سِڪ ڪوٽنگ ڇا آهي؟

سلڪون ڪاربائيڊسلڪون ۽ ڪاربان تي مشتمل هڪ سخت مرڪب آهي، ۽ فطرت ۾ انتهائي ناياب معدني موسانائيٽ جي طور تي ملي ٿو. سلڪون ڪاربائيڊ ذرات کي سنٽرنگ ذريعي هڪ ٻئي سان ڳنڍي سگهجي ٿو ته جيئن تمام سخت سيرامڪس ٺاهي سگهجن، جيڪي وڏي پيماني تي انهن ايپليڪيشنن ۾ استعمال ٿين ٿا جن کي اعليٰ استحڪام جي ضرورت هوندي آهي، خاص طور تي سيمي ڪنڊڪٽر پروسيس ۾.

سي آءِ سي جي جسماني بناوت

سي سي ڪوٽنگ ڇا آهي؟

SiC ڪوٽنگ هڪ گهاٽو، لباس مزاحمتي سلڪون ڪاربائيڊ ڪوٽنگ آهي جنهن ۾ اعليٰ سنکنرن ۽ گرمي مزاحمت ۽ بهترين حرارتي چالکائي آهي. هي اعليٰ پاڪائي وارو SiC ڪوٽنگ بنيادي طور تي سيمي ڪنڊڪٽر ۽ اليڪٽرانڪس صنعتن ۾ ويفر ڪيريئرز، بيسز ۽ حرارتي عنصرن کي corrosive ۽ رد عمل واري ماحول کان بچائڻ لاءِ استعمال ڪيو ويندو آهي. SiC ڪوٽنگ ويڪيوم فرنس ۽ اعليٰ ويڪيوم، رد عمل واري ۽ آڪسيجن ماحول ۾ نموني گرم ڪرڻ لاءِ پڻ مناسب آهي.

اعليٰ پاڪائي واري SiC ڪوٽنگ مٿاڇري

سي سي ڪوٽنگ جو عمل ڇا آهي؟

سلڪون ڪاربائيڊ جي هڪ پتلي پرت کي سبسٽريٽ جي مٿاڇري تي جمع ڪيو ويندو آهي استعمال ڪنديسي وي ڊي (ڪيميائي بخارات جو جمع). جمع عام طور تي 1200-1300 ° C جي گرمي پد تي ڪيو ويندو آهي ۽ سبسٽريٽ مواد جو حرارتي توسيع وارو رويو SiC ڪوٽنگ سان مطابقت رکي ٿو ته جيئن حرارتي دٻاءُ کي گهٽائي سگهجي.

سي وي ڊي سِڪ فلم ڪرسٽل اسٽرڪچر

سي وي ڊي ايس آءِ سي ڪوٽنگ فلم ڪرسٽل اسٽرڪچر

سي سي ڪوٽنگ جون جسماني خاصيتون خاص طور تي ان جي اعليٰ گرمي پد جي مزاحمت، سختي، سنکنرن جي مزاحمت ۽ حرارتي چالکائي ۾ ظاهر ٿين ٿيون.

عام جسماني پيرا ميٽر عام طور تي هن ريت آهن:

سختي: SiC ڪوٽنگ ۾ عام طور تي 2000-2500 HV جي حد ۾ وِڪرز هارڊنيس هوندو آهي، جيڪو انهن کي صنعتي ايپليڪيشنن ۾ انتهائي اعليٰ لباس ۽ اثر مزاحمت ڏيندو آهي.

کثافت: SiC ڪوٽنگن جي کثافت عام طور تي 3.1-3.2 g/cm³ هوندي آهي. وڌيڪ کثافت ڪوٽنگ جي ميڪانياتي طاقت ۽ استحڪام ۾ حصو وٺندي آهي.

حرارتي چالکائي: SiC ڪوٽنگن ۾ اعليٰ حرارتي چالکائي هوندي آهي، عام طور تي 120-200 W/mK (20°C تي) جي حد ۾. هي ان کي اعليٰ درجه حرارت واري ماحول ۾ سٺي حرارتي چالکائي ڏئي ٿو ۽ ان کي خاص طور تي سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري ۾ گرمي علاج جي سامان لاءِ موزون بڻائي ٿو.

