Çfarë është veshja sic?

Karbid silikoniështë një përbërës i fortë që përmban silikon dhe karbon, dhe gjendet në natyrë si minerali jashtëzakonisht i rrallë moissanit. Grimcat e karbidit të silikonit mund të lidhen së bashku me anë të sinterimit për të formuar qeramikë shumë të fortë, të cilat përdoren gjerësisht në aplikime që kërkojnë qëndrueshmëri të lartë, veçanërisht në përpunimin e gjysmëpërçuesve.

Struktura fizike e SiC

Çfarë është veshja SiC?

Veshje SiC është një veshje e dendur dhe rezistente ndaj konsumimit prej karbidi silici, me rezistencë të lartë ndaj korrozionit dhe nxehtësisë, si dhe përçueshmëri të shkëlqyer termike. Kjo veshje SiC me pastërti të lartë përdoret kryesisht në industrinë e gjysmëpërçuesve dhe elektronikës për të mbrojtur bartësit e pllakave, bazat dhe elementët ngrohës nga mjediset gërryese dhe reaktive. Veshje SiC është gjithashtu e përshtatshme për furrat me vakum dhe ngrohjen e mostrave në mjedise me vakum të lartë, reaktive dhe me oksigjen.

Sipërfaqe veshjeje SiC me pastërti të lartë

Cili është procesi i veshjes me SiC?

Një shtresë e hollë karbidi silikoni depozitohet në sipërfaqen e substratit duke përdorurCVD (Depozitimi i Avujve Kimikë)Depozitimi zakonisht kryhet në temperatura 1200-1300°C dhe sjellja e zgjerimit termik të materialit të substratit duhet të jetë në përputhje me veshjen SiC për të minimizuar stresin termik.

STRUKTURA KRISTALE E FILMIT CVD SIC

STRUKTURA KRISTALE E FILMIT TË VESHTJES CVD SIC

Vetitë fizike të veshjes SiC reflektohen kryesisht në rezistencën e saj ndaj temperaturave të larta, fortësinë, rezistencën ndaj korrozionit dhe përçueshmërinë termike.

Parametrat tipikë fizikë janë zakonisht si më poshtë:

FortësiaVeshjet SiC zakonisht kanë një Fortësi Vickers në rangun 2000-2500 HV, gjë që u jep atyre rezistencë jashtëzakonisht të lartë ndaj konsumimit dhe goditjes në aplikimet industriale.

DendësiaVeshjet SiC zakonisht kanë një dendësi prej 3.1-3.2 g/cm³. Dendësia e lartë kontribuon në forcën mekanike dhe qëndrueshmërinë e veshjes.

Përçueshmëria termikeVeshjet SiC kanë një përçueshmëri të lartë termike, zakonisht në diapazonin 120-200 W/mK (në 20°C). Kjo i jep përçueshmëri të mirë termike në mjedise me temperaturë të lartë dhe e bën veçanërisht të përshtatshme për pajisjet e trajtimit termik në industrinë e gjysmëpërçuesve.

Pika e shkrirjesKarbidi i silicit ka një pikë shkrirjeje prej afërsisht 2730°C dhe ka stabilitet të shkëlqyer termik në temperatura ekstreme.

Koeficienti i Zgjerimit TermikVeshjet SiC kanë një koeficient të ulët linear të zgjerimit termik (CTE), zakonisht në diapazonin 4.0-4.5 µm/mK (në 25-1000℃). Kjo do të thotë që stabiliteti i tij dimensional është i shkëlqyer në ndryshime të mëdha të temperaturës.

Rezistenca ndaj korrozionitVeshjet SiC janë jashtëzakonisht rezistente ndaj korrozionit në mjedise të forta acidike, alkaline dhe oksiduese, veçanërisht kur përdoren acide të forta (si HF ose HCl), rezistenca e tyre ndaj korrozionit tejkalon shumë atë të materialeve metalike konvencionale.

