Сик жабын дегеніміз не?

Кремний карбидікремний мен көміртегі бар қатты қосылыс болып табылады және табиғатта өте сирек кездесетін муассанит минералы ретінде кездеседі. Кремний карбидінің бөлшектерін өте қатты керамика түзу үшін күйдіру арқылы біріктіруге болады, олар жоғары беріктік талап ететін қолданбаларда, әсіресе жартылай өткізгіштерді өңдеуде кеңінен қолданылады.

SiC физикалық құрылымы

SiC жабыны дегеніміз не?

SiC жабыны - жоғары коррозияға және ыстыққа төзімділігі және тамаша жылу өткізгіштігі бар тығыз, тозуға төзімді кремний карбидті жабыны. Бұл жоғары тазалықтағы SiC жабыны негізінен жартылай өткізгіш және электроника өнеркәсібінде пластина тасымалдағыштарын, негіздерін және қыздыру элементтерін коррозиялық және реактивті ортадан қорғау үшін қолданылады. SiC жабыны сонымен қатар вакуумдық пештерге және жоғары вакуумдық, реактивті және оттегі орталарында үлгілерді қыздыруға жарамды.

Жоғары тазалықтағы SiC жабын беті

SiC жабындарын өңдеу процесі дегеніміз не?

Негіздің бетіне кремний карбидінің жұқа қабаты қолданыладыCVD (Химиялық будың тұнбасы)Тұндыру әдетте 1200-1300°C температурада жүзеге асырылады және термиялық кернеуді азайту үшін негіз материалының термиялық кеңею әрекеті SiC жабынымен үйлесімді болуы керек.

CVD SIC пленкасының кристалдық құрылымы

CVD SIC жабынды пленкасының кристалдық құрылымы

SiC жабынының физикалық қасиеттері негізінен оның жоғары температураға төзімділігінде, қаттылығында, коррозияға төзімділігінде және жылу өткізгіштігінде көрінеді.

Әдетте физикалық параметрлер келесідей болады:

ҚаттылықSiC жабыны әдетте 2000-2500 HV диапазонында Виккерс қаттылығына ие, бұл оларға өнеркәсіптік қолданыстарда өте жоғары тозуға және соққыға төзімділікті береді.

ТығыздықSiC жабындарының тығыздығы әдетте 3,1-3,2 г/см³ құрайды. Жоғары тығыздық жабынның механикалық беріктігі мен ұзақ мерзімділігіне ықпал етеді.

Жылу өткізгіштігіSiC жабындары жоғары жылу өткізгіштікке ие, әдетте 120-200 Вт/мК (20°C температурада) диапазонында болады. Бұл оған жоғары температуралы ортада жақсы жылу өткізгіштігін береді және оны жартылай өткізгіш өнеркәсібіндегі термиялық өңдеу жабдықтары үшін әсіресе қолайлы етеді.

Балқу температурасы: кремний карбидінің балқу температурасы шамамен 2730°C және экстремалды температурада тамаша термиялық тұрақтылыққа ие.

Жылулық кеңею коэффициентіSiC жабындары жылу кеңеюінің сызықтық коэффициентінің (CTE) төмен деңгейіне ие, әдетте 4,0-4,5 мкм/мК (25-1000℃ температурада) аралығында болады. Бұл оның өлшемдік тұрақтылығы үлкен температура айырмашылықтарында тамаша екенін білдіреді.

Коррозияға төзімділікSiC жабындары күшті қышқылдық, сілтілік және тотығу орталарында коррозияға өте төзімді, әсіресе күшті қышқылдарды (мысалы, HF немесе HCl) қолданған кезде, олардың коррозияға төзімділігі дәстүрлі металл материалдарына қарағанда әлдеқайда жоғары.

