonn ard-mharthanacht, go háirithe i bpróiseas leathsheoltóra.

Struchtúr fisiceach SiC

Cad is sciath SiC ann?

Is sciath dlúth, frithsheasmhach in aghaidh caitheamh í sciath SiC a bhfuil friotaíocht ard creimeadh agus teasa agus seoltacht theirmeach den scoth aici. Úsáidtear an sciath SiC ard-íonachta seo go príomha i dtionscail leathsheoltóra agus leictreonaice chun iompróirí vaiféir, boinn agus eilimintí téimh a chosaint ó thimpeallachtaí creimneacha agus imoibríocha. Tá sciath SiC oiriúnach freisin le haghaidh foirnéisí folúis agus téamh samplaí i dtimpeallachtaí ardfholús, imoibríocha agus ocsaigine.

Dromchla sciath SiC ard-íonachta

Cad é an próiseas sciath SiC?

Déantar ciseal tanaí de charbaíd sileacain a thaisceadh ar dhromchla an tsubstráit ag baint úsáide asCVD (Taisceadh Ceimiceach Gaile)De ghnáth, déantar an taisceadh ag teochtaí 1200-1300°C agus ba cheart go mbeadh iompar leathnaithe teirmeach ábhar an tsubstráit comhoiriúnach leis an sciath SiC chun strus teirmeach a íoslaghdú.

STRUCHTÚR CRISTAL SCANNÁN CVD SIC

Scannán Sciatháin CVD SIC STRUCHTÚR CRISTAL

Léirítear airíonna fisiceacha sciath SiC den chuid is mó ina fhriotaíocht ardteochta, ina chruas, ina fhriotaíocht creimeadh agus ina sheoltacht theirmeach.

Is iad seo a leanas na paraiméadair fhisiciúla tipiciúla de ghnáth:

CruasDe ghnáth bíonn cruas Vickers ag sciath SiC idir 2000-2500 HV, rud a thugann friotaíocht thar a bheith ard dóibh in aghaidh caitheamh agus tionchair in iarratais thionsclaíocha.

DlúsDe ghnáth bíonn dlús 3.1-3.2 g/cm³ ag bratuithe SiC. Cuireann an dlús ard le neart meicniúil agus le marthanacht an sciath.

Seoltacht theirmeachTá seoltacht theirmeach ard ag bratuithe SiC, de ghnáth idir 120-200 W/mK (ag 20°C). Fágann sé seo go bhfuil seoltacht theirmeach mhaith acu i dtimpeallachtaí ardteochta agus go bhfuil siad oiriúnach go háirithe do threalamh cóireála teasa sa tionscal leathsheoltóra.

Pointe leáTá pointe leá de thart ar 2730°C ag cairbíd sileacain agus tá cobhsaíocht theirmeach den scoth aige ag teochtaí foircneacha.

Comhéifeacht Leathnaithe TeirmeachTá comhéifeacht líneach íseal leathnú teirmeach (CTE) ag bratuithe SiC, de ghnáth sa raon 4.0-4.5 µm/mK (sa raon 25-1000 ℃). Ciallaíonn sé seo go bhfuil a gcobhsaíocht tríthoiseach den scoth thar dhifríochtaí móra teochta.

Friotaíocht creimeadhTá bratuithe SiC thar a bheith frithsheasmhach in aghaidh creimeadh i dtimpeallachtaí aigéadacha láidre, alcaileacha agus ocsaídiúcháin, go háirithe agus aigéid láidre (amhail HF nó HCl) in úsáid, agus tá a bhfriotaíocht creimeadh i bhfad níos fearr ná friotaíocht ábhair mhiotail thraidisiúnta.

