SIC каптоо деген эмне?

Кремний карбидикремний менен көмүртекти камтыган катуу кошулма болуп саналат жана жаратылышта өтө сейрек кездешүүчү муассанит минералы катары кездешет. Кремний карбидинин бөлүкчөлөрүн бири-бирине бириктирип, өтө катуу керамиканы пайда кылууга болот, алар жогорку бышыктыкты талап кылган колдонмолордо, айрыкча жарым өткөргүчтөрдү иштетүүдө кеңири колдонулат.

SiC физикалык түзүлүшү

SiC каптоо деген эмне?

SiC каптоосу – бул жогорку коррозияга жана ысыкка туруктуулугу жана эң сонун жылуулук өткөрүмдүүлүгү менен тыгыз, эскирүүгө туруктуу кремний карбидинин каптоосу. Бул жогорку тазалыктагы SiC каптоосу негизинен жарым өткөргүч жана электроника өнөр жайларында пластина ташуучуларды, негиздер жана жылытуучу элементтерди коррозиялык жана реактивдүү чөйрөлөрдөн коргоо үчүн колдонулат. SiC каптоосу ошондой эле вакуумдук мештерге жана жогорку вакуумдук, реактивдүү жана кычкылтек чөйрөлөрүндө үлгүлөрдү ысытууга ылайыктуу.

Жогорку тазалыктагы SiC каптоо бети

SiC каптоо процесси кандай?

Субстраттын бетине кремний карбидинин жука катмары колдонулатCVD (Химиялык буу чөкмөсү)Чөкмөлөө, адатта, 1200-1300°C температурада жүргүзүлөт жана жылуулук чыңалуусун минималдаштыруу үчүн субстрат материалынын жылуулук кеңейүү жүрүм-туруму SiC каптоосу менен шайкеш келиши керек.

CVD SIC пленкасынын кристаллдык түзүлүшү

CVD SIC каптоо пленкасынын кристаллдык түзүлүшү

SiC каптоосунун физикалык касиеттери негизинен анын жогорку температурага туруктуулугунда, катуулугунда, коррозияга туруктуулугунда жана жылуулук өткөрүмдүүлүгүндө чагылдырылат.

Типтүү физикалык параметрлер, адатта, төмөнкүлөр:

КатуулугуSiC каптоосу, адатта, 2000-2500 HV диапазонундагы Виккерс катуулугуна ээ, бул аларга өнөр жайлык колдонмолордо өтө жогорку эскирүүгө жана соккуга туруктуулукту берет.

ТыгыздыкSiC каптамаларынын тыгыздыгы адатта 3,1-3,2 г/см³ түзөт. Жогорку тыгыздык каптаманын механикалык бекемдигине жана бышыктыгына өбөлгө түзөт.

Жылуулук өткөрүмдүүлүгүSiC каптамалары жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүгүнө ээ, адатта 120-200 Вт/мК (20°C температурада) диапазонунда. Бул ага жогорку температуралуу чөйрөдө жакшы жылуулук өткөрүмдүүлүгүн берет жана аны жарым өткөргүчтөр өнөр жайындагы жылуулук менен иштетүүчү жабдуулар үчүн өзгөчө ылайыктуу кылат.

Эрүү температурасы: кремний карбидинин эрүү температурасы болжол менен 2730°C жана өтө жогорку температурада эң сонун термикалык туруктуулукка ээ.

Жылуулук кеңейүү коэффициентиSiC каптамаларынын жылуулук кеңейүүсүнүн сызыктуу коэффициенти (CTE) төмөн, адатта 4,0-4,5 мкм/мК диапазонунда (25-1000℃ температурада). Бул анын өлчөмдүү туруктуулугу чоң температура айырмачылыктарында эң сонун экенин билдирет.

Коррозияга туруктуулукSiC каптамалары күчтүү кислоталык, щелочтуу жана кычкылдандыруучу чөйрөлөрдө, айрыкча күчтүү кислоталарды (мисалы, HF же HCl) колдонууда коррозияга өтө туруктуу, алардын коррозияга туруктуулугу кадимки металл материалдарына караганда алда канча жогору.

