sic ਕੋਟਿੰਗ ਕੀ ਹੈ?

ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡਇਹ ਇੱਕ ਸਖ਼ਤ ਮਿਸ਼ਰਣ ਹੈ ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਸਿਲੀਕਾਨ ਅਤੇ ਕਾਰਬਨ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਇਹ ਕੁਦਰਤ ਵਿੱਚ ਬਹੁਤ ਹੀ ਦੁਰਲੱਭ ਖਣਿਜ ਮੋਇਸਾਨਾਈਟ ਦੇ ਰੂਪ ਵਿੱਚ ਪਾਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਕਣਾਂ ਨੂੰ ਸਿੰਟਰਿੰਗ ਦੁਆਰਾ ਬਹੁਤ ਸਖ਼ਤ ਸਿਰੇਮਿਕਸ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਇਕੱਠੇ ਜੋੜਿਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ ਉੱਚ ਟਿਕਾਊਤਾ ਦੀ ਲੋੜ ਵਾਲੇ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਵਿੱਚ ਵਿਆਪਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਰਤੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ, ਖਾਸ ਕਰਕੇ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਜਲੂਸ ਵਿੱਚ।

SiC ਦੀ ਭੌਤਿਕ ਬਣਤਰ

SiC ਕੋਟਿੰਗ ਕੀ ਹੈ?

SiC ਕੋਟਿੰਗ ਇੱਕ ਸੰਘਣੀ, ਪਹਿਨਣ-ਰੋਧਕ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਕੋਟਿੰਗ ਹੈ ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਉੱਚ ਖੋਰ ਅਤੇ ਗਰਮੀ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਅਤੇ ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ ਹੈ। ਇਹ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੀ SiC ਕੋਟਿੰਗ ਮੁੱਖ ਤੌਰ 'ਤੇ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਅਤੇ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਨਿਕਸ ਉਦਯੋਗਾਂ ਵਿੱਚ ਵੇਫਰ ਕੈਰੀਅਰਾਂ, ਬੇਸਾਂ ਅਤੇ ਹੀਟਿੰਗ ਤੱਤਾਂ ਨੂੰ ਖੋਰ ਅਤੇ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਵਾਤਾਵਰਣਾਂ ਤੋਂ ਬਚਾਉਣ ਲਈ ਵਰਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। SiC ਕੋਟਿੰਗ ਉੱਚ ਵੈਕਿਊਮ, ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਅਤੇ ਆਕਸੀਜਨ ਵਾਤਾਵਰਣਾਂ ਵਿੱਚ ਵੈਕਿਊਮ ਭੱਠੀਆਂ ਅਤੇ ਨਮੂਨਾ ਗਰਮ ਕਰਨ ਲਈ ਵੀ ਢੁਕਵੀਂ ਹੈ।

ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੀ SiC ਕੋਟਿੰਗ ਸਤ੍ਹਾ

SiC ਕੋਟਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਕੀ ਹੈ?

ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਦੀ ਇੱਕ ਪਤਲੀ ਪਰਤ ਸਬਸਟਰੇਟ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਜਮ੍ਹਾ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈਸੀਵੀਡੀ (ਰਸਾਇਣਕ ਭਾਫ਼ ਜਮ੍ਹਾਂ). ਜਮ੍ਹਾ ਕਰਨਾ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ 1200-1300°C ਦੇ ਤਾਪਮਾਨ 'ਤੇ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਥਰਮਲ ਤਣਾਅ ਨੂੰ ਘੱਟ ਕਰਨ ਲਈ ਸਬਸਟਰੇਟ ਸਮੱਗਰੀ ਦਾ ਥਰਮਲ ਵਿਸਥਾਰ ਵਿਵਹਾਰ SiC ਕੋਟਿੰਗ ਦੇ ਅਨੁਕੂਲ ਹੋਣਾ ਚਾਹੀਦਾ ਹੈ।