Foshraith feidhmchláir sciath SiC

Is minic a úsáidtear sciath SiC chun friotaíocht creimeadh, friotaíocht ardteochta, agus friotaíocht creimeadh plasma an tsubstráit a fheabhsú. Áirítear na nithe seo a leanas i measc na foshraitheanna coitianta úsáide:

Cineál foshraithe	Cúis an iarratais	Úsáid tipiciúil
Graifít	- Struchtúr éadrom, seoltacht theirmeach mhaith - Ach creimeann plasma go héasca é, teastaíonn cosaint sciath SiC uaidh	Páirteanna seomra folúis, báid graifíte, tráidirí greanta plasma, srl.
Grianchloch (Grianchloch/SiO₂)	- Ard-íonacht ach creimthe go héasca - Feabhsaíonn sciath friotaíocht creimeadh plasma	Páirteanna seomra CVD/PECVD
Criadóireacht (amhail alúmana Al₂O₃)	- Neart ard agus struchtúr cobhsaí - Feabhsaíonn sciath friotaíocht creimeadh dromchla	Líneáil seomra, daingneáin, etc.
Miotail (amhail moluibdín, tíotáiniam, srl.)	- Seoltacht theirmeach mhaith ach friotaíocht chreimeadh bocht - Feabhsaíonn sciath cobhsaíocht an dromchla	Comhpháirteanna imoibrithe próisis speisialta
Comhlacht sintéaraithe sileacain charbíde (SiC mórchóir)	- Do thimpeallachtaí a bhfuil ard-riachtanais acu maidir le dálaí oibre casta - Feabhsaíonn sciath íonacht agus friotaíocht creimeadh tuilleadh	Comhpháirteanna seomra CVD/ALD ardchaighdeáin

Úsáidtear táirgí brataithe SiC go coitianta sna réimsí leathsheoltóra seo a leanas

Úsáidtear táirgí sciath SiC go forleathan i bpróiseáil leathsheoltóra, go príomha i dtimpeallachtaí ardteochta, ardchreimthe agus plasma láidir. Seo a leanas roinnt príomhphróisis nó réimsí iarratais agus cur síos gairid orthu:

Próiseas/réimse iarratais	Cur síos gairid	Feidhm sciath sileacain charbíde
Greanadh plasma (Greanadh)	Úsáid gáis bunaithe ar fhluairín nó clóirín le haghaidh aistriú patrún	Seasamh a chur i gcoinne creimeadh plasma agus cosc a chur ar éilliú cáithníní agus miotail
Taisceadh gaile ceimiceach (CVD/PECVD)	Taisceadh ocsaíd, níotráite agus scannán tanaí eile	Seasamh a dhéanamh do gháis réamhtheachtaí creimneacha agus saolré na gcomhpháirteanna a mhéadú
Seomra taiscthe gaile fisiciúil (PVD)	Buamáil cáithníní ardfhuinnimh le linn an phróisis sciath	Feabhas a chur ar fhriotaíocht creimeadh agus ar fhriotaíocht teasa an tseomra imoibrithe
Próiseas MOCVD (amhail fás eipitacsach SiC)	Imoibriú fadtéarmach faoi theocht ard agus atmaisféar creimneach ard hidrigine	Cobhsaíocht trealaimh a choinneáil agus éilliú criostail atá ag fás a chosc
Próiseas cóireála teasa (LPCVD, scaipeadh, annealing, etc.)	De ghnáth déantar é ag teocht ard agus folús/atmaisféar	Cosain báid agus tráidirí graifíte ó ocsaídiú nó creimeadh
Iompróir/chuck vaiféir (láimhseáil vaiféir)	Bonn graifíte le haghaidh aistrithe nó tacaíochta vaiféir	Laghdaigh sceitheadh cáithníní agus seachain éilliú teagmhála
Comhpháirteanna seomra ALD	Rialú arís agus arís eile agus cruinn ar thaisceadh ciseal adamhach	Coinníonn an sciath an seomra glan agus tá friotaíocht ard creimeadh aige i gcoinne réamhtheachtaithe

Cén fáth a roghnófá VET Energy?

Is monaróir, nuálaí agus ceannaire ceannródaíoch táirgí sciath SiC sa tSín é VET Energy, agus áirítear ar na príomhtháirgí sciath SiCiompróir vaiféil le sciath SiC, brataithe le SiCgabhdóir eipitacsach, Fáinne graifíte brataithe SiC, Páirteanna leathghealach le sciath SiC, Ilchodach carbóin-charbóin brataithe SiC, Bád vaiféir brataithe SiC, Téitheoir brataithe SiC, srl. Tá VET Energy tiomanta do réitigh teicneolaíochta agus táirgí den scoth a sholáthar don tionscal leathsheoltóra, agus tacaíonn sé le seirbhísí saincheaptha. Táimid ag tnúth go mór le bheith mar chomhpháirtí fadtéarmach agat sa tSín.