پگھلڻ جو نقطو: سلڪون ڪاربائيڊ جو پگھلڻ جو نقطو تقريباً 2730°C آهي ۽ انتهائي گرمي پد تي بهترين حرارتي استحڪام رکي ٿو.

حرارتي توسيع جو ڪوفيشينٽ: SiC ڪوٽنگن ۾ حرارتي توسيع (CTE) جو گهٽ لڪير وارو ڪوئفيشينٽ هوندو آهي، عام طور تي 4.0-4.5 µm/mK جي حد ۾ (25-1000℃ ۾). ان جو مطلب آهي ته ان جي طول و عرض جي استحڪام وڏي درجه حرارت جي فرقن تي بهترين آهي.

سنکنرن جي مزاحمت: SiC ڪوٽنگون مضبوط تيزاب، الڪلي ۽ آڪسائيڊائيزنگ ماحول ۾ سنکنرن جي خلاف انتهائي مزاحمتي هونديون آهن، خاص طور تي جڏهن مضبوط تيزاب (جهڙوڪ HF يا HCl) استعمال ڪندا آهن، انهن جي سنکنرن جي مزاحمت روايتي ڌاتو جي مواد کان تمام گهڻي هوندي آهي.

سي سي ڪوٽنگ ايپليڪيشن سبسٽريٽ

SiC ڪوٽنگ اڪثر ڪري سبسٽريٽ جي سنکنرن جي مزاحمت، تيز گرمي پد جي مزاحمت، ۽ پلازما جي خاتمي جي مزاحمت کي بهتر بڻائڻ لاءِ استعمال ڪئي ويندي آهي. عام استعمال جي سبسٽريٽ ۾ هيٺيان شامل آهن:

سبسٽريٽ جو قسم	درخواست جو سبب	عام استعمال
گريفائيٽ	- هلڪو structure، سٺي حرارتي چالکائي - پر پلازما سان آساني سان خراب ٿي ويندو آهي، SiC ڪوٽنگ تحفظ جي ضرورت آهي	ويڪيوم چيمبر جا حصا، گريفائيٽ ٻيڙيون، پلازما ايچنگ ٽري، وغيره.
ڪوارٽز (ڪوارٽز/SiO₂)	- اعليٰ پاڪائي پر آساني سان زنگ آلود - ڪوٽنگ پلازما جي خاتمي جي مزاحمت کي وڌائي ٿي	سي وي ڊي/پي اي سي وي ڊي چيمبر جا حصا
سيرامڪس (جهڙوڪ ايلومينا Al₂O₃)	- اعلي طاقت ۽ مستحڪم جوڙجڪ - ڪوٽنگ مٿاڇري جي سنکنرن جي مزاحمت کي بهتر بڻائي ٿي	چيمبر جي استر، فڪسچر، وغيره.
ڌاتو (جهڙوڪ مولبڊينم، ٽائيٽينيم، وغيره)	- سٺي حرارتي چالکائي پر خراب سنکنرن جي مزاحمت - ڪوٽنگ مٿاڇري جي استحڪام کي بهتر بڻائي ٿي	خاص عمل جي رد عمل جا جزا
سلڪون ڪاربائيڊ سينٽرڊ باڊي (SiC بلڪ)	- پيچيده ڪم ڪندڙ حالتن لاءِ اعليٰ گهرجن سان ماحول لاءِ - ڪوٽنگ پاڪائي ۽ سنکنرن جي مزاحمت کي وڌيڪ بهتر بڻائي ٿي.	اعليٰ درجي جا CVD/ALD چيمبر جزا

