He aha te paninga sic?

Silicon Carbidehe pūhui mārō kei roto te silicon me te waro, ka kitea i roto i te taiao ko te moissanite kohuke tino onge. Ko nga matūriki Silicon carbide ka taea te hono tahi ma te sintering ki te hanga i nga karamu tino uaua, e whakamahia nuitia ana i roto i nga tono e hiahia ana kia mau tonu, ina koa i roto i te hikoi semiconductor.

Te hanganga tinana o SiC

He aha te SiC coating?

Ko te paninga SiC he paninga carbide silicon carbide mātotoru, mau-atete me te waikura nui me te wera wera me te pai o te kawe wera. Ko tenei paninga SiC tino parakore e whakamahia ana i roto i nga umanga hiko me te hikohiko hei tiaki i nga kaikawe angiangi, nga turanga me nga huānga whakawera mai i nga taiao kino me te hohenga. He pai hoki te paninga SiC mo nga oumu korehau me te whakamahana tauira i roto i nga taiao korehau teitei, tauhohe me te hāora.

High parakore SiC mata paninga

He aha te tukanga paninga SiC?

He papa angiangi o te carbide silicon ka waiho ki te mata o te tïpako e whakamahi anaCVD (Waehanga Kohu Matū). I te nuinga o te wa ka mahia te waiariki ki te 1200-1300°C, me te hototahi ki te paninga SiC te whanonga roha waiariki ki te paninga SiC hei whakaiti i te ahotea waiariki.

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

CVD SIC paninga FILM CRYSTAL STRUCTURE

Ko nga ahuatanga tinana o te paninga SiC te nuinga ka kitea i roto i tona parenga teitei o te pāmahana, te pakeke, te aukati waikura me te kawe wera.

Ko nga tawhā tinana angamaheni e whai ake nei:

Te pakeke: Ko te paninga SiC te tikanga he Vickers Hardness i roto i te awhe o te 2000-2500 HV, e hoatu ana ki a ratou te kakahu tino teitei me te atete paanga ki nga tono ahumahi.

Kiato: Ko nga paninga SiC te tikanga he 3.1-3.2 g/cm³ te kiato. Ko te kiato teitei ka whai waahi ki te kaha miihini me te mau tonu o te paninga.

Te kawe werawera: Ko nga paninga SiC he nui te kawe werawera, ko te tikanga kei te awhe 120-200 W/mK (i te 20°C). Ma tenei ka pai te kawe i te waiariki i roto i nga taiao teitei o te pāmahana me te tino pai mo nga taputapu maimoatanga wera i roto i te umanga semiconductor.

Te rewa: Ko te carbide silicon he ira whakarewa tata ki te 2730°C me te tino pai o te waiariki i te tino mahana.

Whakarea o te Roha Ngawha: Ko nga paninga SiC he iti te whakarea rarangi o te roha waiariki (CTE), te tikanga kei te awhe o te 4.0-4.5 µm/mK (i te 25-1000 ℃). Ko te tikanga he pai rawa atu te pumau o te ahu ki runga i nga rereketanga o te pāmahana.

Te aukati waikura: Ko nga paninga SiC he tino atete ki te waikura i roto i nga taiao waikawa kaha, kawakawa me te waikura, ina koa ka whakamahia nga waikawa kaha (pēnei i te HF, i te HCl ranei), he nui ake te parenga waikura i era o nga mea whakarewa tikanga.

Tïpako tono paninga SiC

He maha nga wa e whakamahia ana te paninga SiC ki te whakapai ake i te parenga waikura, te parenga teitei o te pāmahana, me te aukati whakaheke plasma o te tïpako. Ko nga taputapu tono noa e whai ake nei:

Momo papanga	Take tono	Te whakamahi angamaheni
Kauwhata	- Hanga marama, pai te kawe wera - Engari he ngawari te waikura e te plasma, me tiaki te paninga SiC	Ko nga waahanga o te ruma korehau, nga poti kauwhata, nga papa tarai plasma, aha atu.
Quartz (Quartz/SiO₂)	- Tino parakore engari ngawari noa te waikura - Ko te whakakikorua ka whakanui ake i te parenga o te horo plasma	Ko nga waahanga ruma CVD / PECVD
Karaima (pērā i te alumina Al₂O₃)	- Te kaha teitei me te hanganga pumau - Ko te whakakikorua ka whakapai ake i te waikura o te mata	Ko nga raima ruma, nga taputapu, me etahi atu.
Nga konganuku (penei i te molybdenum, te titanium, me etahi atu)	- He pai te kawe i te waiariki engari he pai te aukati i te waikura - Ko te whakakikorua ka pai ake te pumau o te mata	Nga waahanga tauhohenga tukanga motuhake
Ko te tinana karaiha Silicon carbide (te nuinga o te SiC)	- Mo nga taiao me nga whakaritenga tiketike mo nga tikanga mahi uaua - Ko te paninga ka whakapai ake i te ma me te parenga waikura	Ko nga waahanga ruma CVD/ALD teitei

Ko nga hua whakakikorua SiC e whakamahia nuitia ana i nga waahanga semiconductor e whai ake nei

Ko nga hua paninga SiC e whakamahia nuitia ana i roto i te tukatuka semiconductor, ko te nuinga i roto i te pāmahana teitei, te waikura teitei me nga taiao plasma kaha. Ko enei e whai ake nei he maha nga tukanga tono nui, mara ranei me nga whakaahuatanga poto:

Te tukanga tono / mara	Whakaahuatanga poto	Mahi whakakikorua Silicon Carbide
Te rewa plasma (Etching)	Whakamahia nga hau karekau, maaota ranei mo te whakawhiti tauira	Aukati i te horonga o te plasma me te aukati i te poke matūriki me te whakarewa
Kohu matū (CVD/PECVD)	Te waikura, nitride me etahi atu kiriata angiangi	Aukati i nga hau kawa karekau me te whakanui ake i te ora o te waahanga
Kohu kohu tinana (PVD) ruma	Ko te pupuhi matūriki hiko teitei i te wa o te tukanga whakakikorua	Whakapai ake i te aukati horo me te wera o te ruuma tauhohenga
Te tukanga MOCVD (pērā i te tipu epitaxial SiC)	Te tauhohenga mo te wa roa i raro i te wera nui me te hau hauwai hauwai teitei	Kia mau tonu nga taputapu me te aukati i te poke o nga tioata tipu
Te tukanga maimoatanga wera (LPCVD, diffusion, annealing, etc.)	I te nuinga o te wa ka mahia i te teitei o te pāmahana me te korehau	Tiakina nga poti graphite me nga paepae mai i te waikura, te waikura ranei
Kaikawe angiangi/kawe (te whakahaere wafer)	Te turanga kauwhata mo te whakawhiti angiangi, tautoko ranei	Whakaitihia te whakaheke matūriki me te karo i te pokenga whakapiri
Nga waahanga o te ruma ALD	He maha, he tika hoki te whakahaere i te whakatakotoranga paparanga ngota	Ko te paninga ka noho ma te ruuma, he nui te parenga waikura ki nga kaamua

He aha i whiriwhiri ai i te VET Energy?

Ko te VET Energy he kaihanga nui, he kaiwhakahou me te kaiarahi mo nga hua paninga SiC i Haina, ko nga hua paninga SiC matua kei roto.te kawe angiangi me te paninga SiC, SiC paniakarekau epitaxial, SiC whakakikoruatia te mowhiti kauwhata, Ko nga waahanga haurua marama me te paninga SiC, SiC whakakikoruatia waro-wao hiato, Poti angiangi whakakikoruatia SiC, SiC whakawera whakawera, me etahi atu. E whakapau kaha ana a VET Energy ki te whakarato i te ahumahi semiconductor ki te hangarau tino me nga otinga hua, me te tautoko i nga ratonga whakaritenga. Ka tino tumanako matou ki te noho hei hoa mo te wa roa i Haina.