რა არის SIC საფარი? – VET ENERGY

სილიკონის კარბიდიარის მყარი ნაერთი, რომელიც შეიცავს სილიციუმს და ნახშირბადს და ბუნებაში გვხვდება უკიდურესად იშვიათი მინერალის, მოისანიტის სახით. სილიციუმის კარბიდის ნაწილაკები შეიძლება ერთმანეთთან შეერთდეს შედუღებით და წარმოქმნას ძალიან მყარი კერამიკა, რომელიც ფართოდ გამოიყენება მაღალი გამძლეობის მოთხოვნით, განსაკუთრებით ნახევარგამტარული დამუშავების სფეროში.

SiC-ის ფიზიკური სტრუქტურა

რა არის SiC საფარი?

SiC საფარი არის მკვრივი, ცვეთამედეგი სილიციუმის კარბიდის საფარი მაღალი კოროზიისა და სითბოსადმი მდგრადობით და შესანიშნავი თბოგამტარობით. ეს მაღალი სისუფთავის SiC საფარი ძირითადად გამოიყენება ნახევარგამტარული და ელექტრონიკის ინდუსტრიებში ვაფლის მატარებლების, ბაზებისა და გამათბობელი ელემენტების დასაცავად კოროზიული და რეაქტიული გარემოსგან. SiC საფარი ასევე შესაფერისია ვაკუუმური ღუმელებისა და ნიმუშების გასათბობად მაღალი ვაკუუმის, რეაქტიული და ჟანგბადის გარემოში.

მაღალი სისუფთავის SiC საფარის ზედაპირი

რა არის SiC საფარის დაფარვის პროცესი?

სილიციუმის კარბიდის თხელი ფენა იდება სუბსტრატის ზედაპირზე შემდეგი მეთოდით:CVD (ქიმიური ორთქლის დეპონირება)დალექვა, როგორც წესი, ხორციელდება 1200-1300°C ტემპერატურაზე და სუბსტრატის მასალის თერმული გაფართოების ქცევა თავსებადი უნდა იყოს SiC საფართან, რათა მინიმუმამდე იქნას დაყვანილი თერმული სტრესი.

CVD SIC საფარის ფირის კრისტალური სტრუქტურა

SiC საფარის ფიზიკური თვისებები ძირითადად აისახება მის მაღალი ტემპერატურისადმი მდგრადობაში, სიმტკიცეში, კოროზიისადმი მდგრადობასა და თბოგამტარობაში.

ტიპიური ფიზიკური პარამეტრები, როგორც წესი, შემდეგია:

სიმტკიცეSiC საფარს, როგორც წესი, აქვს ვიკერსის სიმტკიცე 2000-2500 HV დიაპაზონში, რაც მათ უკიდურესად მაღალ ცვეთასა და დარტყმისადმი მდგრადობას ანიჭებს სამრეწველო გამოყენებისას.

სიმჭიდროვეSiC საფარების სიმკვრივე, როგორც წესი, 3.1-3.2 გ/სმ³-ია. მაღალი სიმკვრივე ხელს უწყობს საფარის მექანიკურ სიმტკიცეს და გამძლეობას.

თბოგამტარობაSiC საფარებს აქვთ მაღალი თბოგამტარობა, როგორც წესი, 120-200 W/mK დიაპაზონში (20°C-ზე). ეს მას კარგ თბოგამტარობას ანიჭებს მაღალი ტემპერატურის გარემოში და განსაკუთრებით შესაფერისს ხდის ნახევარგამტარული ინდუსტრიის თერმული დამუშავების მოწყობილობებისთვის.

დნობის წერტილისილიციუმის კარბიდის დნობის წერტილი დაახლოებით 2730°C-ია და ექსტრემალურ ტემპერატურაზე შესანიშნავი თერმული სტაბილურობა აქვს.

თერმული გაფართოების კოეფიციენტიSiC საფარებს აქვთ თერმული გაფართოების დაბალი წრფივი კოეფიციენტი (CTE), როგორც წესი, 4.0-4.5 µm/mK დიაპაზონში (25-1000℃ ტემპერატურაზე). ეს ნიშნავს, რომ მისი განზომილებიანი სტაბილურობა შესანიშნავია დიდი ტემპერატურული სხვაობების დროს.

კოროზიისადმი მდგრადობაSiC საფარები უკიდურესად მდგრადია კოროზიის მიმართ ძლიერ მჟავაში, ტუტეში და დამჟანგავ გარემოში, განსაკუთრებით ძლიერი მჟავების (მაგალითად, HF ან HCl) გამოყენებისას; მათი კოროზიისადმი მდგრადობა გაცილებით აღემატება ჩვეულებრივი ლითონის მასალების მდგრადობას.

SiC საფარის გამოყენების სუბსტრატი

SiC საფარი ხშირად გამოიყენება სუბსტრატის კოროზიისადმი მდგრადობის, მაღალი ტემპერატურისადმი მდგრადობის და პლაზმური ეროზიისადმი მდგრადობის გასაუმჯობესებლად. გავრცელებული გამოყენების სუბსტრატებია:

SiC დაფარული პროდუქტები ფართოდ გამოიყენება შემდეგ ნახევარგამტარულ სფეროებში

SiC საფარის პროდუქტები ფართოდ გამოიყენება ნახევარგამტარების დამუშავებაში, ძირითადად მაღალ ტემპერატურაზე, მაღალი კოროზიის და ძლიერ პლაზმურ გარემოში. ქვემოთ მოცემულია რამდენიმე ძირითადი გამოყენების პროცესი ან სფერო და მათი მოკლე აღწერა:

რატომ უნდა აირჩიოთ VET Energy?

VET Energy ჩინეთში SiC საფარის პროდუქტების წამყვანი მწარმოებელი, ინოვატორი და ლიდერია, რომლის ძირითადი SiC საფარის პროდუქტებია:SiC საფარით დაფარული ვაფლის მატარებელი, SiC დაფარულიეპიტაქსიური სუსცეპტორი, SiC-ით დაფარული გრაფიტის რგოლი, ნახევარმთვარის ფორმის ნაწილები SiC საფარით, SiC-ით დაფარული ნახშირბად-ნახშირბადის კომპოზიტი, SiC დაფარული ვაფლის ნავი, SiC დაფარული გამათბობელიდა ა.შ. VET Energy ვალდებულია ნახევარგამტარული ინდუსტრიისთვის უზრუნველყოს უმაღლესი ხარისხის ტექნოლოგიური და პროდუქტის გადაწყვეტილებები და მხარს უჭერს პერსონალიზაციის სერვისებს. ჩვენ გულწრფელად ველით, რომ გავხდებით თქვენი გრძელვადიანი პარტნიორი ჩინეთში.

თუ თქვენ გაქვთ რაიმე შეკითხვები ან გჭირდებათ დამატებითი დეტალები, გთხოვთ, ნუ მოგერიდებათ დაგვიკავშირდეთ.

Whatsapp&Wechat:+86-18069021720

Email: steven@china-vet.com