SiC каптоо үчүн негиз

SiC каптоо көбүнчө субстраттын коррозияга туруктуулугун, жогорку температурага туруктуулугун жана плазма эрозиясына туруктуулугун жакшыртуу үчүн колдонулат. Көп колдонулган субстраттарга төмөнкүлөр кирет:

Субстраттын түрү	Арыздын себеби	Типтүү колдонулушу
Графит	- Жеңил түзүлүш, жакшы жылуулук өткөрүмдүүлүгү - Бирок плазма менен оңой дат басып кетет, SiC каптоодон коргоону талап кылат	Вакуумдук камеранын тетиктери, графит кайыктары, плазмалык оюу лотоктору ж.б.
Кварц (Кварц/SiO₂)	- Жогорку тазалык, бирок оңой коррозияга дуушар болот - Каптоо плазманын эрозияга туруктуулугун жогорулатат	CVD/PECVD камерасынын бөлүктөрү
Керамика (мисалы, Al₂O₃ глиноземи)	- Жогорку бекемдик жана туруктуу түзүлүш - Каптоо беттин коррозияга туруктуулугун жакшыртат	Камеранын астары, арматуралар ж.б.
Металлдар (мисалы, молибден, титан ж.б.)	- Жакшы жылуулук өткөрүмдүүлүгү, бирок коррозияга туруктуулугу начар - Каптоо беттин туруктуулугун жакшыртат	Атайын процесстик реакция компоненттери
Кремний карбидинин синтезделген корпусу (SiC массалык)	- Татаал жумуш шарттары үчүн жогорку талаптары бар чөйрөлөр үчүн - Каптоо тазалыгын жана коррозияга туруктуулугун андан ары жакшыртат	Жогорку класстагы CVD/ALD камерасынын компоненттери

SiC менен капталган буюмдар төмөнкү жарым өткөргүч тармактарда кеңири колдонулат

SiC каптоо продукциялары жарым өткөргүчтөрдү иштетүүдө, негизинен жогорку температурада, жогорку коррозияда жана күчтүү плазма чөйрөлөрүндө кеңири колдонулат. Төмөндө бир нече негизги колдонуу процесстери же тармактары жана кыскача сүрөттөмөлөрү келтирилген:

Арыз берүү процесси/талаасы	Кыскача сүрөттөмө	Кремний карбидин каптоо функциясы
Плазмалык оюу (Оюу)	Үлгүлөрдү өткөрүп берүү үчүн фтор же хлор негизиндеги газдарды колдонуңуз	Плазма эрозиясына каршы туруңуз жана бөлүкчөлөр менен металлдын булганышынын алдын алыңыз
Химиялык буу чөктүрүү (CVD/PECVD)	Оксиддин, нитриддин жана башка жука пленкалардын чөкмөсү	Коррозияга каршы прекурсордук газдарга туруштук бериңиз жана компоненттердин иштөө мөөнөтүн узартыңыз
Физикалык буу топтоо (PVD) камерасы	Каптоо процессинде жогорку энергиялуу бөлүкчөлөр менен бомбалоо	Реакция камерасынын эрозияга туруктуулугун жана жылуулукка туруктуулугун жакшыртуу
MOCVD процесси (мисалы, SiC эпитаксиалдык өсүшү)	Жогорку температурада жана жогорку суутек дат басуучу атмосферада узак мөөнөттүү реакция	Жабдуулардын туруктуулугун сактоо жана өсүп жаткан кристаллдардын булганышына жол бербөө
Жылуулук менен иштетүү процесси (LPCVD, диффузия, күйгүзүү ж.б.)	Адатта, жогорку температурада жана вакуумда/атмосферада жүргүзүлөт	Графит кайыктарын жана лотокторду кычкылдануудан же коррозиядан коргоңуз
Вафли ташуучу/патрон (Вафли менен иштөө)	Вафлилерди өткөрүп берүү же колдоо үчүн графит негизи	Бөлүкчөлөрдүн төгүлүшүн азайтыңыз жана контакттык булганууну болтурбоо
ALD камерасынын компоненттери	Атом катмарынын чөкмөсүн кайра-кайра жана так көзөмөлдөө	Каптоо камераны таза кармайт жана прекурсорлорго жогорку коррозияга туруктуулукка ээ

Эмне үчүн VET Energy компаниясын тандашыңыз керек?

VET Energy Кытайдагы SiC каптоо продукцияларынын алдыңкы өндүрүүчүсү, новатору жана лидери болуп саналат, негизги SiC каптоо продукцияларына төмөнкүлөр киретSiC каптамасы бар пластина ташуучу, SiC менен капталганэпитаксиалдык сусцептор, SiC менен капталган графит шакекчеси, SiC каптамасы бар жарым ай формасындагы бөлүктөр, SiC менен капталган көмүртек-көмүртек композити, SiC менен капталган пластиналуу кайык, SiC менен капталган жылыткычж.б. VET Energy жарым өткөргүчтөр тармагын эң акыркы технологиялар жана продукт чечимдери менен камсыз кылууга умтулат жана ыңгайлаштыруу кызматтарын колдойт. Биз Кытайдагы сиздин узак мөөнөттүү өнөктөшүңүз болууну чын жүрөктөн күтөбүз.