ਸੀਵੀਡੀ ਐਸਆਈਸੀ ਫਿਲਮ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਸਟ੍ਰਕਚਰ

ਸੀਵੀਡੀ ਐਸਆਈਸੀ ਕੋਟਿੰਗ ਫਿਲਮ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਸਟ੍ਰਕਚਰ

SiC ਕੋਟਿੰਗ ਦੇ ਭੌਤਿਕ ਗੁਣ ਮੁੱਖ ਤੌਰ 'ਤੇ ਇਸਦੇ ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ, ਕਠੋਰਤਾ, ਖੋਰ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਅਤੇ ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ ਵਿੱਚ ਪ੍ਰਤੀਬਿੰਬਤ ਹੁੰਦੇ ਹਨ।

ਆਮ ਭੌਤਿਕ ਮਾਪਦੰਡ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਹੇਠ ਲਿਖੇ ਅਨੁਸਾਰ ਹੁੰਦੇ ਹਨ:

ਕਠੋਰਤਾ: SiC ਕੋਟਿੰਗ ਵਿੱਚ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ 2000-2500 HV ਦੀ ਰੇਂਜ ਵਿੱਚ ਵਿਕਰਸ ਹਾਰਡਨੈੱਸ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਜੋ ਉਹਨਾਂ ਨੂੰ ਉਦਯੋਗਿਕ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਵਿੱਚ ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਘਸਾਈ ਅਤੇ ਪ੍ਰਭਾਵ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦੀ ਹੈ।

ਘਣਤਾ: SiC ਕੋਟਿੰਗਾਂ ਦੀ ਘਣਤਾ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ 3.1-3.2 g/cm³ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਉੱਚ ਘਣਤਾ ਕੋਟਿੰਗ ਦੀ ਮਕੈਨੀਕਲ ਤਾਕਤ ਅਤੇ ਟਿਕਾਊਤਾ ਵਿੱਚ ਯੋਗਦਾਨ ਪਾਉਂਦੀ ਹੈ।

ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ: SiC ਕੋਟਿੰਗਾਂ ਵਿੱਚ ਉੱਚ ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ 120-200 W/mK (20°C 'ਤੇ) ਦੀ ਰੇਂਜ ਵਿੱਚ। ਇਹ ਇਸਨੂੰ ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਵਾਲੇ ਵਾਤਾਵਰਣ ਵਿੱਚ ਚੰਗੀ ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਇਸਨੂੰ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਉਦਯੋਗ ਵਿੱਚ ਗਰਮੀ ਦੇ ਇਲਾਜ ਉਪਕਰਣਾਂ ਲਈ ਖਾਸ ਤੌਰ 'ਤੇ ਢੁਕਵਾਂ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ।

ਪਿਘਲਣ ਬਿੰਦੂ: ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਦਾ ਪਿਘਲਣ ਬਿੰਦੂ ਲਗਭਗ 2730°C ਹੈ ਅਤੇ ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਤਾਪਮਾਨਾਂ 'ਤੇ ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਥਰਮਲ ਸਥਿਰਤਾ ਹੈ।

ਥਰਮਲ ਵਿਸਥਾਰ ਦਾ ਗੁਣਾਂਕ: SiC ਕੋਟਿੰਗਾਂ ਵਿੱਚ ਥਰਮਲ ਐਕਸਪੈਂਸ਼ਨ (CTE) ਦਾ ਘੱਟ ਰੇਖਿਕ ਗੁਣਾਂਕ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ 4.0-4.5 µm/mK (25-1000℃ ਵਿੱਚ) ਦੀ ਰੇਂਜ ਵਿੱਚ। ਇਸਦਾ ਮਤਲਬ ਹੈ ਕਿ ਇਸਦੀ ਅਯਾਮੀ ਸਥਿਰਤਾ ਵੱਡੇ ਤਾਪਮਾਨ ਅੰਤਰਾਂ ਉੱਤੇ ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਹੈ।