SiC ڪوٽيڊ پراڊڪٽس عام طور تي هيٺين سيمي ڪنڊڪٽر علائقن ۾ استعمال ٿيندا آهن

سي سي ڪوٽنگ جون شيون وڏي پيماني تي سيمي ڪنڊڪٽر پروسيسنگ ۾ استعمال ٿينديون آهن، خاص طور تي اعليٰ درجه حرارت، اعليٰ سنکنرن ۽ مضبوط پلازما ماحول ۾.هيٺ ڏنل ڪيترائي اهم ايپليڪيشن عمل يا فيلڊ ۽ مختصر وضاحتون آهن:

درخواست جو عمل/فيلڊ	مختصر وضاحت	سلڪون ڪاربائيڊ ڪوٽنگ فنڪشن
پلازما ايچنگ (ايچنگ)	نموني جي منتقلي لاءِ فلورين يا ڪلورين تي ٻڌل گيسون استعمال ڪريو.	پلازما جي ڪٽائي جي مزاحمت ڪريو ۽ ذرات ۽ ڌاتو جي آلودگي کي روڪيو
ڪيميائي بخارات جو جمع (CVD/PECVD)	آڪسائيڊ، نائٽرائڊ ۽ ٻين پتلي فلمن جو جمع ٿيڻ	corrosive precursor گيسن جي مزاحمت ڪريو ۽ جزو جي زندگي وڌايو
جسماني بخار جمع (PVD) چيمبر	ڪوٽنگ جي عمل دوران اعليٰ توانائي واري ذرڙن جي بمباري	رد عمل چيمبر جي ڪٽڻ جي مزاحمت ۽ گرمي جي مزاحمت کي بهتر بڻايو
MOCVD عمل (جهڙوڪ SiC ايپيٽيڪسيل واڌ)	تيز گرمي پد ۽ تيز هائيڊروجن corrosive ماحول ۾ ڊگهي مدت جو رد عمل	سامان جي استحڪام کي برقرار رکو ۽ وڌندڙ ڪرسٽلز جي آلودگي کي روڪيو
گرمي علاج جو عمل (LPCVD، ڊفيوژن، اينيلنگ، وغيره)	عام طور تي تيز گرمي پد ۽ ويڪيوم/ماحول تي ڪيو ويندو آهي	گريفائيٽ ٻيڙين ۽ ٽري کي آڪسائيڊشن يا سنکنرن کان بچايو
ويفر ڪيريئر/چڪ (ويفر هينڊلنگ)	ويفر ٽرانسفر يا سپورٽ لاءِ گريفائيٽ بيس	ذرات جي ڇٽڻ کي گھٽايو ۽ رابطي جي آلودگي کان پاسو ڪريو
ALD چيمبر جا جزا	بار بار ۽ صحيح طور تي ايٽمي پرت جي جمع کي ڪنٽرول ڪريو	ڪوٽنگ چيمبر کي صاف رکي ٿي ۽ اڳڪٿين جي خلاف اعليٰ سنکنرن جي مزاحمت رکي ٿي.

VET توانائي ڇو چونڊيو؟

وي اي ٽي انرجي چين ۾ سي آءِ سي ڪوٽنگ شين جو هڪ معروف ٺاهيندڙ، جدت پسند ۽ اڳواڻ آهي، مکيه سي آءِ سي ڪوٽنگ شين ۾ شامل آهنسي سي ڪوٽنگ سان ويفر ڪيريئر، سي سي ڪوٽيڊاپيٽڪسيل سسپيٽر, سي سي ڪوٽيڊ گريفائيٽ انگوزي, سي سي ڪوٽنگ سان اڌ چنڊ جا حصا, SiC ڪوٽيڊ ڪاربان-ڪاربن ڪمپوزٽ, سي سي ڪوٽيڊ ويفر ٻيڙي, سي سي ڪوٽيڊ هيٽروغيره. وي اي ٽي انرجي سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري کي بهترين ٽيڪنالاجي ۽ پراڊڪٽ حل فراهم ڪرڻ لاءِ پرعزم آهي، ۽ ڪسٽمائيزيشن سروسز جي حمايت ڪري ٿي. اسان خلوص دل سان چين ۾ توهان جي ڊگهي مدي واري پارٽنر ٿيڻ جا منتظر آهيون.