sic каптоо деген эмне?

Кремний карбидикремний жана көмүртек камтыган катуу кошулма болуп саналат жана жаратылышта өтө сейрек кездешүүчү моиссанит минералы катары кездешет. Кремний карбидинин бөлүкчөлөрүн агломерациялоо жолу менен бириктирсе болот, алар абдан катуу керамикаларды пайда кылышат, алар жогорку туруктуулукту талап кылган колдонмолордо, айрыкча жарым өткөргүч процессинде кеңири колдонулат.

SiC физикалык түзүлүшү

SiC каптоо деген эмне?

SiC каптоо жогорку коррозияга жана ысыкка туруктуулугу жана мыкты жылуулук өткөрүмдүүлүк менен тыгыз, эскирүүгө туруктуу кремний карбид каптоо болуп саналат. Бул жогорку тазалыктагы SiC каптоо биринчи кезекте жарым өткөргүч жана электроника өнөр жайларында пластинкаларды, базаларды жана жылытуу элементтерин коррозия жана реактивдүү чөйрөлөрдөн коргоо үчүн колдонулат. SiC каптоо жогорку вакуумдук, реактивдүү жана кычкылтектүү чөйрөдө вакуумдук мештерге жана үлгүлөрдү жылытууга да ылайыктуу.

Жогорку тазалыктагы SiC каптоо бети

SiC каптоо процесси деген эмне?

Кремний карбидинин жука катмары субстраттын бетине жайгаштырылатCVD (Химиялык бууларды жайгаштыруу). Депозиттөө, адатта, 1200-1300 ° C температурада жүргүзүлөт жана субстрат материалынын жылуулук кеңейүү жүрүм-туруму жылуулук стрессти азайтуу үчүн SiC каптоо менен шайкеш болушу керек.

CVD SIC КИНО КРИСТАЛДЫК ТҮЗҮЛҮМ

CVD SIC каптоо FILM КРИСТАЛДЫК ТҮЗҮЛҮМ

SiC каптоосунун физикалык касиеттери негизинен анын жогорку температурага туруктуулугунда, катуулугунда, коррозияга туруктуулугунда жана жылуулук өткөрүмдүүлүктө чагылдырылат.

Типтүү физикалык параметрлери, адатта, төмөнкүдөй:

Катуулугу: SiC каптоо, адатта, 2000-2500 HV диапазонундагы Vickers Катуулугу бар, бул аларга өнөр жайлык колдонмолордо өтө жогорку эскирүүгө жана таасирге туруштук берет.

тыгыздыгы: SiC жабуулары адатта 3,1-3,2 г/см³ тыгыздыкка ээ. жогорку тыгыздык жабуунун механикалык бекемдигине жана бекемдигине өбөлгө түзөт.

Жылуулук өткөрүмдүүлүк: SiC жабуулары жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүккө ээ, адатта 120-200 Вт/мК (20°Cде). Бул жогорку температура чөйрөлөрүндө жакшы жылуулук өткөрүмдүүлүктү берет жана жарым өткөргүч өнөр жайында жылуулук тазалоо жабдуулары үчүн өзгөчө ылайыктуу кылат.

Эрүү чекити: кремний карбиди болжол менен 2730°C эрүү температурасына ээ жана экстремалдык температурада эң сонун жылуулук туруктуулугуна ээ.

Термикалык кеңейүү коэффициенти: SiC каптамалары, адатта, 4,0-4,5 мкм/мК (25-1000℃ ичинде) диапазондо, жылуулук кеңейүү (CTE) төмөн сызыктуу коэффициентине ээ. Бул анын өлчөмдүү туруктуулугу чоң температура айырмачылыктары боюнча мыкты экенин билдирет.

Коррозияга туруктуулук: SiC каптамалары күчтүү кислота, щелочтук жана кычкылдануучу чөйрөдө коррозияга өтө туруктуу, айрыкча күчтүү кислоталарды (мисалы, HF же HCl) колдонгондо, алардын коррозияга туруктуулугу кадимки металл материалдарынан алда канча жогору.

