Kaj je premaz SIC? – VET ENERGY

Silicijev karbidje trda spojina, ki vsebuje silicij in ogljik, v naravi pa jo najdemo kot izjemno redek mineral moissanit. Delce silicijevega karbida je mogoče s sintranjem povezati v zelo trdo keramiko, ki se pogosto uporablja v aplikacijah, ki zahtevajo visoko vzdržljivost, zlasti pri proizvodnji polprevodnikov.

Fizikalna struktura SiC

Kaj je SiC premaz?

SiC prevleka je gosta, proti obrabi odporna prevleka silicijevega karbida z visoko korozijsko in toplotno odpornostjo ter odlično toplotno prevodnostjo. Ta visoko čista SiC prevleka se uporablja predvsem v polprevodniški in elektronski industriji za zaščito nosilcev rezin, podstavkov in grelnih elementov pred korozivnim in reaktivnim okoljem. SiC prevleka je primerna tudi za vakuumske peči in ogrevanje vzorcev v visokem vakuumu, reaktivnem in kisikovem okolju.

Visoko čista površina SiC prevleke

Kakšen je postopek nanašanja SiC prevleke?

Na površino substrata se z uporabo nanese tanka plast silicijevega karbidaCVD (kemično nanašanje s paro)Nanašanje se običajno izvaja pri temperaturah 1200–1300 °C, toplotno raztezanje substrata pa mora biti združljivo s prevleko SiC, da se čim bolj zmanjša toplotna obremenitev.

KRISTALNA STRUKTURA CVD SIC FOLIJE

CVD SIC prevleka KRISTALNA STRUKTURA FILMA

Fizikalne lastnosti SiC prevleke se odražajo predvsem v njeni odpornosti na visoke temperature, trdoti, odpornosti proti koroziji in toplotni prevodnosti.

Tipični fizikalni parametri so običajno naslednji:

TrdotaSiC prevleke imajo običajno Vickersovo trdoto v območju 2000-2500 HV, kar jim daje izjemno visoko odpornost proti obrabi in udarcem v industrijskih aplikacijah.

GostotaSiC prevleke imajo običajno gostoto 3,1–3,2 g/cm³. Visoka gostota prispeva k mehanski trdnosti in trajnosti prevleke.

Toplotna prevodnostSiC prevleke imajo visoko toplotno prevodnost, običajno v območju 120–200 W/mK (pri 20 °C). Zaradi tega imajo dobro toplotno prevodnost v visokotemperaturnih okoljih in so še posebej primerne za opremo za toplotno obdelavo v polprevodniški industriji.

TališčeSilicijev karbid ima tališče približno 2730 °C in odlično toplotno stabilnost pri ekstremnih temperaturah.

Koeficient toplotnega raztezanjaSiC prevleke imajo nizek linearni koeficient toplotnega raztezanja (CTE), običajno v območju 4,0–4,5 µm/mK (v območju 25–1000 ℃). To pomeni, da je njihova dimenzijska stabilnost odlična pri velikih temperaturnih razlikah.

Odpornost proti korozijiSiC prevleke so izjemno odporne proti koroziji v močnih kislinah, alkalijah in oksidacijskih okoljih, zlasti pri uporabi močnih kislin (kot sta HF ali HCl), njihova korozijska odpornost daleč presega odpornost običajnih kovinskih materialov.

Podlaga za nanašanje SiC prevleke

Premaz SiC se pogosto uporablja za izboljšanje odpornosti proti koroziji, visokim temperaturam in eroziji podlage. Med pogostejše podlage, ki se uporabljajo, spadajo:

Vrsta substrata	Razlog za prijavo	Tipična uporaba
Grafit	- Lahka struktura, dobra toplotna prevodnost - Vendar ga plazma zlahka korodira, zato je potrebna zaščita s premazom SiC	Deli vakuumskih komor, grafitni čolni, pladnji za plazemsko jedkanje itd.
Kremen (kremen/SiO₂)	- Visoka čistost, vendar zlahka korodira - Premaz izboljša odpornost proti eroziji s plazmo	Deli komore CVD/PECVD
Keramika (kot je aluminijev oksid Al₂O₃)	- Visoka trdnost in stabilna struktura - Premaz izboljša površinsko odpornost proti koroziji	Obloga komore, armatura itd.
Kovine (kot so molibden, titan itd.)	- Dobra toplotna prevodnost, vendar slaba odpornost proti koroziji - Premaz izboljša stabilnost površine	Posebne procesne reakcijske komponente
Sintrano telo iz silicijevega karbida (SiC v razsutem stanju)	- Za okolja z visokimi zahtevami za kompleksne delovne pogoje - Premaz dodatno izboljša čistost in odpornost proti koroziji	Visokokakovostne komponente CVD/ALD komore

Izdelki s prevleko SiC se pogosto uporabljajo na naslednjih polprevodniških področjih

Izdelki s premazi SiC se pogosto uporabljajo pri obdelavi polprevodnikov, predvsem v okoljih z visoko temperaturo, visoko korozijo in močno plazmo. Sledi nekaj glavnih postopkov ali področij uporabe in kratki opisi:

Postopek/področje prijave	Kratek opis	Funkcija prevleke iz silicijevega karbida
Plazemsko jedkanje (jedkanje)	Za prenos vzorcev uporabite pline na osnovi fluora ali klora	Odpornost na erozijo s plazmo in preprečevanje kontaminacije z delci in kovinami
Kemično nanašanje iz pare (CVD/PECVD)	Nanašanje oksidnih, nitridnih in drugih tankih filmov	Odpornost na korozivne predhodne pline in podaljšanje življenjske dobe komponent
Komora za fizično nanašanje s paro (PVD)	Bombardiranje z visokoenergijskimi delci med postopkom nanašanja premaza	Izboljšajte odpornost proti eroziji in toplotni odpornosti reakcijske komore
Postopek MOCVD (kot je epitaksialna rast SiC)	Dolgotrajna reakcija pri visoki temperaturi in korozivni atmosferi z visoko vsebnostjo vodika	Ohranite stabilnost opreme in preprečite kontaminacijo rastočih kristalov
Postopek toplotne obdelave (LPCVD, difuzija, žarjenje itd.)	Običajno se izvaja pri visoki temperaturi in vakuumu/atmosferi	Zaščitite grafitne čolne in pladnje pred oksidacijo ali korozijo
Nosilec/vpenjalo za rezine (ravnanje z rezinami)	Grafitna osnova za prenos ali podporo rezin	Zmanjšajte izločanje delcev in se izognite kontaktni kontaminaciji
Komponente komore ALD	Večkratno in natančno nadzorujte nanašanje atomske plasti	Premaz ohranja komoro čisto in ima visoko odpornost proti koroziji zaradi predhodnikov

Zakaj izbrati VET Energy?

VET Energy je vodilni proizvajalec, inovator in vodja na področju izdelkov za premaze SiC na Kitajskem, med glavnimi izdelki za premaze SiC so ...nosilec rezine s prevleko SiC, prevlečen s SiCepitaksialni susceptor, Grafitni obroč s prevleko SiC, Polmesečasti deli s prevleko SiC, Ogljik-ogljikov kompozit s prevleko iz SiC, SiC prevlečena ladjica z rezinami, Grelec s prevleko SiCitd. VET Energy je zavezan k zagotavljanju vrhunskih tehnoloških in produktnih rešitev polprevodniški industriji ter podpira storitve prilagajanja. Iskreno se veselimo, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.