Sîlîkon Karbîdpêkhateyeke hişk e ku silîkon û karbonê dihewîne, û di xwezayê de wekî mînerala moissanite ya pir kêm tê dîtin. Perçeyên karbîda silîkonê dikarin bi sinterkirinê ve bi hev ve werin girêdan da ku seramîkên pir hişk çêbikin, ku bi berfirehî di sepanên ku domdariya bilind hewce dikin de têne bikar anîn, nemaze di pêvajoya nîvconductor de.
Pêkhateya fîzîkî ya SiC
Pêçandina SiC çi ye?
Pêçandina SiC pêçandinek silîkon karbîd a tîr û li hember aşînê berxwedêr e ku xwedî berxwedana bilind a korozyon û germê û guhêzbariya germê ya hêja ye. Ev pêçandina SiC ya paqijiya bilind bi giranî di pîşesaziyên nîvconductor û elektronîkê de tê bikar anîn da ku hilgirên wafer, bingeh û hêmanên germkirinê ji jîngehên korozîf û reaktîf biparêze. Pêçandina SiC ji bo firneyên valahiyê û germkirina nimûneyan di jîngehên valahiyek bilind, reaktîf û oksîjenê de jî guncaw e.
Rûyê pêçandina SiC ya paqijiya bilind
Pêvajoya pêçandina SiC çi ye?
Bi karanîna vê rêbazê, qatek zirav ji karbîda silîkonê li ser rûyê substratê tê danîn.CVD (Depozîsyona Buxara Kîmyewî)Depozîsyon bi gelemperî di germahiyên 1200-1300°C de tê kirin û tevgera berfirehbûna germî ya materyalê substratê divê bi pêça SiC re hevaheng be da ku zexta germî kêm bibe.
Fîlma pêçandina CVD SIC AVAHIYA KRÎSTAL
Taybetmendiyên fîzîkî yên pêçandina SiC bi piranî di berxwedana wê ya germahiya bilind, hişkbûn, berxwedana korozyonê û rahînbûna germî de têne xuyang kirin.
Parametreyên fîzîkî yên tîpîk bi gelemperî wiha ne:
HişkbûnPêçandina SiC bi gelemperî hişkbûna Vickers di navbera 2000-2500 HV de heye, ku di sepanên pîşesaziyê de berxwedana wan a pir bilind li hember aşîn û bandorê dide wan.
TîrbûnPêçanên SiC bi gelemperî densiteya wan 3.1-3.2 g/cm³ e. Densiteya bilind beşdarî hêza mekanîkî û domdariya pêçanê dibe.
Gehînerîya germîPêçanên SiC xwedî rêjeyek germî ya bilind in, bi gelemperî di navbera 120-200 W/mK (li 20°C) de. Ev yek di hawîrdorên germahiya bilind de rêjeyek germî ya baş dide wê û wê bi taybetî ji bo alavên dermankirina germî di pîşesaziya nîvconductor de guncan dike.
Xala helandinêXala helandinê ya karbîda silîkonê nêzîkî 2730°C ye û di germahiyên zêde de xwedî aramiya germî ya pir baş e.
Koefîsyona Berfirehbûna GermahîPêçanên SiC xwedî koefîsyenteke xêzikî ya berfirehbûna germî (CTE) ya nizm in, bi gelemperî di navbera 4.0-4.5 µm/mK de (di navbera 25-1000℃ de). Ev tê vê wateyê ku aramiya wê ya boyûtî li ser cûdahiyên germahiyê yên mezin pir baş e.
Berxwedana li hember korozyonêPêçanên SiC di hawîrdorên asîdên bihêz, alkalî û oksîdker de li hember korozyonê pir berxwedêr in, nemaze dema ku asîdên bihêz (wek HF an HCl) têne bikar anîn, berxwedana wan a li hember korozyonê ji ya materyalên metal ên kevneşopî pir zêdetir e.
