Unsa ang sic coating?

Silicon Carbideusa ka gahi nga compound nga adunay sulud nga silicon ug carbon, ug makit-an sa kinaiyahan ingon usa ka talagsaon nga mineral nga moissanite. Ang mga partikulo sa silikon carbide mahimong mahiusa pinaagi sa sintering aron maporma ang lisud kaayo nga mga seramiko, nga kaylap nga gigamit sa mga aplikasyon nga nanginahanglan taas nga kalig-on, labi na sa semiconductor procession.

Pisikal nga istruktura sa SiC

Unsa ang SiC Coating?

Ang SiC coating usa ka dasok, wear-resistant nga silicon carbide coating nga adunay taas nga corrosion ug heat resistance ug maayo kaayo nga thermal conductivity. Kini nga high-purity nga SiC coating kay gigamit sa mga industriya sa semiconductor ug electronics aron mapanalipdan ang mga wafer carrier, base ug mga elemento sa pagpainit gikan sa corrosive ug reactive nga mga palibot. Ang SiC coating angay usab alang sa mga vacuum furnaces ug sample nga pagpainit sa taas nga vacuum, reactive ug oxygen nga mga palibot.

Taas nga kaputli sa SiC coating surface

Unsa ang SiC coating nga proseso?

Ang usa ka manipis nga layer sa silicon carbide gibutang sa ibabaw sa substrate gamitCVD (Chemical Vapor Deposition). Ang pagdeposito sagad nga gihimo sa mga temperatura nga 1200-1300 ° C ug ang kinaiya sa pagpalapad sa init sa materyal nga substrate kinahanglan nga nahiuyon sa SiC coating aron maminusan ang thermal stress.

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

CVD SIC Coating FILM CRYSTAL STRUCTURE

Ang pisikal nga mga kabtangan sa SiC coating nag-una nga gipakita sa taas nga temperatura nga pagsukol, katig-a, resistensya sa corrosion ug thermal conductivity.

Ang kasagarang pisikal nga mga parameter kasagaran mao ang mosunod:

Katig-a: Ang SiC coating kasagaran adunay Vickers Hardness sa han-ay sa 2000-2500 HV, nga naghatag kanila og hilabihan ka taas nga pagsul-ob ug epekto nga pagsukol sa mga aplikasyon sa industriya.

Densidad: Ang SiC coatings kasagaran adunay densidad nga 3.1-3.2 g/cm³. Ang taas nga densidad nakatampo sa mekanikal nga kalig-on ug kalig-on sa coating.

Thermal conductivity: Ang SiC coatings adunay taas nga thermal conductivity, kasagaran sa range nga 120-200 W/mK (sa 20°C). Naghatag kini og maayo nga thermal conductivity sa taas nga temperatura nga mga palibot ug labi nga angay alang sa mga kagamitan sa pagtambal sa kainit sa industriya sa semiconductor.

Natunaw nga punto: Ang silicon carbide adunay usa ka punto sa pagkatunaw nga gibana-bana nga 2730 ° C ug adunay maayo kaayo nga thermal stability sa grabe nga temperatura.

Coefficient sa Thermal Expansion: Ang SiC coatings adunay ubos nga linear coefficient sa thermal expansion (CTE), kasagaran sa range nga 4.0-4.5 µm/mK (sa 25-1000 ℃). Kini nagpasabot nga ang kalig-on sa dimensyon niini maayo kaayo sa dagkong mga kalainan sa temperatura.

Pagbatok sa kaagnasan: Ang SiC coatings hilabihan ka makasugakod sa corrosion sa lig-on nga acid, alkali ug oxidizing nga mga palibot, ilabi na sa paggamit sa lig-on nga mga asido (sama sa HF o HCl), ang ilang corrosion resistensya labaw pa kay sa naandan nga metal nga mga materyales.