SiC каптоо колдонуу субстраты

SiC каптоо көбүнчө субстраттын коррозияга туруктуулугун, жогорку температурага туруктуулугун жана плазманын эрозияга туруктуулугун жогорулатуу үчүн колдонулат. Жалпы колдонуу субстраттары төмөнкүлөрдү камтыйт:

Субстрат түрү	Колдонуу себеби	Типтүү колдонуу
Графит	- Жеңил түзүлүш, жакшы жылуулук өткөрүмдүүлүк - Бирок плазма менен оңой коррозияга учурайт, SiC каптоо менен коргоону талап кылат	Вакуумдук камеранын тетиктери, графит кайыктары, плазмалык оюу лотоктору ж.б.
Кварц (Кварц/SiO₂)	- Жогорку тазалык, бирок оңой коррозияга учурайт - Каптоо плазманын эрозияга туруктуулугун жогорулатат	CVD/PECVD камерасынын бөлүктөрү
Керамика (мисалы, глинозем Al₂O₃)	- Жогорку күч жана туруктуу түзүлүш - Каптоо беттин коррозияга туруктуулугун жакшыртат	Камеранын каптамалары, арматуралар ж.б.
Металлдар (мисалы, молибден, титан ж.	- Жакшы жылуулук өткөрүмдүүлүк, бирок начар коррозияга туруктуулугу - Каптоо беттин туруктуулугун жакшыртат	Атайын процесстик реакция компоненттери
Кремний карбидинин агломерацияланган корпусу (SiC жапырт)	- татаал эмгек шарттарына жогорку талаптары бар чөйрөлөр үчүн - Каптоо тазалыкты жана коррозияга туруктуулукту андан ары жакшыртат	Жогорку сапаттагы CVD/ALD камерасынын компоненттери

SiC капталган буюмдар, адатта, төмөнкү жарым өткөргүч аймактарында колдонулат

SiC каптоо буюмдары жарым өткөргүчтөрдү иштетүүдө кеңири колдонулат, негизинен жогорку температурада, жогорку коррозияда жана күчтүү плазма чөйрөсүндө. Төмөндө бир нече негизги колдонуу процесстери же талаалары жана кыскача сүрөттөмөлөрү бар:

Колдонмо процесси/талаасы	Кыскача сүрөттөмө	Кремний карбид каптоо функциясы
Плазмалык офорт (оюу)	Үлгү өткөрүү үчүн фтор же хлор негизиндеги газдарды колдонуңуз	Плазма эрозиясына каршы туруу жана бөлүкчөлөрдүн жана металлдардын булганышын алдын алуу
Химиялык бууларды түшүрүү (CVD/PECVD)	Оксид, нитрид жана башка жука пленкалардын чөктүрүлүшү	Коррозиялык прекурсордук газдарга туруштук берип, компоненттердин иштөө мөөнөтүн узартыңыз
Физикалык бууларды түшүрүү (PVD) камерасы	Каптоо процессинде жогорку энергиялуу бөлүкчөлөрдүн бомбалоосу	Реакция камерасынын эрозияга туруктуулугун жана жылуулукка туруктуулугун жогорулатуу
MOCVD процесси (мисалы, SiC эпитаксиалдык өсүшү)	Жогорку температурада жана жогорку суутек коррозиялык атмосферада узак мөөнөттүү реакция	Жабдуулардын туруктуулугун сактоо жана өсүп жаткан кристаллдардын булганышын алдын алуу
Жылуулук менен дарылоо процесси (LPCVD, диффузия, күйдүрүү, ж.	Көбүнчө жогорку температурада жана вакуумда/атмосферада жүргүзүлөт	Графит кайыктарын жана лотокторду кычкылдануудан же коррозиядан коргоңуз
Вафель ташуучу/патрон (Вафель менен иштөө)	Вафли өткөрүү же колдоо үчүн графит базасы	Бөлүкчөлөрдүн төгүлүшүн азайтып, контакттын булганышын болтурбоо
ALD камера компоненттери	Кайталап жана так атомдук катмардын жайгашуусун көзөмөлдөө	Каптама камераны таза кармайт жана прекурсорлорго жогорку коррозияга туруктуулукка ээ

Эмне үчүн VET Energy тандашат?

VET Energy Кытайдагы SiC каптоо өнүмдөрүнүн алдыңкы өндүрүүчүсү, инноватору жана лидери болуп саналат, негизги SiC каптоо өнүмдөрүн камтыйт.SiC каптоо менен вафли ташуучу, SiC капталганэпитаксиалдык сезгич, SiC капталган графит шакек, SiC каптоо менен жарым ай бөлүктөрү, SiC капталган көмүртек-көмүртек композит, SiC капталган вафли кайык, SiC капталган жылыткыч, ж.б. VET Energy жарым өткөргүч өнөр жайын акыркы технология жана продукт чечимдери менен камсыз кылууга умтулат жана жекелештирүү кызматтарын колдойт. Биз чын жүрөктөн сиздин Кытайдагы узак мөөнөттүү өнөктөш болууну чыдамсыздык менен күтөбүз.