Šta je SIC premaz?

Silicijum karbidje tvrdi spoj koji sadrži silicijum i ugljik, a u prirodi se nalazi kao izuzetno rijedak mineral moissanit. Čestice silicijum karbida mogu se povezati sinterovanjem i formirati vrlo tvrdu keramiku, koja se široko koristi u primjenama koje zahtijevaju visoku izdržljivost, posebno u proizvodnji poluprovodnika.

Fizička struktura SiC-a

SiC premaz je gusti, otporni premaz silicijum karbida otporan na habanje s visokom otpornošću na koroziju i toplinu te odličnom toplinskom provodljivošću. Ovaj visokočisti SiC premaz prvenstveno se koristi u industriji poluprovodnika i elektronike za zaštitu nosača pločica, baza i grijaćih elemenata od korozivnih i reaktivnih okruženja. SiC premaz je također pogodan za vakuumske peći i zagrijavanje uzoraka u visokom vakuumu, reaktivnim okruženjima i okruženjima s kisikom.

Površina premaza SiC visoke čistoće

Šta je proces nanošenja SiC premaza?

Tanki sloj silicijum karbida se nanosi na površinu podloge pomoćuCVD (Hemijsko taloženje iz parne faze)Taloženje se obično izvodi na temperaturama od 1200-1300°C, a ponašanje termičkog širenja materijala podloge treba biti kompatibilno sa SiC premazom kako bi se minimiziralo termičko naprezanje.

KRISTALNA STRUKTURA CVD SIC FILMA

CVD SIC premaz KRISTALNA STRUKTURA FILMA

Fizička svojstva SiC premaza se uglavnom ogledaju u njegovoj otpornosti na visoke temperature, tvrdoći, otpornosti na koroziju i toplotnoj provodljivosti.

Tipični fizički parametri su obično sljedeći:

TvrdoćaSiC premaz obično ima tvrdoću po Vickersu u rasponu od 2000-2500 HV, što im daje izuzetno visoku otpornost na habanje i udarce u industrijskim primjenama.

GustoćaSiC premazi obično imaju gustoću od 3,1-3,2 g/cm³. Visoka gustoća doprinosi mehaničkoj čvrstoći i trajnosti premaza.

Toplinska provodljivostSiC premazi imaju visoku toplotnu provodljivost, obično u rasponu od 120-200 W/mK (na 20°C). To im daje dobru toplotnu provodljivost u okruženjima visokih temperatura i čini ih posebno pogodnim za opremu za termičku obradu u industriji poluprovodnika.

Tačka topljenjaSilicijum karbid ima tačku topljenja od približno 2730°C i odličnu termičku stabilnost na ekstremnim temperaturama.

Koeficijent termičkog širenjaSiC premazi imaju nizak linearni koeficijent termičkog širenja (CTE), obično u rasponu od 4,0-4,5 µm/mK (u rasponu od 25-1000℃). To znači da je njihova dimenzionalna stabilnost odlična pri velikim temperaturnim razlikama.

Otpornost na korozijuSiC premazi su izuzetno otporni na koroziju u jakim kiselim, alkalnim i oksidirajućim okruženjima, posebno kada se koriste jake kiseline (kao što su HF ili HCl), njihova otpornost na koroziju daleko premašuje onu kod konvencionalnih metalnih materijala.

SiC podloga za nanošenje premaza

SiC premaz se često koristi za poboljšanje otpornosti na koroziju, otpornosti na visoke temperature i otpornosti na plazma eroziju podloge. Uobičajene primjene podloga uključuju sljedeće:

Vrsta podloge	Razlog prijave	Tipična upotreba
Grafit	- Lagana struktura, dobra toplotna provodljivost - Ali lako korodira plazmom, zahtijeva zaštitu SiC premazom	Dijelovi vakuumske komore, grafitni čamci, posude za plazma nagrizanje itd.
Kvarc (kvarc/SiO₂)	- Visoka čistoća, ali lako korodira - Premaz poboljšava otpornost na plazma eroziju	Dijelovi CVD/PECVD komore
Keramika (kao što je aluminijum oksid Al₂O₃)	- Visoka čvrstoća i stabilna struktura - Premaz poboljšava otpornost površine na koroziju	Obloga komore, armature itd.
Metali (kao što su molibden, titan, itd.)	- Dobra toplotna provodljivost, ali slaba otpornost na koroziju - Premaz poboljšava stabilnost površine	Komponente specijalnih reakcija procesa
Sinterovano tijelo od silicijum karbida (SiC u masi)	- Za okruženja sa visokim zahtjevima za složene radne uslove - Premaz dodatno poboljšava čistoću i otpornost na koroziju	Vrhunske komponente CVD/ALD komore

Proizvodi obloženi SiC-om se obično koriste u sljedećim oblastima poluprovodnika

Proizvodi od SiC premaza se široko koriste u obradi poluprovodnika, uglavnom u okruženjima visokih temperatura, visoke korozije i jake plazme. U nastavku slijedi nekoliko glavnih procesa ili područja primjene i kratki opisi:

Proces/područje prijave	Kratak opis	Funkcija premaza silicijum karbidom
Plazma nagrizanje (nagrizanje)	Koristite plinove na bazi fluora ili hlora za prijenos uzoraka	Otpornost na eroziju plazmom i sprečavanje kontaminacije česticama i metalom
Hemijsko taloženje iz parne faze (CVD/PECVD)	Taloženje oksidnih, nitridnih i drugih tankih filmova	Otpornost na korozivne prekursorske plinove i produženje vijeka trajanja komponenti
Komora za fizičko taloženje pare (PVD)	Bombardovanje visokoenergetskim česticama tokom procesa nanošenja premaza	Poboljšajte otpornost na eroziju i otpornost na toplotu reakcijske komore
MOCVD proces (kao što je epitaksijalni rast SiC-a)	Dugotrajna reakcija na visokoj temperaturi i u korozivnoj atmosferi s visokim sadržajem vodika	Održavajte stabilnost opreme i spriječite kontaminaciju rastućih kristala
Proces termičke obrade (LPCVD, difuzija, žarenje, itd.)	Obično se izvodi na visokoj temperaturi i u vakuumu/atmosferi	Zaštitite grafitne čamce i posude od oksidacije ili korozije
Nosač/stezaljka za pločice (Rukovanje pločicama)	Grafitna baza za prijenos ili podršku pločice	Smanjite oslobađanje čestica i izbjegnite kontaktnu kontaminaciju
Komponente ALD komore	Ponavljano i precizno kontroliše nanošenje atomskog sloja	Premaz održava komoru čistom i ima visoku otpornost na koroziju uzrokovanu prekursorima.

Zašto odabrati VET Energy?

VET Energy je vodeći proizvođač, inovator i lider u proizvodnji SiC premaza u Kini, a glavni proizvodi za SiC premaze uključuju...Nosač pločice sa SiC premazom, SiC premazepitaksijalni susceptor, Grafitni prsten obložen SiC-om, Polumjesečasti dijelovi sa SiC premazom, Ugljik-ugljični kompozit obložen SiC-om, Čamac od pločice obložen SiC-om, SiC obloženi grijač, itd. VET Energy je posvećen pružanju vrhunske tehnologije i rješenja za proizvode poluprovodničkoj industriji, te podržava usluge prilagođavanja. Iskreno se radujemo što ćemo biti vaš dugoročni partner u Kini.