සිලිකන් කාබයිඩ්සිලිකන් සහ කාබන් අඩංගු දෘඩ සංයෝගයක් වන අතර එය ස්වභාවධර්මයේ අතිශය දුර්ලභ ඛනිජ මොයිසනයිට් ලෙස දක්නට ලැබේ. සිලිකන් කාබයිඩ් අංශු සින්ටර් කිරීම මගින් එකට බන්ධනය කර ඉතා දෘඩ සෙරමික් සෑදිය හැකි අතර, ඒවා ඉහළ කල්පැවැත්මක් අවශ්ය යෙදුම්වල, විශේෂයෙන් අර්ධ සන්නායක පෙරහැරේදී බහුලව භාවිතා වේ.
SiC හි භෞතික ව්යුහය
SiC ආලේපනය යනු කුමක්ද?
SiC ආලේපනය යනු ඉහළ විඛාදනයට සහ තාප ප්රතිරෝධයට සහ විශිෂ්ට තාප සන්නායකතාවයට ඔරොත්තු දෙන ඝන, ඇඳීමට ඔරොත්තු දෙන සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනයකි. මෙම අධි-පිරිසිදු SiC ආලේපනය ප්රධාන වශයෙන් අර්ධ සන්නායක සහ ඉලෙක්ට්රොනික කර්මාන්තවල වේෆර් වාහක, භෂ්ම සහ තාපන මූලද්රව්ය විඛාදන සහ ප්රතික්රියාශීලී පරිසරයන්ගෙන් ආරක්ෂා කිරීම සඳහා භාවිතා කරයි. SiC ආලේපනය ඉහළ රික්ත, ප්රතික්රියාශීලී සහ ඔක්සිජන් පරිසරවල රික්ත උදුන් සහ සාම්පල උණුසුම සඳහා ද සුදුසු ය.
ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් SiC ආලේපන මතුපිට
SiC ආලේපන ක්රියාවලිය යනු කුමක්ද?
උපස්ථරයේ මතුපිට සිලිකන් කාබයිඩ් තුනී ස්ථරයක් තැන්පත් කරනු ලබන්නේ,රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් වීම (CVD). තැන්පත් කිරීම සාමාන්යයෙන් 1200-1300°C උෂ්ණත්වවලදී සිදු කරනු ලබන අතර තාප ආතතිය අවම කිරීම සඳහා උපස්ථර ද්රව්යයේ තාප ප්රසාරණ හැසිරීම SiC ආලේපනය සමඟ අනුකූල විය යුතුය.
CVD SIC ආලේපන පටල ස්ඵටික ව්යුහය
SiC ආලේපනයේ භෞතික ගුණාංග ප්රධාන වශයෙන් එහි ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්රතිරෝධය, දෘඪතාව, විඛාදන ප්රතිරෝධය සහ තාප සන්නායකතාවය තුළින් පිළිබිඹු වේ.
සාමාන්ය භෞතික පරාමිතීන් සාමාන්යයෙන් පහත පරිදි වේ:
දෘඪතාව: SiC ආලේපන සාමාන්යයෙන් 2000-2500 HV පරාසයක Vickers දෘඪතාවක් ඇති අතර, එමඟින් කාර්මික යෙදීම් වලදී අතිශයින් ඉහළ ඇඳුම් ප්රතිරෝධයක් සහ බලපෑම් ප්රතිරෝධයක් ලබා දේ.
ඝනත්වය: SiC ආලේපන සාමාන්යයෙන් 3.1-3.2 g/cm³ ඝනත්වයක් ඇත. ඉහළ ඝනත්වය ආලේපනයේ යාන්ත්රික ශක්තිය සහ කල්පැවැත්ම සඳහා දායක වේ.
තාප සන්නායකතාවය: SiC ආලේපනවල ඉහළ තාප සන්නායකතාවක් ඇත, සාමාන්යයෙන් 120-200 W/mK (20°C දී) පරාසයක. මෙය ඉහළ උෂ්ණත්ව පරිසරවල හොඳ තාප සන්නායකතාවක් ලබා දෙන අතර අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ තාප පිරියම් කිරීමේ උපකරණ සඳහා විශේෂයෙන් සුදුසු වේ.
ද්රවාංකය: සිලිකන් කාබයිඩ් ද්රවාංකය ආසන්න වශයෙන් 2730°C වන අතර අධික උෂ්ණත්වවලදී විශිෂ්ට තාප ස්ථායිතාවයක් ඇත.
