സിക് കോട്ടിംഗ് എന്താണ്? – വെറ്റ് എനർജി

സിലിക്കൺ കാർബൈഡ്സിലിക്കണും കാർബണും അടങ്ങിയ ഒരു കാഠിന്യമുള്ള സംയുക്തമാണ്, ഇത് പ്രകൃതിയിൽ വളരെ അപൂർവമായ ധാതുവായ മോയ്‌സനൈറ്റായി കാണപ്പെടുന്നു. സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് കണികകളെ സിന്ററിംഗ് വഴി ബന്ധിപ്പിച്ച് വളരെ കഠിനമായ സെറാമിക്സ് രൂപപ്പെടുത്താൻ കഴിയും, ഇത് ഉയർന്ന ഈട് ആവശ്യമുള്ള ആപ്ലിക്കേഷനുകളിൽ, പ്രത്യേകിച്ച് അർദ്ധചാലക ഘോഷയാത്രയിൽ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.

SiC യുടെ ഭൗതിക ഘടന

എന്താണ് SiC കോട്ടിംഗ്?

ഉയർന്ന നാശന പ്രതിരോധവും താപ പ്രതിരോധവും മികച്ച താപ ചാലകതയും ഉള്ള സാന്ദ്രമായ, ധരിക്കാൻ പ്രതിരോധശേഷിയുള്ള സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് കോട്ടിംഗാണ് SiC കോട്ടിംഗ്. ഈ ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയുള്ള SiC കോട്ടിംഗ് പ്രധാനമായും സെമികണ്ടക്ടർ, ഇലക്ട്രോണിക്സ് വ്യവസായങ്ങളിൽ വേഫർ കാരിയറുകൾ, ബേസുകൾ, ഹീറ്റിംഗ് ഘടകങ്ങൾ എന്നിവയെ നാശകാരിയും റിയാക്ടീവുമായ പരിതസ്ഥിതികളിൽ നിന്ന് സംരക്ഷിക്കാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഉയർന്ന വാക്വം, റിയാക്ടീവ്, ഓക്സിജൻ പരിതസ്ഥിതികളിൽ വാക്വം ഫർണസുകൾക്കും സാമ്പിൾ ചൂടാക്കലിനും SiC കോട്ടിംഗ് അനുയോജ്യമാണ്.

ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയുള്ള SiC കോട്ടിംഗ് ഉപരിതലം

SiC കോട്ടിംഗ് പ്രക്രിയ എന്താണ്?

സിലിക്കൺ കാർബൈഡിന്റെ ഒരു നേർത്ത പാളി അടിവസ്ത്രത്തിന്റെ ഉപരിതലത്തിൽ നിക്ഷേപിക്കുന്നു, ഇത്സിവിഡി (കെമിക്കൽ വേപ്പർ ഡിപ്പോസിഷൻ). സാധാരണയായി 1200-1300°C താപനിലയിലാണ് നിക്ഷേപം നടത്തുന്നത്, താപ സമ്മർദ്ദം കുറയ്ക്കുന്നതിന് അടിവസ്ത്ര വസ്തുക്കളുടെ താപ വികാസ സ്വഭാവം SiC കോട്ടിംഗുമായി പൊരുത്തപ്പെടണം.

സിവിഡി എസ്ഐസി കോട്ടിംഗ് ഫിലിം ക്രിസ്റ്റൽ ഘടന

SiC കോട്ടിംഗിന്റെ ഭൗതിക സവിശേഷതകൾ പ്രധാനമായും അതിന്റെ ഉയർന്ന താപനില പ്രതിരോധം, കാഠിന്യം, നാശന പ്രതിരോധം, താപ ചാലകത എന്നിവയിൽ പ്രതിഫലിക്കുന്നു.

സാധാരണ ഭൗതിക പാരാമീറ്ററുകൾ സാധാരണയായി ഇപ്രകാരമാണ്:

കാഠിന്യം: SiC കോട്ടിംഗുകൾക്ക് സാധാരണയായി 2000-2500 HV പരിധിയിൽ വിക്കേഴ്‌സ് കാഠിന്യം ഉണ്ടായിരിക്കും, ഇത് വ്യാവസായിക ആപ്ലിക്കേഷനുകളിൽ അവയ്ക്ക് വളരെ ഉയർന്ന തേയ്മാന പ്രതിരോധവും ആഘാത പ്രതിരോധവും നൽകുന്നു.

സാന്ദ്രത: SiC കോട്ടിംഗുകളുടെ സാന്ദ്രത സാധാരണയായി 3.1-3.2 g/cm³ ആണ്. ഉയർന്ന സാന്ദ്രത കോട്ടിംഗിന്റെ മെക്കാനിക്കൽ ശക്തിക്കും ഈടും നൽകുന്നു.

താപ ചാലകത: SiC കോട്ടിംഗുകൾക്ക് ഉയർന്ന താപ ചാലകതയുണ്ട്, സാധാരണയായി 120-200 W/mK (20°C ൽ) പരിധിയിൽ. ഇത് ഉയർന്ന താപനിലയുള്ള അന്തരീക്ഷത്തിൽ നല്ല താപ ചാലകത നൽകുന്നു, കൂടാതെ സെമികണ്ടക്ടർ വ്യവസായത്തിലെ താപ സംസ്കരണ ഉപകരണങ്ങൾക്ക് ഇത് പ്രത്യേകിച്ചും അനുയോജ്യമാക്കുന്നു.

