Што е SIC премачкување?

Силициум карбиде тврдо соединение што содржи силициум и јаглерод и се наоѓа во природата како исклучително редок минерал моисанит. Честичките од силициум карбид можат да се спојат со синтерување за да формираат многу тврда керамика, која е широко користена во апликации што бараат висока издржливост, особено во обработката на полупроводници.

Физичка структура на SiC

Што е SiC премаз?

SiC премазот е густ, отпорен на абење силициум-карбиден премаз со висока отпорност на корозија и топлина и одлична топлинска спроводливост. Овој SiC премаз со висока чистота првенствено се користи во полупроводничката и електронската индустрија за заштита на носачите на плочки, базите и грејните елементи од корозивни и реактивни средини. SiC премазот е исто така погоден за вакуумски печки и загревање на примероци во средини со висок вакуум, реактивни и кислородни средини.

Површина за обложување од SiC со висока чистота

Кој е процесот на обложување со SiC?

Тенок слој силициум карбид се нанесува на површината на подлогата со помош наCVD (хемиско таложење на пареа)Депозицијата обично се изведува на температури од 1200-1300°C, а однесувањето на термичка експанзија на материјалот на подлогата треба да биде компатибилно со SiC премазот за да се минимизира термичкиот стрес.

Кристална структура на CVD SIC филм

CVD SIC филмска премачкување Кристална структура

Физичките својства на SiC премазот главно се рефлектираат во неговата отпорност на високи температури, тврдост, отпорност на корозија и топлинска спроводливост.

Типичните физички параметри се обично следниве:

ТврдостSiC премазите обично имаат Викерсова тврдост во опсег од 2000-2500 HV, што им дава исклучително висока отпорност на абење и удар во индустриските апликации.

ГустинаSiC премазите обично имаат густина од 3,1-3,2 g/cm³. Високата густина придонесува за механичката цврстина и издржливоста на премазот.

Топлинска спроводливостSiC премазите имаат висока топлинска спроводливост, обично во опсег од 120-200 W/mK (на 20°C). Ова им дава добра топлинска спроводливост во средини со висока температура и ги прави особено погодни за опрема за термичка обработка во полупроводничката индустрија.

Точка на топењесилициум карбидот има точка на топење од приближно 2730°C и има одлична термичка стабилност на екстремни температури.

Коефициент на топлинска експанзијаSiC премазите имаат низок линеарен коефициент на термичка експанзија (CTE), обично во опсег од 4,0-4,5 µm/mK (на 25-1000℃). Ова значи дека нивната димензионална стабилност е одлична при големи температурни разлики.

Отпорност на корозијаSiC премазите се исклучително отпорни на корозија во силни киселини, алкалии и оксидирачки средини, особено кога се користат силни киселини (како што се HF или HCl), нивната отпорност на корозија далеку ја надминува онаа на конвенционалните метални материјали.

Подлога за нанесување на SiC премаз

SiC премазот често се користи за подобрување на отпорноста на корозија, отпорноста на високи температури и отпорноста на плазма ерозија на подлогата. Вообичаени подлоги за примена вклучуваат следново:

Тип на подлога	Причина за апликација	Типична употреба
Графит	- Лесна структура, добра топлинска спроводливост - Но лесно кородира од плазма, бара заштита од SiC слој	Делови од вакуумски комори, графитни чамци, послужавници за плазма гравирање итн.
Кварц (кварц/SiO₂)	- Висока чистота, но лесно кородира - Облогата ја зголемува отпорноста на плазматска ерозија	Делови од CVD/PECVD комората
Керамика (како што е алумина Al₂O₃)	- Висока цврстина и стабилна структура - Облогата ја подобрува отпорноста на површината на корозија	Облога на комората, тела, итн.
Метали (како што се молибден, титаниум, итн.)	- Добра топлинска спроводливост, но слаба отпорност на корозија - Обложувањето ја подобрува стабилноста на површината	Компоненти на реакција на специјални процеси
Синтерувано тело од силициум карбид (SiC во голем дел)	- За средини со високи барања за сложени работни услови - Облогата дополнително ја подобрува чистотата и отпорноста на корозија	Компоненти на висококвалитетна CVD/ALD комора

Производите обложени со SiC најчесто се користат во следниве полупроводнички области

Производите за премачкување од SiC се широко користени во обработката на полупроводници, главно во средини со висока температура, висока корозија и силна плазма. Следните се неколку главни процеси или области на примена и кратки описи:

Процес/поле за аплицирање	Краток опис	Функција за обложување со силициум карбид
Плазматско бакрување (бакрување)	Користете гасови на база на флуор или хлор за пренос на шаблони	Отпорност на плазма ерозија и спречување на контаминација со честички и метали
Хемиско таложење на пареа (CVD/PECVD)	Таложење на оксид, нитрид и други тенки филмови	Отпорност на корозивни прекурсорни гасови и зголемување на животниот век на компонентите
Физичка комора за таложење на пареа (PVD)	Бомбардирање со честички со висока енергија за време на процесот на обложување	Подобрете ја отпорноста на ерозија и отпорноста на топлина на реакционата комора
MOCVD процес (како што е епитаксијален раст на SiC)	Долгорочна реакција под висока температура и висока корозивна атмосфера со водород	Одржувајте ја стабилноста на опремата и спречете ја контаминацијата на растечките кристали
Процес на термичка обработка (LPCVD, дифузија, жарење, итн.)	Обично се изведува на висока температура и вакуум/атмосфера	Заштитете ги графитните чамци и послужавници од оксидација или корозија
Носач/стега за вафли (ракување со вафли)	Графитна основа за пренос или потпора на плочки	Намалете го расејувањето на честички и избегнувајте контактна контаминација
Компоненти на ALD комората	Повторливо и прецизно контролирање на таложењето на атомскиот слој	Облогата ја одржува комората чиста и има висока отпорност на корозија на прекурсори

Зошто да ја изберете VET Energy?

VET Energy е водечки производител, иноватор и лидер во производите за премачкување од SiC во Кина, а главните производи за премачкување од SiC вклучуваатносач на плочки со SiC облога, обложена со SiCепитаксијален сусцептор, Графитен прстен обложен со SiC, Делови во облик на полумесечина со SiC облога, Композит од јаглерод-јаглерод обложен со SiC, SiC обложен пловен брод со плочка, Грејач со SiC облога, итн. VET Energy е посветена на обезбедување на индустријата за полупроводници со врвни технолошки и производни решенија и поддржува услуги за прилагодување. Искрено се надеваме дека ќе бидеме ваш долгорочен партнер во Кина.