තාප ප්රසාරණයේ සංගුණකය: SiC ආලේපනවල තාප ප්රසාරණයේ අඩු රේඛීය සංගුණකයක් (CTE) ඇත, සාමාන්යයෙන් 4.0-4.5 µm/mK පරාසයක (25-1000℃ දී). මෙයින් අදහස් කරන්නේ විශාල උෂ්ණත්ව වෙනස්කම් වලට වඩා එහි මාන ස්ථායිතාව විශිෂ්ට බවයි.
විඛාදන ප්රතිරෝධය: SiC ආලේපන ශක්තිමත් අම්ල, ක්ෂාර සහ ඔක්සිකාරක පරිසරවල විඛාදනයට අතිශයින් ප්රතිරෝධී වේ, විශේෂයෙන් ශක්තිමත් අම්ල (HF හෝ HCl වැනි) භාවිතා කරන විට, ඒවායේ විඛාදන ප්රතිරෝධය සාම්ප්රදායික ලෝහ ද්රව්යවලට වඩා බෙහෙවින් වැඩි ය.
SiC ආලේපන යෙදුම් උපස්ථරය
SiC ආලේපනය බොහෝ විට උපස්ථරයේ විඛාදන ප්රතිරෝධය, ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්රතිරෝධය සහ ප්ලාස්මා ඛාදන ප්රතිරෝධය වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා භාවිතා කරයි. පොදු යෙදුම් උපස්ථරවලට පහත සඳහන් දෑ ඇතුළත් වේ:
| උපස්ථර වර්ගය | අයදුම් කිරීමේ හේතුව | සාමාන්ය භාවිතය |
| මිනිරන් | - ආලෝක ව්යුහය, හොඳ තාප සන්නායකතාවය - නමුත් ප්ලාස්මා මගින් පහසුවෙන් විඛාදනයට ලක්විය හැකි බැවින්, SiC ආලේපන ආරක්ෂාව අවශ්ය වේ. | රික්ත කුටීර කොටස්, මිනිරන් බෝට්ටු, ප්ලාස්මා කැටයම් තැටි ආදිය. |
| ක්වාර්ට්ස් (ක්වාර්ට්ස්/SiO₂) | - ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුක්ත නමුත් පහසුවෙන් විඛාදනයට ලක් වේ. - ආලේපනය ප්ලාස්මා ඛාදන ප්රතිරෝධය වැඩි දියුණු කරයි | CVD/PECVD කුටීර කොටස් |
| සෙරමික් (ඇලුමිනා Al₂O₃ වැනි) | - ඉහළ ශක්තියක් සහ ස්ථාවර ව්යුහයක් - ආලේපනය මතුපිට විඛාදන ප්රතිරෝධය වැඩි දියුණු කරයි | කුටීර ලයිනිං, සවිකිරීම් ආදිය. |
| ලෝහ (මොලිබ්ඩිනම්, ටයිටේනියම් ආදිය) | - හොඳ තාප සන්නායකතාවය නමුත් දුර්වල විඛාදන ප්රතිරෝධය - ආලේපනය මතුපිට ස්ථායිතාව වැඩි දියුණු කරයි | විශේෂ ක්රියාවලි ප්රතික්රියා සංරචක |
| සිලිකන් කාබයිඩ් සින්ටර් කරන ලද ශරීරය (SiC තොග) | - සංකීර්ණ සේවා කොන්දේසි සඳහා ඉහළ අවශ්යතා ඇති පරිසරයන් සඳහා - ආලේපනය සංශුද්ධතාවය සහ විඛාදන ප්රතිරෝධය තවදුරටත් වැඩි දියුණු කරයි. | ඉහළ මට්ටමේ CVD/ALD කුටීර සංරචක |
SiC ආලේපිත නිෂ්පාදන පහත සඳහන් අර්ධ සන්නායක ක්ෂේත්රවල බහුලව භාවිතා වේ.