ദ്രവണാങ്കം: സിലിക്കൺ കാർബൈഡിന് ഏകദേശം 2730°C ദ്രവണാങ്കമുണ്ട്, കൂടാതെ തീവ്രമായ താപനിലയിൽ മികച്ച താപ സ്ഥിരതയുമുണ്ട്.

താപ വികാസത്തിന്റെ ഗുണകം: SiC കോട്ടിംഗുകൾക്ക് കുറഞ്ഞ ലീനിയർ കോഫിഫിഷ്യന്റ് ഓഫ് തെർമൽ എക്സ്പാൻഷൻ (CTE) ഉണ്ട്, സാധാരണയായി 4.0-4.5 µm/mK പരിധിയിൽ (25-1000℃ ൽ). ഇതിനർത്ഥം വലിയ താപനില വ്യത്യാസങ്ങളിൽ അതിന്റെ ഡൈമൻഷണൽ സ്ഥിരത മികച്ചതാണെന്നാണ്.

നാശന പ്രതിരോധം: ശക്തമായ ആസിഡ്, ആൽക്കലി, ഓക്സിഡൈസിംഗ് പരിതസ്ഥിതികളിൽ SiC കോട്ടിംഗുകൾ നാശത്തെ അങ്ങേയറ്റം പ്രതിരോധിക്കും, പ്രത്യേകിച്ച് ശക്തമായ ആസിഡുകൾ (HF അല്ലെങ്കിൽ HCl പോലുള്ളവ) ഉപയോഗിക്കുമ്പോൾ, അവയുടെ നാശന പ്രതിരോധം പരമ്പരാഗത ലോഹ വസ്തുക്കളേക്കാൾ വളരെ കൂടുതലാണ്.

SiC കോട്ടിംഗ് ആപ്ലിക്കേഷൻ സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ്

സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റിന്റെ നാശന പ്രതിരോധം, ഉയർന്ന താപനില പ്രതിരോധം, പ്ലാസ്മ മണ്ണൊലിപ്പ് പ്രതിരോധം എന്നിവ മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിന് SiC കോട്ടിംഗ് പലപ്പോഴും ഉപയോഗിക്കുന്നു. സാധാരണയായി ഉപയോഗിക്കുന്ന സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റുകളിൽ ഇനിപ്പറയുന്നവ ഉൾപ്പെടുന്നു:

താഴെപ്പറയുന്ന സെമികണ്ടക്ടർ മേഖലകളിൽ SiC പൂശിയ ഉൽപ്പന്നങ്ങൾ സാധാരണയായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.

SiC കോട്ടിംഗ് ഉൽപ്പന്നങ്ങൾ അർദ്ധചാലക സംസ്കരണത്തിൽ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു, പ്രധാനമായും ഉയർന്ന താപനില, ഉയർന്ന നാശം, ശക്തമായ പ്ലാസ്മ പരിതസ്ഥിതികൾ എന്നിവയിൽ. താഴെ പറയുന്നവ നിരവധി പ്രധാന ആപ്ലിക്കേഷൻ പ്രക്രിയകളോ ഫീൽഡുകളോ ഹ്രസ്വ വിവരണങ്ങളോ ആണ്:

എന്തുകൊണ്ടാണ് VET എനർജി തിരഞ്ഞെടുക്കുന്നത്?

ചൈനയിലെ SiC കോട്ടിംഗ് ഉൽപ്പന്നങ്ങളുടെ മുൻനിര നിർമ്മാതാവും, നവീകരണക്കാരനും, നേതാവുമാണ് VET എനർജി, പ്രധാന SiC കോട്ടിംഗ് ഉൽപ്പന്നങ്ങളിൽ ഇവ ഉൾപ്പെടുന്നു:SiC കോട്ടിംഗുള്ള വേഫർ കാരിയർ, SiC പൂശിയഎപ്പിറ്റാക്സിയൽ സസെപ്റ്റർ, SiC പൂശിയ ഗ്രാഫൈറ്റ് റിംഗ്, SiC കോട്ടിംഗുള്ള അർദ്ധചന്ദ്ര ഭാഗങ്ങൾ, SiC പൂശിയ കാർബൺ-കാർബൺ സംയുക്തം, SiC പൂശിയ വേഫർ ബോട്ട്, SiC കോട്ടിംഗ് ഉള്ള ഹീറ്റർ, മുതലായവ. സെമികണ്ടക്ടർ വ്യവസായത്തിന് ആത്യന്തിക സാങ്കേതികവിദ്യയും ഉൽപ്പന്ന പരിഹാരങ്ങളും നൽകുന്നതിന് VET എനർജി പ്രതിജ്ഞാബദ്ധമാണ്, കൂടാതെ കസ്റ്റമൈസേഷൻ സേവനങ്ങളെ പിന്തുണയ്ക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. ചൈനയിൽ നിങ്ങളുടെ ദീർഘകാല പങ്കാളിയാകാൻ ഞങ്ങൾ ആത്മാർത്ഥമായി ആഗ്രഹിക്കുന്നു.

നിങ്ങൾക്ക് എന്തെങ്കിലും അന്വേഷണങ്ങൾ ഉണ്ടെങ്കിലോ കൂടുതൽ വിശദാംശങ്ങൾ ആവശ്യമുണ്ടെങ്കിലോ, ദയവായി ഞങ്ങളെ ബന്ധപ്പെടാൻ മടിക്കരുത്.

Whatsapp&Wechat:+86-18069021720

Email: steven@china-vet.com