Silizio karburoasilizioa eta karbonoa dituen konposatu gogorra da, eta naturan moissanita mineral oso arraro gisa aurkitzen da. Silizio karburo partikulak sinterizazio bidez lotu daitezke zeramika oso gogorrak osatzeko, eta hauek oso erabiliak dira iraunkortasun handia behar duten aplikazioetan, batez ere erdieroaleen prozesioan.
SiC-ren egitura fisikoa
Zer da SiC estaldura?
SiC estaldura silizio karburozko estaldura trinkoa eta higadura-erresistentea da, korrosio eta beroarekiko erresistentzia handikoa eta eroankortasun termiko bikaina duena. Purutasun handiko SiC estaldura hau batez ere erdieroaleen eta elektronikaren industrietan erabiltzen da, oblea-euskarriak, oinarriak eta berogailu-elementuak ingurune korrosibo eta erreaktiboetatik babesteko. SiC estaldura ere egokia da hutseko labeetarako eta laginak berotzeko hutsean, ingurune erreaktiboetan eta oxigenoan.
SiC estaldura gainazal purua
Zer da SiC estaldura prozesua?
Silizio karburozko geruza fin bat substratuaren gainazalean jartzen da, erabilizCVD (Deposizio Kimikoa Lurrunaren bidez)Deposizioa normalean 1200-1300 °C-ko tenperaturetan egiten da eta substratu-materialaren hedapen termikoaren portaera SiC estaldurarekin bateragarria izan behar da tentsio termikoa minimizatzeko.
CVD SIC estaldura FILM KRISTAL EGITURA
SiC estalduraren propietate fisikoak batez ere tenperatura altuko erresistentzian, gogortasunean, korrosioarekiko erresistentzian eta eroankortasun termikoan islatzen dira.
Ohiko parametro fisikoak normalean hauek dira:
GogortasunaSiC estaldurak normalean 2000-2500 HV arteko Vickers gogortasuna izaten du, eta horrek higadura eta inpaktuarekiko erresistentzia oso handia ematen die aplikazio industrialetan.
DentsitateaSiC estaldurak normalean 3,1-3,2 g/cm³-ko dentsitatea dute. Dentsitate handiak estalduraren erresistentzia mekanikoari eta iraunkortasunari laguntzen dio.
Eroankortasun termikoaSiC estaldurak eroankortasun termiko handia dute, normalean 120-200 W/mK-ko tartean (20 °C-tan). Horri esker, eroankortasun termiko ona dute tenperatura altuko inguruneetan eta bereziki egokiak dira erdieroaleen industriako tratamendu termikoko ekipamenduetarako.
Urtze-puntuaSilizio karburoak 2730 °C-ko urtze-puntua du gutxi gorabehera, eta egonkortasun termiko bikaina du muturreko tenperaturetan.
Hedapen Termikoaren KoefizienteaSiC estaldurak hedapen termikoaren koefiziente lineal (CTE) baxua dute, normalean 4,0-4,5 µm/mK-ko tartean (25-1000 ℃-tan). Horrek esan nahi du dimentsio-egonkortasuna bikaina dela tenperatura-diferentzia handietan.
Korrosioarekiko erresistentziaSiC estaldurak oso erresistenteak dira korrosioarekiko azido, alkali eta ingurune oxidatzaileetan, batez ere azido sendoak (HF edo HCl bezalakoak) erabiltzean; haien korrosioarekiko erresistentzia material metaliko konbentzionalena baino askoz handiagoa da.