Substrati i aplikimit të veshjes SiC

Veshje SiC përdoret shpesh për të përmirësuar rezistencën ndaj korrozionit, rezistencën ndaj temperaturave të larta dhe rezistencën ndaj erozionit plazmatik të substratit. Substratet e zakonshme të aplikimit përfshijnë si në vijim:

Lloji i substratit	Arsyeja e aplikimit	Përdorim tipik
Grafit	- Strukturë e lehtë, përçueshmëri e mirë termike - Por korrodohet lehtë nga plazma, kërkon mbrojtje nga veshja SiC	Pjesë dhomash vakumi, varka grafiti, tabaka për gdhendje plazme, etj.
Kuarc (Kuarc/SiO₂)	- Pastërti e lartë, por që korrodohet lehtë - Veshje rrit rezistencën ndaj erozionit të plazmës	Pjesët e dhomës CVD/PECVD
Qeramika (siç është alumina Al₂O₃)	- Fortësi e lartë dhe strukturë e qëndrueshme - Veshje përmirëson rezistencën e sipërfaqes ndaj korrozionit	Rreshtimi i dhomës, pajisjet, etj.
Metalet (si molibden, titani, etj.)	- Përçueshmëri e mirë termike, por rezistencë e dobët ndaj korrozionit - Veshje përmirëson stabilitetin e sipërfaqes	Komponentë të reaksionit të procesit special
Trup i sinteruar nga karbidi i silikonit (pjesa kryesore e SiC)	- Për mjedise me kërkesa të larta për kushte komplekse pune - Veshje përmirëson më tej pastërtinë dhe rezistencën ndaj korrozionit	Komponentë të dhomës CVD/ALD të nivelit të lartë

Produktet e veshura me SiC përdoren zakonisht në fushat e mëposhtme të gjysmëpërçuesve

Produktet e veshjes SiC përdoren gjerësisht në përpunimin e gjysmëpërçuesve, kryesisht në temperatura të larta, korrozion të lartë dhe mjedise të forta plazme. Më poshtë janë disa procese ose fusha kryesore aplikimi dhe përshkrime të shkurtra:

Procesi/fusha e aplikimit	Përshkrim i shkurtër	Funksioni i veshjes së karbidit të silikonit
Gdhendje me plazmë (Gdhendje)	Përdorni gazra me bazë fluori ose klori për transferimin e modelit	Rezistoni ndaj erozionit të plazmës dhe parandaloni ndotjen e grimcave dhe metaleve
Depozitimi kimik i avujve (CVD/PECVD)	Depozitimi i oksidit, nitritit dhe filmave të tjerë të hollë	Rezistojnë ndaj gazrave pararendës gërryes dhe rrisin jetëgjatësinë e komponentëve
Dhoma e depozitimit fizik të avullit (PVD)	Bombardimi me grimca me energji të lartë gjatë procesit të veshjes	Përmirësoni rezistencën ndaj erozionit dhe rezistencën ndaj nxehtësisë së dhomës së reagimit
Procesi MOCVD (si rritja epitaksiale e SiC)	Reagim afatgjatë në temperaturë të lartë dhe atmosferë me përmbajtje të lartë hidrogjeni gërryese	Ruani stabilitetin e pajisjeve dhe parandaloni ndotjen e kristaleve në rritje
Procesi i trajtimit termik (LPCVD, difuzion, kalitje, etj.)	Zakonisht kryhet në temperaturë të lartë dhe vakum/atmosferë	Mbroni varkat dhe tabakatë prej grafiti nga oksidimi ose korrozioni
Mbajtëse/mashtruese e pllakës së vaferit (trajtimi i pllakës së vaferit)	Bazë grafiti për transferimin ose mbështetjen e pllakave	Zvogëloni derdhjen e grimcave dhe shmangni kontaminimin nga kontakti
Komponentët e dhomës ALD	Kontrolloni në mënyrë të përsëritur dhe të saktë depozitimin e shtresave atomike	Veshja e mban dhomën të pastër dhe ka rezistencë të lartë ndaj korrozionit ndaj pararendësve.

Pse të zgjidhni VET Energy?

VET Energy është një prodhues, inovator dhe lider kryesor i produkteve të veshjes SiC në Kinë, produktet kryesore të veshjes SiC përfshijnëbartës i pllakës me veshje SiC, e veshur me SiCsusceptor epitaksial, Unazë grafiti e veshur me SiC, Pjesë gjysmëhëne me veshje SiC, Kompozit karbon-karbon i veshur me SiC, Varkë me pllaka të veshura me SiC, Ngrohës i veshur me SiC, etj. VET Energy është e përkushtuar t'i ofrojë industrisë së gjysmëpërçuesve zgjidhjet më të fundit teknologjike dhe të produkteve, si dhe mbështet shërbimet e personalizimit. Ne mezi presim të jemi partneri juaj afatgjatë në Kinë.