Substrata sepandina pêçandina SiC
Pêçandina SiC pir caran ji bo baştirkirina berxwedana korozyonê, berxwedana germahiya bilind, û berxwedana erozyona plazmayê ya substratê tê bikar anîn. Substratên ku bi gelemperî têne sepandin ev in:
| Cureyê substratê | Sedema serlêdanê | Bikaranîna tîpîk |
| Grafît | - Avahiya sivik, guhêrbarîya germê baş - Lê bi hêsanî ji hêla plazmayê ve tê zeliqandin, parastina pêça SiC hewce dike | Parçeyên odeya valahiyê, qeyikên grafîtê, tepsiyên gravkirina plazmayê, û hwd. |
| Quartz (Quartz/SiO₂) | - Paqijiya bilind lê bi hêsanî zînde dibe - Pêçandin berxwedana erozyona plazmayê zêde dike | Parçeyên odeya CVD/PECVD |
| Seramîk (wek alumina Al₂O₃) | - Hêza bilind û avahiyek stabîl - Rûpûşkirin berxwedana korozyonê ya rûyê baştir dike | Aparatên odeyê, alavên wê û hwd. |
| Metalên (wek mînak molîbden, tîtan, û hwd.) | - Germbûna zêde baş e lê berxwedana korozyonê qels e - Rûpûşkirin aramiya rûyê baştir dike | Pêkhateyên reaksiyonên pêvajoyê yên taybet |
| Laşê sinterkirî yê ji karbîda silîkonê (girseya SiC) | - Ji bo jîngehên bi daxwazên bilind ji bo şert û mercên xebatê yên tevlihev - Pêçandin paqijiyê û berxwedana korozyonê bêtir baştir dike | Pêkhateyên odeya CVD/ALD ya asta bilind |
Berhemên pêçayî yên SiC bi gelemperî li deverên nîvconductor ên jêrîn têne bikar anîn
Berhemên pêçandina SiC bi berfirehî di hilberandina nîvconductor de têne bikar anîn, bi taybetî di germahiya bilind, korozyona bilind û hawîrdorên plazmaya bihêz de. Li jêr çend pêvajo an qadên serîlêdanê yên sereke û danasînên kurt hene:
| Pêvajoya serlêdanê/qada | Kurtedanasîn | Fonksiyona pêçandina Silicon Carbide |
| Gravkirina plazmayê (Gravkirin) | Ji bo veguhestina qalibê gazên li ser bingeha florîn an klorê bikar bînin | Li hember erozyona plazmayê li ber xwe dide û pêşî li gemarbûna perçe û metalan digire |
| Depokirina buxara kîmyewî (CVD/PECVD) | Depokirina oksît, nîtrîd û fîlmên din ên tenik | Li hember gazên pêşeng ên korozîf li ber xwe didin û temenê pêkhateyan dirêj dikin |
| Odeya depoya buhara fîzîkî (PVD) | Bombebarankirina perçeyên bi enerjiya bilind di dema pêvajoya pêçandinê de | Berxwedana erozyonê û berxwedana germê ya odeya reaksiyonê baştir bikin |
| Pêvajoya MOCVD (wekî mezinbûna epitaksiyal a SiC) | Reaksiyona demdirêj di bin germahiya bilind û atmosfera korozîf a hîdrojenê ya bilind de | Sabîtîya alavan biparêzin û pêşî li gemarbûna krîstalên mezinbûnê bigirin |
| Pêvajoya dermankirina germê (LPCVD, belavbûn, germkirin, hwd.) | Bi gelemperî di germahiya bilind û valahî/atmosferê de tê kirin | Qeyikên grafît û tepsiyan ji oksîdasyon an korozyonê biparêzin |
| Hilgir/çakê waferê (Bikaranîna waferê) | Bingeha grafît ji bo veguhastina wafer an piştgiriyê | Rijandina perçeyan kêm bike û ji qirêjbûna bi têkiliyê dûr bisekine |
| Pêkhateyên odeya ALD | Kontrolkirina dubarekirî û rast a depoya qata atomî | Ev pêç jûreyê paqij dihêle û li hember pêşmadeyan berxwedana korozyonê ya bilind heye. |
Çima VET Energy hilbijêrin?
VET Energy hilberîner, nûjenker û rêberê sereke yê berhemên pêçandina SiC li Çînê ye, berhemên sereke yên pêçandina SiC ev inhilgirê waferê bi pêçandina SiC, bi SiC pêçayîsûpstorê epîtaksîyal, Halkaya grafîtê ya pêçayî bi SiC, Parçeyên nîv-heyvî bi pêçandina SiC, Kompozît karbon-karbonê bi pêçandina SiC, Qeyika waferê ya bi pêçandina SiC, Germkera pêçayî ya SiC, hwd. VET Energy pabend e ku ji bo pîşesaziya nîvconductor çareseriyên teknolojî û hilberên herî dawî peyda bike, û piştgiriyê dide karûbarên xwerûkirinê. Em bi dilgermî li hêviya şirîkê we yê demdirêj li Çînê ne.
Heke pirsek we hebe an jî hewceyê hûrguliyên zêdetir bin, ji kerema xwe dudilî nebin ku bi me re têkilî daynin.
Whatsapp&Wechat:+86-18069021720
Email: steven@china-vet.com
Dema weşandinê: 18ê Cotmeha 2024an