SiC estalduraren aplikazio substratua
SiC estaldura askotan erabiltzen da substratuaren korrosioarekiko erresistentzia, tenperatura altuko erresistentzia eta plasma higaduraren erresistentzia hobetzeko. Aplikazio ohikoenen artean hauek daude:
| Substratu mota | Aplikazioaren arrazoia | Ohiko erabilera |
| Grafitoa | - Egitura arina, eroankortasun termiko ona - Baina plasmak erraz korroditzen du, SiC estaldura babestua behar du | Hutsean ganberako piezak, grafitozko ontziak, plasma grabatzeko erretiluak, etab. |
| Kuartzoa (Kuartzoa/SiO₂) | - Purutasun handikoa baina erraz korroditzen dena - Estaldurak plasma higaduraren erresistentzia hobetzen du | CVD/PECVD ganberako piezak |
| Zeramikak (adibidez, alumina Al₂O₃) | - Erresistentzia handiko eta egitura egonkorra - Estaldurak gainazaleko korrosioarekiko erresistentzia hobetzen du | Ganberaren estaldura, osagarriak, etab. |
| Metalak (molibdenoa, titanioa, etab.) | - Eroankortasun termiko ona, baina korrosioarekiko erresistentzia eskasa - Estaldurak gainazalaren egonkortasuna hobetzen du | Prozesuko erreakzio osagai bereziak |
| Silizio karburozko gorputz sinterizatua (SiC bulk) | - Lan-baldintza konplexuetarako eskakizun handiak dituzten inguruneetarako - Estaldurak garbitasuna eta korrosioarekiko erresistentzia areagotzen ditu | Goi-mailako CVD/ALD ganbera osagaiak |
SiC estalitako produktuak honako erdieroaleen arloetan erabiltzen dira normalean
SiC estaldura produktuak asko erabiltzen dira erdieroaleen prozesamenduan, batez ere tenperatura altuetan, korrosio handiko eta plasma-ingurune sendoetan. Jarraian, aplikazio-prozesu edo -eremu nagusi batzuk eta deskribapen laburrak azaltzen dira:
| Eskaera prozesua/eremua | Deskribapen laburra | Siliziozko karburo estaldura funtzioa |
| Plasma bidezko grabatua (Grabatua) | Erabili fluorra edo kloroan oinarritutako gasak ereduen transferentziarako | Plasmaren higadurari aurre egin eta partikulen eta metalen kutsadura saihestu |
| Lurrun kimiko bidezko deposizioa (CVD/PECVD) | Oxido, nitruro eta beste film mehe batzuen metaketa | Aurrekari korrosiboen gasei aurre egin eta osagaien bizitza luzatu |
| Lurrun-deposizio fisikoko ganbera (PVD) | Energia handiko partikula bonbardaketa estaldura prozesuan zehar | Erreakzio-ganberaren higadura-erresistentzia eta bero-erresistentzia hobetu |
| MOCVD prozesua (adibidez, SiC epitaxial hazkundea) | Epe luzeko erreakzioa tenperatura altuan eta hidrogeno handiko korrosibo-atmosferan | Ekipamenduen egonkortasuna mantendu eta hazten ari diren kristalen kutsadura saihestu |
| Bero-tratamendu prozesua (LPCVD, difusioa, erreketa, etab.) | Normalean tenperatura altuan eta hutsean/atmosferan egiten da | Babestu grafitozko ontziak eta erretiluak oxidaziotik edo korrosiotik |
| Oblea-eramailea/mandrila (Oblea-manipulazioa) | Oblea transferitzeko edo euskarrirako grafito oinarria | Murriztu partikula-isuria eta saihestu kontaktu-kutsadura |
| ALD ganberako osagaiak | Kontrolatu geruza atomikoaren metaketa behin eta berriz eta zehaztasunez | Estaldurak ganbera garbi mantentzen du eta aurrekariekiko korrosioarekiko erresistentzia handia du. |
Zergatik aukeratu VET Energia?
VET Energy Txinako SiC estaldura produktuen fabrikatzaile, berritzaile eta liderra da, SiC estaldura produktu nagusien artean daudeSiC estaldura duen oblea-eramailea, SiC estalitakoepitaxial suszeptore, SiC estalitako grafito eraztuna, Ilargi erdi formako piezak SiC estaldurarekin, SiC estalitako karbono-karbono konpositea, SiC estalitako oblea-ontzia, SiC estalitako berogailua, etab. VET Energyk erdieroaleen industriari azken teknologia eta produktu irtenbideak eskaintzeko konpromisoa hartu du, eta pertsonalizazio zerbitzuak onartzen ditu. Zinez espero dugu Txinan zuen epe luzerako bazkide izatea.
Galderarik baduzu edo xehetasun gehiago behar badituzu, ez izan zalantzarik eta jar zaitez gurekin harremanetan.
Whatsapp&Wechat: +86-18069021720
Email: steven@china-vet.com
Argitaratze data: 2024ko urriaren 18a