SiC coating nga substrate sa aplikasyon

Ang SiC coating kanunay nga gigamit aron mapauswag ang resistensya sa kaagnasan, taas nga pagsukol sa temperatura, ug pagsukol sa pagguho sa plasma sa substrate. Ang kasagarang mga substrate sa aplikasyon naglakip sa mosunod:

Uri sa substrate	Aplikasyon rason	Kinaandan nga paggamit
Graphite	- Kahayag nga istruktura, maayo nga thermal conductivity - Apan dali nga corroded sa plasma, nanginahanglan proteksyon sa SiC coating	Mga bahin sa vacuum chamber, graphite boat, plasma etching trays, etc.
Kuwarts (Quartz/SiO₂)	- Taas nga kaputli apan dali nga madunot - Ang coating makapauswag sa resistensya sa erosion sa plasma	Mga bahin sa chamber sa CVD/PECVD
Mga seramiko (sama sa alumina Al₂O₃)	- Taas nga kusog ug lig-on nga istruktura - Ang coating nagpauswag sa resistensya sa kaagnasan sa nawong	Chamber lining, fixtures, ug uban pa.
Mga metal (sama sa molybdenum, titanium, ug uban pa)	- Maayo nga thermal conductivity apan dili maayo nga resistensya sa corrosion - Ang coating nagpauswag sa kalig-on sa nawong	Espesyal nga proseso nga mga sangkap sa reaksyon
Silicon carbide sintered nga lawas (SiC bulk)	- Alang sa mga palibot nga adunay taas nga mga kinahanglanon alang sa komplikado nga mga kondisyon sa pagtrabaho - Ang coating dugang nga nagpauswag sa kaputli ug resistensya sa corrosion	High-end nga mga sangkap sa chamber sa CVD/ALD

Ang mga produkto nga adunay sapaw sa SiC sagad nga gigamit sa mga mosunud nga lugar nga semiconductor

Ang mga produkto sa SiC coating kaylap nga gigamit sa pagproseso sa semiconductor, nag-una sa taas nga temperatura, taas nga kaagnasan ug kusog nga mga palibot sa plasma. Ang mosunod mao ang pipila ka dagkong mga proseso sa aplikasyon o mga natad ug mubo nga paghubit:

Proseso sa aplikasyon / uma	Mubo nga paghulagway	Ang function sa Silicon Carbide Coating
Plasma etching (Pag-ukit)	Gamit ug fluorine o chlorine-based nga mga gas para sa pattern transfer	Sukli ang pagbanlas sa plasma ug malikayan ang kontaminasyon sa partikulo ug metal
Deposition sa alisngaw sa kemikal (CVD/PECVD)	Deposition sa oxide, nitride ug uban pang manipis nga mga pelikula	Sukli ang mga corrosive precursor gas ug dugangan ang kinabuhi sa component
Pisikal nga vapor deposition (PVD) chamber	High-energy nga particle bombardment atol sa coating process	Pagpauswag sa resistensya sa erosion ug pagbatok sa kainit sa reaksyon nga chamber
Proseso sa MOCVD (sama sa pagtubo sa epitaxial sa SiC)	Long-term nga reaksyon ubos sa taas nga temperatura ug taas nga hydrogen corrosive atmospera	Hupti ang kalig-on sa kagamitan ug pugngan ang kontaminasyon sa nagtubo nga mga kristal
Heat treatment process (LPCVD, diffusion, annealing, etc.)	Kasagaran nga gidala sa taas nga temperatura ug vacuum/atmospera	Panalipdi ang mga graphite boat ug tray gikan sa oxidation o corrosion
Wafer carrier/chuck (Wafer handling)	Graphite base alang sa wafer transfer o suporta	Bawasan ang pag-ula sa partikulo ug likayi ang kontaminasyon sa kontak
Mga sangkap sa ALD chamber	Balik-balik ug tukma nga pagkontrolar sa atomic layer deposition	Ang coating nagpabilin nga limpyo sa chamber ug adunay taas nga resistensya sa corrosion sa mga nag-una

Ngano nga gipili ang VET Energy?

Ang VET Energy usa ka nanguna nga tiggama, innovator ug lider sa mga produkto sa SiC coating sa China, ang panguna nga mga produkto sa coating sa SiC naglakipwafer carrier nga adunay SiC coating, SiC adunay sapawepitaxial susceptor, SiC adunay sapaw nga graphite singsing, Half-moon nga mga bahin nga adunay SiC coating, SiC adunay sapaw nga carbon-carbon composite, SiC nga adunay sapaw nga wafer boat, SiC nga adunay sapaw nga heater, ug uban pa. Ang VET Energy komitado sa paghatag sa industriya sa semiconductor sa kinatas-ang teknolohiya ug mga solusyon sa produkto, ug nagsuporta sa mga serbisyo sa pagpahiangay. Kami sinsero nga nagpaabut nga mahimong imong dugay nga kauban sa China.