ਖੋਰ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ: SiC ਕੋਟਿੰਗਾਂ ਮਜ਼ਬੂਤ ਐਸਿਡ, ਅਲਕਲੀ ਅਤੇ ਆਕਸੀਡਾਈਜ਼ਿੰਗ ਵਾਤਾਵਰਣਾਂ ਵਿੱਚ ਖੋਰ ਪ੍ਰਤੀ ਬਹੁਤ ਰੋਧਕ ਹੁੰਦੀਆਂ ਹਨ, ਖਾਸ ਕਰਕੇ ਜਦੋਂ ਮਜ਼ਬੂਤ ਐਸਿਡ (ਜਿਵੇਂ ਕਿ HF ਜਾਂ HCl) ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਤਾਂ ਉਹਨਾਂ ਦਾ ਖੋਰ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਰਵਾਇਤੀ ਧਾਤ ਸਮੱਗਰੀਆਂ ਨਾਲੋਂ ਕਿਤੇ ਵੱਧ ਹੁੰਦਾ ਹੈ।

SiC ਕੋਟਿੰਗ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨ ਸਬਸਟਰੇਟ

SiC ਕੋਟਿੰਗ ਅਕਸਰ ਸਬਸਟਰੇਟ ਦੇ ਖੋਰ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ, ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ, ਅਤੇ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਇਰੋਸ਼ਨ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਨੂੰ ਬਿਹਤਰ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਵਰਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। ਆਮ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨ ਸਬਸਟਰੇਟਾਂ ਵਿੱਚ ਹੇਠ ਲਿਖੇ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ:

ਸਬਸਟਰੇਟ ਕਿਸਮ	ਅਰਜ਼ੀ ਦਾ ਕਾਰਨ	ਆਮ ਵਰਤੋਂ
ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ	- ਹਲਕਾ ਢਾਂਚਾ, ਚੰਗੀ ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ - ਪਰ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਦੁਆਰਾ ਆਸਾਨੀ ਨਾਲ ਖਰਾਬ ਹੋ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਇਸ ਲਈ SiC ਕੋਟਿੰਗ ਸੁਰੱਖਿਆ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ।	ਵੈਕਿਊਮ ਚੈਂਬਰ ਦੇ ਪੁਰਜ਼ੇ, ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਿਸ਼ਤੀਆਂ, ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐਚਿੰਗ ਟ੍ਰੇ, ਆਦਿ।
ਕੁਆਰਟਜ਼ (ਕੁਆਰਟਜ਼/SiO₂)	- ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਪਰ ਆਸਾਨੀ ਨਾਲ ਖਰਾਬ ਹੋ ਜਾਂਦੀ ਹੈ - ਕੋਟਿੰਗ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਦੇ ਖੋਰੇ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਨੂੰ ਵਧਾਉਂਦੀ ਹੈ	CVD/PECVD ਚੈਂਬਰ ਦੇ ਹਿੱਸੇ
ਸਿਰੇਮਿਕਸ (ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਐਲੂਮਿਨਾ Al₂O₃)	- ਉੱਚ ਤਾਕਤ ਅਤੇ ਸਥਿਰ ਬਣਤਰ - ਕੋਟਿੰਗ ਸਤ੍ਹਾ ਦੇ ਖੋਰ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਨੂੰ ਬਿਹਤਰ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ	ਚੈਂਬਰ ਲਾਈਨਿੰਗ, ਫਿਕਸਚਰ, ਆਦਿ।
ਧਾਤਾਂ (ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਮੋਲੀਬਡੇਨਮ, ਟਾਈਟੇਨੀਅਮ, ਆਦਿ)	- ਚੰਗੀ ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ ਪਰ ਮਾੜੀ ਖੋਰ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ - ਕੋਟਿੰਗ ਸਤ੍ਹਾ ਦੀ ਸਥਿਰਤਾ ਨੂੰ ਬਿਹਤਰ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ	ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਭਾਗ
ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਸਿੰਟਰਡ ਬਾਡੀ (SiC ਬਲਕ)	- ਗੁੰਝਲਦਾਰ ਕੰਮ ਕਰਨ ਦੀਆਂ ਸਥਿਤੀਆਂ ਲਈ ਉੱਚ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ ਵਾਲੇ ਵਾਤਾਵਰਣ ਲਈ - ਕੋਟਿੰਗ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਅਤੇ ਖੋਰ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਨੂੰ ਹੋਰ ਬਿਹਤਰ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ।	ਉੱਚ-ਅੰਤ ਵਾਲੇ CVD/ALD ਚੈਂਬਰ ਹਿੱਸੇ

