كىرىمنىي كاربونتەركىبىدە كرېمنىي ۋە كاربون بار قاتتىق بىرىكمە بولۇپ ، تەبىئەتتە ئىنتايىن ئاز ئۇچرايدىغان مىنېرال موئانىت دەپ قارىلىدۇ. كرېمنىيلىق كاربون زەررىچىلىرى بىر-بىرىگە باغلىنىپ ، قاتتىق قاتتىق ساپال بۇيۇملارنى ھاسىل قىلالايدۇ ، بۇلار چىدامچانلىقى يۇقىرى بولغان قوللىنىشچان پروگراممىلاردا كەڭ قوللىنىلىدۇ ، بولۇپمۇ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ يۈرۈش جەريانىدا.
SiC نىڭ فىزىكىلىق قۇرۇلمىسى
SiC قاپلاش دېگەن نېمە؟
SiC يېپىنچىسى قويۇق ، ئۇپراشقا چىداملىق كرېمنىي كاربون يېپىنچىسى بولۇپ ، چىرىتىشچانلىقى يۇقىرى ، ئىسسىققا چىدامچانلىقى ۋە ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى ناھايىتى ياخشى. بۇ يۇقىرى ساپلىقتىكى SiC قاپلاش ئاساسلىقى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋە ئېلېكترون سانائىتىدە ئىشلىتىلىدۇ ، ۋافېر توشۇغۇچى ، بازا ۋە ئىسسىقلىق ئېلېمېنتلىرىنى چىرىتىش ۋە ئاكتىپ مۇھىتتىن قوغداش. SiC سىر يەنە ۋاكۇئۇملۇق ئوچاق ۋە يۇقىرى ۋاكۇئۇم ، رېئاكتىپ ۋە ئوكسىگېن مۇھىتىدا ئەۋرىشكە قىزىتىشقا ماس كېلىدۇ.
يۇقىرى ساپلىقتىكى SiC سىر يۈزى
SiC سىرلاش جەريانى نېمە؟
نېپىز بىر قەۋەت كرېمنىي كاربون يەر ئاستى سۈيىنىڭ يۈزىگە قويۇلدىCVD (خىمىيىلىك ھور چۆكمىسى). چۆكۈش ئادەتتە 1200-1300 سېلسىيە گرادۇسلۇق تېمپېراتۇرىدا ئېلىپ بېرىلىدۇ ، يەر ئاستى ماتېرىياللىرىنىڭ ئىسسىقلىق كېڭىيىش ھەرىكىتى SiC سىر بىلەن ماسلىشىپ ، ئىسسىقلىق بېسىمىنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرۈش كېرەك.
CVD SIC سىرلاش FILM كرىستال قۇرۇلمىسى
SiC سىرنىڭ فىزىكىلىق خۇسۇسىيىتى ئاساسلىقى ئۇنىڭ يۇقىرى تېمپېراتۇرىغا چىدامچانلىقى ، قاتتىقلىقى ، چىرىشكە چىدامچانلىقى ۋە ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقىدا ئىپادىلىنىدۇ.
تىپىك فىزىكىلىق پارامېتىرلار ئادەتتە تۆۋەندىكىچە:
قاتتىقلىق: SiC سىرنىڭ ئادەتتە 2000-2500 HV ئارىلىقىدا Vickers قاتتىقلىقى بار ، بۇ ئۇلارغا سانائەت قوللىنىشچانلىقىدىكى ئىنتايىن يۇقىرى ئۇپراش ۋە تەسىرگە قارشى تۇرۇش كۈچى بېرىدۇ.
زىچلىقى: SiC سىرنىڭ قويۇقلۇقى ئادەتتە 3.1-3.2 g / cm³ بولىدۇ. يۇقىرى زىچلىقى سىرنىڭ مېخانىك كۈچى ۋە چىدامچانلىقىغا تۆھپە قوشىدۇ.
ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى: SiC سىرنىڭ ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى يۇقىرى ، ئادەتتە 120-200 W / mK (20 سېلسىيە گرادۇس) ئارىلىقىدا. بۇ ئۇنى يۇقىرى تېمپېراتۇرا مۇھىتىدا ياخشى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى بىلەن تەمىنلەيدۇ ۋە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتىدىكى ئىسسىقلىق بىر تەرەپ قىلىش ئۈسكۈنىلىرىگە ئالاھىدە ماس كېلىدۇ.
ئېرىتىش نۇقتىسى: كرېمنىي كاربدنىڭ ئېرىتىش نۇقتىسى تەخمىنەن 2730 ° C بولۇپ ، پەۋقۇلئاددە تېمپېراتۇرىدا ناھايىتى ياخشى ئىسسىقلىق مۇقىملىقىغا ئىگە.
ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى: SiC قەۋىتىنىڭ ئىسسىقلىق كېڭىيىش (CTE) تۆۋەن سىزىقلىق كوئېففىتسېنتى بار ، ئادەتتە 4.0-4.5 µm / mK ئارىلىقىدا (25-1000 in). بۇ ئۇنىڭ ئۆلچەملىك مۇقىملىقى چوڭ تېمپېراتۇرا پەرقىدىن ياخشى ئىكەنلىكىنى كۆرسىتىدۇ.
چىرىشكە قارشى تۇرۇش: SiC يېپىنچىسى كۈچلۈك كىسلاتا ، ئىشقار ۋە ئوكسىدلىنىش مۇھىتىدىكى چىرىشكە چىداملىق ، بولۇپمۇ كۈچلۈك كىسلاتا (HF ياكى HCl غا ئوخشاش) ئىشلەتكەندە ، ئۇلارنىڭ چىرىشكە قارشى تۇرۇش ئىقتىدارى ئادەتتىكى مېتال ماتېرىياللارنىڭكىدىن كۆپ ئېشىپ كېتىدۇ.
SiC سىرلىق قوللىنىشچان پروگرامما
SiC قاپلاش كۆپىنچە چىرىتىشنىڭ چىرىشكە قارشى تۇرۇش كۈچى ، يۇقىرى تېمپېراتۇرىغا چىدامچانلىقى ۋە پلازما چىرىشنىڭ ئالدىنى ئېلىش ئۈچۈن ئىشلىتىلىدۇ. كۆپ ئۇچرايدىغان قوللىنىشچان پروگراممىلار تۆۋەندىكىلەرنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ:
| تارماق تىپ | ئىلتىماس قىلىش سەۋەبى | تىپىك ئىشلىتىش |
| Graphite | - يورۇقلۇق قۇرۇلمىسى ، ياخشى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى - ئەمما پلازما ئارقىلىق ئاسانلا چىرىپ كېتىدۇ ، SiC سىرنى قوغداشنى تەلەپ قىلىدۇ | ۋاكۇئۇم كامېر زاپچاسلىرى ، گرافت كېمىلىرى ، پلازما يېيىش تەخسىسى قاتارلىقلار. |
| Quartz (Quartz / SiO₂) | - ساپلىقى يۇقىرى ، ئەمما ئاسان چىرىگەن - سىرلاش پلازما چىرىشكە قارشى تۇرۇش ئىقتىدارىنى كۈچەيتىدۇ | CVD / PECVD كامېرا زاپچاسلىرى |
| ساپال بۇيۇملار (مەسىلەن alumina Al₂O₃) | - كۈچلۈك ۋە مۇقىم قۇرۇلما - سىرلاش يەر يۈزىنىڭ چىرىشكە قارشى تۇرۇش ئىقتىدارىنى ياخشىلايدۇ | كامېرنىڭ رەت-تەرتىپى ، ئەسلىھەلىرى قاتارلىقلار. |
| مېتاللار (مەسىلەن مولىبدېن ، تىتان قاتارلىقلار) | - ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى ياخشى ، ئەمما چىرىشكە چىداملىق - سىر يۈزىنىڭ مۇقىملىقىنى ياخشىلايدۇ | ئالاھىدە جەريان رېئاكسىيە زاپچاسلىرى |
| كرېمنىي كاربون سىند گەۋدىسى (SiC توپ) | - مۇرەككەپ خىزمەت شارائىتىغا يۇقىرى تەلەپ قويۇلغان مۇھىت ئۈچۈن - سىرلاش ساپلىق ۋە چىرىشكە قارشى تۇرۇش ئىقتىدارىنى تېخىمۇ ئۆستۈرىدۇ | يۇقىرى سەپلىمىلىك CVD / ALD كامېرا زاپچاسلىرى |
SiC سىرلانغان مەھسۇلاتلار ئادەتتە تۆۋەندىكى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ رايونلاردا ئىشلىتىلىدۇ
SiC سىرلاش مەھسۇلاتلىرى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ پىششىقلاپ ئىشلەشتە كەڭ قوللىنىلىدۇ ، ئاساسلىقى يۇقىرى تېمپېراتۇرا ، يۇقىرى چىرىتىش ۋە كۈچلۈك پلازما مۇھىتىدا. تۆۋەندىكىسى بىر قانچە ئاساسلىق قوللىنىشچان جەريان ياكى ساھە ۋە قىسقىچە چۈشەندۈرۈش:
| ئىلتىماس قىلىش جەريانى / ساھە | قىسقىچە چۈشەندۈرۈش | كرېمنىي كاربون يېپىش ئىقتىدارى |
| پلازما قىچىشىش (Etching) | ئەندىزە يۆتكەش ئۈچۈن فتور ياكى خلوردىن ياسالغان گاز ئىشلىتىڭ | پلازما چىرىشكە قارشى تۇرۇپ ، زەررىچە ۋە مېتاللارنىڭ بۇلغىنىشىنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ |
| خىمىيىلىك ھور چۆكمىسى (CVD / PECVD) | ئوكسىد ، نىترىد ۋە باشقا نېپىز پەردىلەرنىڭ چۆكۈشى | چىرىتىشتىن بۇرۇنقى گازلارغا قارشى تۇرۇش ۋە زاپچاسلارنىڭ ئۆمرىنى ئاشۇرۇش |
| فىزىكىلىق ھور چۆكۈش (PVD) ھۇجرىسى | سىرلاش جەريانىدا يۇقىرى ئېنېرگىيىلىك زەررىچە بومبا پارتىلاش | رېئاكسىيە ئۆيىنىڭ چىرىشكە چىدامچانلىقى ۋە ئىسسىققا چىدامچانلىقىنى يۇقىرى كۆتۈرۈڭ |
| MOCVD جەريان (مەسىلەن SiC يۇقۇملىنىشنىڭ ئېشىشىغا ئوخشاش) | يۇقىرى تېمپېراتۇرا ۋە يۇقىرى ھىدروگېن چىرىتىش مۇھىتىدا ئۇزۇن مۇددەتلىك ئىنكاس | ئۈسكۈنىلەرنىڭ مۇقىملىقىنى ساقلاپ ، ئۆسۈپ يېتىلىۋاتقان كىرىستاللارنىڭ بۇلغىنىشىنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ |
| ئىسسىقلىقنى بىر تەرەپ قىلىش جەريانى (LPCVD ، تارقىلىش ، تۇتاشتۇرۇش قاتارلىقلار) | ئادەتتە يۇقىرى تېمپېراتۇرا ۋە ۋاكۇئۇم / ئاتموسفېرا قاتلىمىدا ئېلىپ بېرىلىدۇ | گرافت كېمىلىرى ۋە تەخسىلەرنى ئوكسىدلىنىش ياكى چىرىشتىن ساقلاڭ |
| Wafer توشۇغۇچى / چاك (Wafer بىر تەرەپ قىلىش) | ۋافېر يۆتكەش ياكى قوللاشنىڭ گرافىك ئاساسى | زەررىچە تۆكۈلۈشنى ئازايتىپ ، ئالاقىنىڭ بۇلغىنىشىدىن ساقلىنىڭ |
| ALD كامېرا زاپچاسلىرى | ئاتوم قەۋىتىنىڭ چۆكۈشىنى قايتا-قايتا توغرا كونترول قىلىڭ | بۇ سىر ئۆينى پاكىز ساقلايدۇ ھەمدە ئالدىنقىلارغا چىرىشكە قارشى تۇرۇش ئىقتىدارى يۇقىرى |
نېمىشقا VET ئېنېرگىيىسىنى تاللايسىز؟
VET ئېنېرگىيە شىركىتى جۇڭگودىكى SiC سىرلاش مەھسۇلاتلىرىنىڭ باشلامچىسى ، ئىجادچىسى ۋە باشلامچىسى ، ئاساسلىق SiC سىرلاش مەھسۇلاتلىرىSiC قاپلانغان ۋافېر توشۇغۇچى, SiC قاپلانغانepitaxial susceptor, SiC قاپلانغان گرافت ئۈزۈك, SiC قاپلانغان يېرىم ئاي زاپچاسلىرى, SiC كاربون-كاربون بىرىكمىسى, SiC قاپلانغان ۋافېر كېمىسى, SiC قاپلانغان ئىسسىتقۇچقاتارلىقلار VET ئېنېرگىيىسى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ كەسپىنى ئاخىرقى تېخنىكا ۋە مەھسۇلات ھەل قىلىش چارىسى بىلەن تەمىنلەشكە ۋەدە بېرىدۇ ھەمدە خاسلاشتۇرۇش مۇلازىمىتىنى قوللايدۇ. بىز سىزنىڭ جۇڭگودىكى ئۇزۇن مۇددەتلىك ھەمراھىڭىز بولۇشىنى چىن دىلىمىزدىن ئۈمىد قىلىمىز.
سوئالىڭىز بولسا ياكى قوشۇمچە تەپسىلاتلارغا ئېھتىياجلىق بولسىڭىز ، ئىككىلەنمەي بىز بىلەن ئالاقىلىشىڭ.
Whatsapp & Wechat: + 86-18069021720
Email: steven@china-vet.com
يوللانغان ۋاقتى: 10-ئاينىڭ 18-كۈنىدىن 20-كۈنىگىچە