Dè a th’ ann an còmhdach sic?

Carbaid Shilicon'S e todhar cruaidh a th' ann an silicon agus carbon, agus lorgar e ann an nàdar mar am mèinnear tearc moissanite. Faodar mìrean silicon carbide a cheangal ri chèile le bhith gan sintering gus ceirmeag cruaidh a chruthachadh, a thathas a’ cleachdadh gu farsaing ann an tagraidhean a dh’ fheumas seasmhachd àrd, gu sònraichte ann am pròiseasadh leth-chonnsachaidh.

Structar corporra SiC

Dè a th’ ann an còmhdach SiC?

’S e còmhdach silicon carbide dùmhail, a tha an aghaidh caitheamh a th’ ann an còmhdach SiC le strì an aghaidh creimeadh is teas àrd agus giùlan teirmeach sàr-mhath. Tha an còmhdach SiC àrd-ghlan seo air a chleachdadh sa mhòr-chuid ann an gnìomhachasan leth-chonnsachaidh agus eileagtronaigeach gus luchd-giùlain wafer, bunaitean agus eileamaidean teasachaidh a dhìon bho àrainneachdan creimneach agus ath-ghnìomhach. Tha còmhdach SiC cuideachd freagarrach airson àmhainnean falamh agus teasachadh shampallan ann an àrainneachdan falamh àrd, ath-ghnìomhach agus ocsaidean.

Uachdar còmhdach SiC àrd-ghlanachd

Dè a th’ ann am pròiseas còmhdach SiC?

Tha sreath tana de charbid silicon air a thasgadh air uachdar an t-substrate a’ cleachdadhCVD (Tasgadh Ceò Ceimigeach)Mar as trice, thèid tasgadh a dhèanamh aig teòthachd eadar 1200-1300°C agus bu chòir giùlan leudachaidh teirmeach an stuth-substrate a bhith co-chòrdail ris a’ chòmhdach SiC gus cuideam teirmeach a lughdachadh.

STRUCTAR CRISTAIL FILM CVD SIC

Structar criostail film còmhdach CVD SIC

Tha feartan fiosaigeach còmhdach SiC air an nochdadh sa mhòr-chuid anns an aghaidh teòthachd àrd, cruas, strì an aghaidh creimeadh agus giùlan teirmeach aige.

Mar as trice bidh paramadairean corporra àbhaisteach mar a leanas:

CruasMar as trice bidh cruas Vickers aig còmhdach SiC anns an raon 2000-2500 HV, a tha gan toirt gu bhith an aghaidh caitheamh is buaidh ann an tagraidhean gnìomhachais.

DlùthsMar as trice bidh dùmhlachd de 3.1-3.2 g/cm³ aig còmhdach SiC. Tha an dùmhlachd àrd a’ cur ri neart meacanaigeach agus seasmhachd a’ chòmhdaich.

Seoltachd teirmeachTha seoltachd teirmeach àrd aig còtaichean SiC, mar as trice anns an raon 120-200 W/mK (aig 20°C). Tha seo a’ toirt deagh ghiùlan teirmeach dha ann an àrainneachdan teòthachd àrd agus ga dhèanamh gu sònraichte freagarrach airson uidheamachd làimhseachaidh teas ann an gnìomhachas leth-chonnsachaidh.

Puing leaghaidhTha puing leaghaidh de mu 2730°C aig carbide silicon agus tha seasmhachd teirmeach sàr-mhath aige aig teòthachdan anabarrach.

Co-èifeachd Leudachaidh TeirmeachTha co-èifeachd leudachaidh teirmeach (CTE) ìosal aig còmhdach SiC, mar as trice anns an raon 4.0-4.5 µm/mK (anns an raon 25-1000℃). Tha seo a’ ciallachadh gu bheil an seasmhachd tomhasach sàr-mhath thairis air eadar-dhealachaidhean teòthachd mòra.

Frith-aghaidh creimeadhTha còtaichean SiC air leth dìonach an aghaidh creimeadh ann an àrainneachdan làidir searbhagach, alcalach agus ocsaideach, gu h-àraidh nuair a thathar a’ cleachdadh searbhagan làidir (leithid HF no HCl), tha an strì an aghaidh creimeadh fada nas fheàrr na strì an aghaidh stuthan meatailt àbhaisteach.

fo-strat tagraidh còmhdach SiC

Bithear a’ cleachdadh còmhdach SiC gu tric gus an aghaidh creimeadh, an aghaidh teòthachd àrd, agus an aghaidh creimeadh plasma den t-substrate a leasachadh. Am measg nan substrates cumanta a thathar a’ cleachdadh tha na leanas:

Seòrsa fo-strat	Adhbhar an tagraidh	Cleachdadh àbhaisteach
Grafait	- Structar aotrom, deagh ghiùlan teirmeach - Ach bidh e furasta a chreimeadh le plasma, feumaidh e dìon còmhdach SiC	Pàirtean seòmar falamh, bàtaichean grafait, treallaich gràbhaidh plasma, msaa.
Grèis-chlach (Grèis-chlach/SiO₂)	- Glanachd àrd ach furasta a chreachadh - Bidh còmhdach a’ neartachadh strì an aghaidh creimeadh plasma	Pàirtean seòmar CVD/PECVD
Ceirmeag (leithid alumina Al₂O₃)	- Structar àrd-neart agus seasmhach - Bidh còmhdach a’ leasachadh strì an aghaidh creimeadh uachdar	Lìnigeadh seòmar, uidheamachd, msaa.
Meatailtean (leithid molybdenum, titanium, msaa.)	- Deagh ghiùlan teirmeach ach droch sheasamh an aghaidh creimeadh - Bidh còmhdach a’ leasachadh seasmhachd an uachdair	Co-phàirtean ath-bhualadh pròiseas sònraichte
Corp sintéirichte silicon carbide (SiC mòr-chuid)	- Airson àrainneachdan le riatanasan àrda airson suidheachaidhean obrach iom-fhillte - Bidh còmhdach a’ leasachadh purrachd agus strì an aghaidh creimeadh tuilleadh	Co-phàirtean seòmar CVD/ALD àrd-inbhe

Bithear a’ cleachdadh thoraidhean còmhdaichte le SiC gu cumanta anns na raointean leth-chonnsachaidh a leanas

Tha stuthan còmhdach SiC air an cleachdadh gu farsaing ann an giullachd leth-chonnsachaidh, gu h-àraidh ann an àrainneachdan teòthachd àrd, creimeadh àrd agus plasma làidir. Seo grunn phrìomh phròiseasan no raointean tagraidh agus tuairisgeulan goirid orra:

Pròiseas/raon tagraidh	Tuairisgeul goirid	Gnìomh còmhdach silicon carbide
Gràbhadh plasma (Gràbhadh)	Cleachd gasaichean stèidhichte air fluorine no clòirin airson gluasad phàtran	Seas an aghaidh bleith plasma agus casg a chur air truailleadh mìrean is meatailt
Tasgadh ceò ceimigeach (CVD/PECVD)	Tasgadh ocsaid, nitride agus filmichean tana eile	A’ seasamh an aghaidh gasaichean ro-ruithear creimneach agus a’ meudachadh beatha phàirtean
Seòmar tasgadh smùid corporra (PVD)	Bombardement mìrean àrd-lùtha rè a’ phròiseis chòtaidh	Leasaich an aghaidh creimeadh agus an aghaidh teas anns an t-seòmar freagairt
Pròiseas MOCVD (leithid fàs epitaxial SiC)	Ath-bhualadh fad-ùine fo theodhachd àrd agus àile creimneach àrd haidridean	Cùm seasmhachd uidheamachd agus cuir casg air truailleadh criostalan a tha a’ fàs
Pròiseas làimhseachaidh teas (LPCVD, sgaoileadh, teasachaidh, msaa.)	Mar as trice air a dhèanamh aig teòthachd àrd agus falamh/àile	Dìon bàtaichean agus treallaidean grafait bho oxidation no creimeadh
Giùlan/chuck uaifeir (làimhseachadh uaifeir)	Bunait grafait airson gluasad no taic wafer	Lùghdaich sgaoileadh mìrean agus seachain truailleadh conaltraidh
Co-phàirtean seòmar ALD	Smachd a chumail air tasgadh sreathan atamach a-rithist is a-rithist agus gu ceart	Cumaidh an còmhdach an seòmar glan agus tha e an aghaidh creimeadh àrd ri ro-ruithearan

Carson a thaghas tu VET Energy?

Tha VET Energy na phrìomh neach-dèanamh, ùr-ghnàthaiche agus stiùiriche ann an toraidhean còmhdach SiC ann an Sìona, agus tha na prìomh thoraidhean còmhdach SiC a’ toirt a-steachgiùlan wafer le còmhdach SiC, còmhdaichte le SiCgabhadair epitaxial, Fàinne grafait còmhdaichte le SiC, Pàirtean leth-ghealach le còmhdach SiC, Co-dhèanamh carbon-carbon còmhdaichte le SiC, Bàta uaifearan còmhdaichte le SiC, Teasadair còmhdaichte le SiC, msaa. Tha VET Energy dealasach a thaobh teicneòlas agus fuasglaidhean toraidh den chiad ìre a thoirt do ghnìomhachas nan leth-chonnsadairean, agus tha iad a’ toirt taic do sheirbheisean gnàthachaidh. Tha sinn a’ coimhead air adhart gu dùrachdach ri bhith nar com-pàirtiche fad-ùine agaibh ann an Sìona.