SiC ਕੋਟੇਡ ਉਤਪਾਦ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਹੇਠ ਲਿਖੇ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਖੇਤਰਾਂ ਵਿੱਚ ਵਰਤੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ:

SiC ਕੋਟਿੰਗ ਉਤਪਾਦ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਵਿੱਚ ਵਿਆਪਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਰਤੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ, ਮੁੱਖ ਤੌਰ 'ਤੇ ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ, ਉੱਚ ਖੋਰ ਅਤੇ ਮਜ਼ਬੂਤ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਵਾਤਾਵਰਣ ਵਿੱਚ। ਹੇਠਾਂ ਕਈ ਪ੍ਰਮੁੱਖ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਜਾਂ ਖੇਤਰ ਅਤੇ ਸੰਖੇਪ ਵਰਣਨ ਦਿੱਤੇ ਗਏ ਹਨ:

ਅਰਜ਼ੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ/ਖੇਤਰ	ਸੰਖੇਪ ਵਰਣਨ	ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਕੋਟਿੰਗ ਫੰਕਸ਼ਨ
ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐਚਿੰਗ (ਐਚਿੰਗ)	ਪੈਟਰਨ ਟ੍ਰਾਂਸਫਰ ਲਈ ਫਲੋਰਾਈਨ ਜਾਂ ਕਲੋਰੀਨ-ਅਧਾਰਤ ਗੈਸਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰੋ।	ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਦੇ ਕਟੌਤੀ ਦਾ ਵਿਰੋਧ ਕਰੋ ਅਤੇ ਕਣਾਂ ਅਤੇ ਧਾਤ ਦੇ ਦੂਸ਼ਣ ਨੂੰ ਰੋਕੋ
ਰਸਾਇਣਕ ਭਾਫ਼ ਜਮ੍ਹਾਂ (CVD/PECVD)	ਆਕਸਾਈਡ, ਨਾਈਟਰਾਈਡ ਅਤੇ ਹੋਰ ਪਤਲੀਆਂ ਫਿਲਮਾਂ ਦਾ ਜਮ੍ਹਾ ਹੋਣਾ	ਖਰਾਬ ਪੂਰਵਗਾਮੀ ਗੈਸਾਂ ਦਾ ਵਿਰੋਧ ਕਰੋ ਅਤੇ ਕੰਪੋਨੈਂਟ ਲਾਈਫ ਵਧਾਓ
ਭੌਤਿਕ ਭਾਫ਼ ਜਮ੍ਹਾਂ (PVD) ਚੈਂਬਰ	ਕੋਟਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੌਰਾਨ ਉੱਚ-ਊਰਜਾ ਵਾਲੇ ਕਣਾਂ ਦੀ ਬੰਬਾਰੀ	ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਚੈਂਬਰ ਦੇ ਕਟੌਤੀ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਅਤੇ ਗਰਮੀ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਕਰੋ।
MOCVD ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ (ਜਿਵੇਂ ਕਿ SiC ਐਪੀਟੈਕਸੀਅਲ ਵਾਧਾ)	ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਅਤੇ ਉੱਚ ਹਾਈਡ੍ਰੋਜਨ ਖੋਰ ਵਾਲੇ ਵਾਤਾਵਰਣ ਦੇ ਅਧੀਨ ਲੰਬੇ ਸਮੇਂ ਦੀ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ	ਉਪਕਰਣ ਦੀ ਸਥਿਰਤਾ ਬਣਾਈ ਰੱਖੋ ਅਤੇ ਵਧ ਰਹੇ ਕ੍ਰਿਸਟਲਾਂ ਦੇ ਦੂਸ਼ਿਤ ਹੋਣ ਤੋਂ ਰੋਕੋ।
ਗਰਮੀ ਦੇ ਇਲਾਜ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ (LPCVD, ਪ੍ਰਸਾਰ, ਐਨੀਲਿੰਗ, ਆਦਿ)	ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਅਤੇ ਵੈਕਿਊਮ/ਵਾਤਾਵਰਣ 'ਤੇ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ	ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਿਸ਼ਤੀਆਂ ਅਤੇ ਟ੍ਰੇਆਂ ਨੂੰ ਆਕਸੀਕਰਨ ਜਾਂ ਖੋਰ ਤੋਂ ਬਚਾਓ।
ਵੇਫਰ ਕੈਰੀਅਰ/ਚੱਕ (ਵੇਫਰ ਹੈਂਡਲਿੰਗ)	ਵੇਫਰ ਟ੍ਰਾਂਸਫਰ ਜਾਂ ਸਹਾਇਤਾ ਲਈ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਬੇਸ	ਕਣਾਂ ਦੇ ਨਿਕਾਸ ਨੂੰ ਘਟਾਓ ਅਤੇ ਸੰਪਰਕ ਗੰਦਗੀ ਤੋਂ ਬਚੋ
ALD ਚੈਂਬਰ ਦੇ ਹਿੱਸੇ	ਪਰਮਾਣੂ ਪਰਤ ਜਮ੍ਹਾਂ ਹੋਣ ਨੂੰ ਵਾਰ-ਵਾਰ ਅਤੇ ਸਹੀ ਢੰਗ ਨਾਲ ਕੰਟਰੋਲ ਕਰੋ	ਇਹ ਕੋਟਿੰਗ ਚੈਂਬਰ ਨੂੰ ਸਾਫ਼ ਰੱਖਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਪੂਰਵ-ਉਤਪਾਦਾਂ ਪ੍ਰਤੀ ਉੱਚ ਖੋਰ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧਕ ਹੈ।