SiC жабынының қолданылу негізі

SiC жабыны көбінесе негіздің коррозияға төзімділігін, жоғары температураға төзімділігін және плазмалық эрозияға төзімділігін жақсарту үшін қолданылады. Жалпы қолданылатын негіздерге мыналар жатады:

Субстрат түрі	Өтініш беру себебі	Әдеттегі қолданылуы
Графит	- Жеңіл құрылым, жақсы жылу өткізгіштік - Бірақ плазмамен оңай коррозияға ұшырайды, SiC жабынынан қорғауды қажет етеді	Вакуумдық камера бөлшектері, графит қайықтары, плазмалық ою науалары және т.б.
Кварц (кварц/SiO₂)	- Жоғары тазалық, бірақ оңай коррозияға ұшырайды - Жабын плазма эрозиясына төзімділікті арттырады	CVD/PECVD камерасының бөлшектері
Керамика (мысалы, алюминий тотығы Al₂O₃)	- Жоғары беріктік және тұрақты құрылым - Қаптау бетінің коррозияға төзімділігін жақсартады	Камераның төсеніші, арматурасы және т.б.
Металдар (мысалы, молибден, титан және т.б.)	- Жылу өткізгіштігі жақсы, бірақ коррозияға төзімділігі төмен - Қаптау бетінің тұрақтылығын жақсартады	Арнайы процесс реакциясының компоненттері
Кремний карбидінің күйдірілген корпусы (SiC көлемді)	- Күрделі жұмыс жағдайларына жоғары талаптар қойылатын орталар үшін - Қаптау тазалықты және коррозияға төзімділікті одан әрі жақсартады	Жоғары сапалы CVD/ALD камерасының компоненттері

SiC жабыны бар өнімдер келесі жартылай өткізгіш салаларда жиі қолданылады

SiC жабынды өнімдері жартылай өткізгіштерді өңдеуде, негізінен жоғары температурада, жоғары коррозияда және күшті плазмалық ортада кеңінен қолданылады. Төменде бірнеше негізгі қолдану процестері немесе салалары және қысқаша сипаттамалары берілген:

Өтінім беру процесі/өрісі	Қысқаша сипаттама	Кремний карбидін жабу функциясы
Плазмалық ою (Ою)	Үлгіні беру үшін фтор немесе хлор негізіндегі газдарды пайдаланыңыз	Плазма эрозиясына қарсы тұрыңыз және бөлшектер мен металл ластануының алдын алыңыз
Химиялық бу тұндыру (CVD/PECVD)	Оксидтің, нитридтің және басқа жұқа қабықшалардың тұндырылуы	Коррозияға қарсы прекурсорлық газдарға төзімділік және компоненттің қызмет ету мерзімін ұзарту
Физикалық бу тұндыру камерасы (PVD)	Қаптау процесі кезінде жоғары энергиялы бөлшектермен бомбалау	Реакция камерасының эрозияға төзімділігін және жылуға төзімділігін арттырыңыз
MOCVD процесі (мысалы, SiC эпитаксиалды өсуі)	Жоғары температура мен жоғары сутегі коррозиялық атмосферадағы ұзақ мерзімді реакция	Жабдықтың тұрақтылығын сақтаңыз және өсіп келе жатқан кристалдардың ластануына жол бермеңіз
Жылулық өңдеу процесі (LPCVD, диффузия, күйдіру және т.б.)	Әдетте жоғары температурада және вакуумда/атмосферада жүргізіледі	Графит қайықтары мен науаларын тотығудан немесе коррозиядан қорғаңыз
Вафли тасымалдаушысы/патрон (Вафлиді өңдеу)	Пластинаны тасымалдау немесе тіреу үшін графит негізі	Бөлшектердің төгілуін азайтыңыз және жанасудан ластанудан аулақ болыңыз
ALD камерасының компоненттері	Атом қабатының тұнбасын бірнеше рет және дәл бақылау	Жабын камераны таза ұстайды және прекурсорларға жоғары коррозияға төзімділікке ие

Неліктен VET Energy компаниясын таңдау керек?

VET Energy - Қытайдағы SiC жабын өнімдерінің жетекші өндірушісі, инноваторы және көшбасшысы, негізгі SiC жабын өнімдеріне мыналар кіредіSiC жабыны бар пластина тасымалдағышыSiC жабыны барэпитаксиалды сусцептор, SiC қапталған графит сақинасы, SiC жабыны бар жарты ай тәрізді бөлшектер, SiC жабыны бар көміртекті-көміртекті композит, SiC жабыны бар пластиналы қайық, SiC жабыны бар жылытқышжәне т.б. VET Energy жартылай өткізгіштер өнеркәсібін ең озық технологиялар мен өнім шешімдерімен қамтамасыз етуге міндеттенеді және теңшеу қызметтерін қолдайды. Біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктесіңіз болуға шын жүректен үміттенеміз.