SiC ආලේපන නිෂ්පාදන අර්ධ සන්නායක සැකසුම් වලදී බහුලව භාවිතා වේ, ප්රධාන වශයෙන් ඉහළ උෂ්ණත්වය, ඉහළ විඛාදනයට සහ ශක්තිමත් ප්ලාස්මා පරිසරයන් තුළ. පහත දැක්වෙන්නේ ප්රධාන යෙදුම් ක්රියාවලීන් හෝ ක්ෂේත්ර කිහිපයක් සහ කෙටි විස්තරයන් ය:
| අයදුම් කිරීමේ ක්රියාවලිය/ක්ෂේත්රය | කෙටි විස්තරයක් | සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපන ක්රියාකාරිත්වය |
| ප්ලාස්මා කැටයම් කිරීම (කැටයම් කිරීම) | රටා මාරු කිරීම සඳහා ෆ්ලෝරීන් හෝ ක්ලෝරීන් මත පදනම් වූ වායු භාවිතා කරන්න. | ප්ලාස්මා ඛාදනයට ඔරොත්තු දීම සහ අංශු හා ලෝහ දූෂණය වැළැක්වීම |
| රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් වීම (CVD/PECVD) | ඔක්සයිඩ්, නයිට්රයිඩ් සහ අනෙකුත් තුනී පටල තැන්පත් වීම. | විඛාදන පූර්වගාමී වායුවලට ඔරොත්තු දී සංරචක ආයු කාලය වැඩි කරන්න |
| භෞතික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීමේ (PVD) කුටිය | ආලේපන ක්රියාවලියේදී අධි ශක්ති අංශු බෝම්බ හෙලීම | ප්රතික්රියා කුටියේ ඛාදන ප්රතිරෝධය සහ තාප ප්රතිරෝධය වැඩි දියුණු කිරීම. |
| MOCVD ක්රියාවලිය (SiC එපිටැක්සියල් වර්ධනය වැනි) | ඉහළ උෂ්ණත්වය සහ ඉහළ හයිඩ්රජන් විඛාදන වායුගෝලය යටතේ දිගුකාලීන ප්රතික්රියාව | උපකරණ ස්ථායිතාව පවත්වා ගැනීම සහ වැඩෙන ස්ඵටික දූෂණය වීම වැළැක්වීම |
| තාප පිරියම් කිරීමේ ක්රියාවලිය (LPCVD, විසරණය, ඇනීලිං, ආදිය) | සාමාන්යයෙන් ඉහළ උෂ්ණත්වයකදී සහ රික්තක/වායුගෝලයකදී සිදු කෙරේ. | මිනිරන් බෝට්ටු සහ තැටි ඔක්සිකරණයෙන් හෝ විඛාදනයෙන් ආරක්ෂා කරන්න. |
| වේෆර් වාහකය/චක් (වේෆර් හැසිරවීම) | වේෆර් මාරු කිරීම හෝ ආධාරක සඳහා මිනිරන් පදනම | අංශු වැගිරීම අඩු කර ස්පර්ශ දූෂණය වළක්වා ගන්න |
| ALD කුටීර සංරචක | නැවත නැවතත් සහ නිවැරදිව පරමාණුක ස්ථර තැන්පත් වීම පාලනය කිරීම | ආලේපනය කුටිය පිරිසිදුව තබා ගන්නා අතර පූර්වගාමීන්ට ඉහළ විඛාදන ප්රතිරෝධයක් දක්වයි. |
VET බලශක්තිය තෝරා ගන්නේ ඇයි?
VET Energy යනු චීනයේ SiC ආලේපන නිෂ්පාදනවල ප්රමුඛතම නිෂ්පාදකයෙකු, නවෝත්පාදකයෙකු සහ ප්රමුඛයෙකු වන අතර, ප්රධාන SiC ආලේපන නිෂ්පාදන අතරටSiC ආලේපනය සහිත වේෆර් වාහකය, SiC ආලේපිතඑපිටැක්සියල් සසෙප්ටර්, SiC ආලේපිත මිනිරන් වළල්ල, SiC ආලේපනය සහිත අර්ධ-චන්ද්ර කොටස්, SiC ආලේපිත කාබන්-කාබන් සංයුක්තය, SiC ආලේපිත වේෆර් බෝට්ටුව, SiC ආලේපිත හීටරය, ආදිය. VET Energy අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයට අවසාන තාක්ෂණය සහ නිෂ්පාදන විසඳුම් සැපයීමට කැපවී සිටින අතර අභිරුචිකරණ සේවාවන් සඳහා සහාය වේ. චීනයේ ඔබේ දිගුකාලීන සහකරු වීමට අපි අවංකවම බලාපොරොත්තු වෙමු.
ඔබට කිසියම් විමසීමක් ඇත්නම් හෝ අමතර විස්තර අවශ්ය නම්, කරුණාකර අප හා සම්බන්ධ වීමට පසුබට නොවන්න.
Whatsapp සහ Wechat:+86-18069021720
Email: steven@china-vet.com
පළ කිරීමේ කාලය: ඔක්තෝබර්-18-2024