VET ਊਰਜਾ ਕਿਉਂ ਚੁਣੋ?

VET ਐਨਰਜੀ ਚੀਨ ਵਿੱਚ SiC ਕੋਟਿੰਗ ਉਤਪਾਦਾਂ ਦਾ ਇੱਕ ਮੋਹਰੀ ਨਿਰਮਾਤਾ, ਨਵੀਨਤਾਕਾਰੀ ਅਤੇ ਆਗੂ ਹੈ, ਮੁੱਖ SiC ਕੋਟਿੰਗ ਉਤਪਾਦਾਂ ਵਿੱਚ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨSiC ਕੋਟਿੰਗ ਵਾਲਾ ਵੇਫਰ ਕੈਰੀਅਰ, SiC ਕੋਟੇਡਐਪੀਟੈਕਸੀਅਲ ਸਸੈਪਟਰ, SiC ਕੋਟੇਡ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਰਿੰਗ, SiC ਕੋਟਿੰਗ ਵਾਲੇ ਅੱਧੇ-ਚੰਦ ਵਾਲੇ ਹਿੱਸੇ, SiC ਕੋਟੇਡ ਕਾਰਬਨ-ਕਾਰਬਨ ਕੰਪੋਜ਼ਿਟ, SiC ਕੋਟੇਡ ਵੇਫਰ ਕਿਸ਼ਤੀ, SiC ਕੋਟੇਡ ਹੀਟਰ, ਆਦਿ। VET ਊਰਜਾ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਉਦਯੋਗ ਨੂੰ ਉੱਤਮ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਅਤੇ ਉਤਪਾਦ ਹੱਲ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਨ ਲਈ ਵਚਨਬੱਧ ਹੈ, ਅਤੇ ਅਨੁਕੂਲਤਾ ਸੇਵਾਵਾਂ ਦਾ ਸਮਰਥਨ ਕਰਦੀ ਹੈ। ਅਸੀਂ ਚੀਨ ਵਿੱਚ ਤੁਹਾਡੇ ਲੰਬੇ ਸਮੇਂ ਦੇ ਭਾਈਵਾਲ ਬਣਨ ਦੀ ਦਿਲੋਂ ਉਮੀਦ ਕਰਦੇ ਹਾਂ।