ሲክ ሽፋን ምንድን ነው?

ሲሊኮን ካርቦይድሲሊከን እና ካርቦን የያዘ ጠንካራ ውህድ ነው፣ እና በተፈጥሮ ውስጥ እጅግ በጣም ያልተለመደ የማዕድን ሞሳኒት ሆኖ ይገኛል። የሲሊኮን ካርቦዳይድ ቅንጣቶች በሴሚኮንዳክተር ሂደት ውስጥ ከፍተኛ ጥንካሬን በሚጠይቁ አፕሊኬሽኖች ውስጥ በሰፊው ጥቅም ላይ የሚውሉት በጣም ጠንካራ ሴራሚክስ ለመፍጠር በማጣመር በአንድ ላይ ሊጣመሩ ይችላሉ ።

የሲሲ አካላዊ መዋቅር

ሲሲ ሽፋን ምንድን ነው?

የሲሲ ሽፋን ከፍተኛ የዝገት እና የሙቀት መቋቋም እና እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት መቆጣጠሪያ ያለው ጥቅጥቅ ያለ ፣ መልበስን የሚቋቋም የሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋን ነው። ይህ ከፍተኛ-ንፅህና ያለው የሲሲ ሽፋን በዋነኝነት በሴሚኮንዳክተር እና በኤሌክትሮኒክስ ኢንዱስትሪዎች ውስጥ ዋፈር ተሸካሚዎችን ፣መሠረቶችን እና ማሞቂያ ክፍሎችን ከመበስበስ እና ምላሽ ከሚሰጡ አካባቢዎች ለመጠበቅ ይጠቅማል። የሲሲ ሽፋን ለቫኩም ምድጃዎች እና ለናሙና ማሞቂያ በከፍተኛ ቫክዩም, ምላሽ ሰጪ እና ኦክሲጅን አከባቢዎች ተስማሚ ነው.

ከፍተኛ ንፅህና የሲሲ ሽፋን ንጣፍ

የሲሲ ሽፋን ሂደት ምንድን ነው?

ቀጭን የሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋን በመጠቀም በንጣፉ ላይ ይቀመጣልሲቪዲ (የኬሚካል የእንፋሎት ክምችት). ማስቀመጫው ብዙውን ጊዜ በ 1200-1300 ዲግሪ ሴንቲግሬድ የሙቀት መጠን ይካሄዳል እና የንጥረ ነገሮች የሙቀት መስፋፋት ባህሪ የሙቀት ጭንቀትን ለመቀነስ ከሲሲ ሽፋን ጋር የሚስማማ መሆን አለበት.

CVD SIC ፊልም ክሪስታል መዋቅር

CVD SIC ሽፋን ፊልም ክሪስታል መዋቅር

የሲሲ ሽፋን አካላዊ ባህሪያት በዋነኝነት የሚንፀባረቁት በከፍተኛ ሙቀት, ጥንካሬ, የዝገት መቋቋም እና የሙቀት መቆጣጠሪያ ውስጥ ነው.

የተለመዱ አካላዊ መለኪያዎች ብዙውን ጊዜ እንደሚከተለው ናቸው-

ጥንካሬየሲሲ ሽፋን በ 2000-2500 HV ክልል ውስጥ የ Vickers Hardness አላቸው, ይህም በኢንዱስትሪ አፕሊኬሽኖች ውስጥ እጅግ በጣም ከፍተኛ የመልበስ እና ተፅእኖን የመቋቋም ችሎታ ይሰጣቸዋል.

ጥግግትየሲሲ ሽፋኖች በተለምዶ ከ3.1-3.2 ግ/ሴሜ³ ጥግግት አላቸው። ከፍተኛ መጠን ያለው ሽፋን ለሜካኒካዊ ጥንካሬ እና ዘላቂነት አስተዋጽኦ ያደርጋል.

የሙቀት መቆጣጠሪያ: የሲሲ ሽፋኖች ከፍተኛ የሙቀት ማስተላለፊያ (thermal conductivity) አላቸው, በተለይም በ 120-200 W / mK (በ 20 ° ሴ) ውስጥ. ይህ በከፍተኛ ሙቀት አካባቢዎች ውስጥ ጥሩ የሙቀት አማቂነት ይሰጠዋል እና በተለይም በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ ለሙቀት ሕክምና መሣሪያዎች ተስማሚ ያደርገዋል።

የማቅለጫ ነጥብ: ሲሊከን ካርቦዳይድ በግምት 2730 ° ሴ የማቅለጫ ነጥብ አለው እና በከባድ የሙቀት መጠን በጣም ጥሩ የሙቀት መረጋጋት አለው።

የሙቀት መስፋፋት Coefficientየሲሲ ሽፋን ዝቅተኛ የመስመራዊ የሙቀት ማስፋፊያ (ሲቲኢ)፣ በተለይም በ4.0-4.5µm/mK (በ25-1000℃) ውስጥ። ይህ ማለት የመለኪያ መረጋጋት ከትልቅ የሙቀት ልዩነቶች በጣም ጥሩ ነው ማለት ነው።

የዝገት መቋቋምየሲሲ ሽፋኖች በጠንካራ አሲድ፣ አልካላይን እና ኦክሳይድ አከባቢዎች በተለይም ጠንካራ አሲዶችን (እንደ HF ወይም HCl ያሉ) በሚጠቀሙበት ጊዜ የዝገት የመቋቋም ችሎታቸው ከተለመዱት የብረት ቁሶች እጅግ የላቀ ነው።

የሲሲ ሽፋን ትግበራ substrate

የሲሲ ሽፋን ብዙውን ጊዜ የንጥረትን የመቋቋም ችሎታ, ከፍተኛ የሙቀት መጠን መቋቋም እና የፕላዝማ መሸርሸርን ለማሻሻል ይጠቅማል. የተለመዱ የመተግበሪያ ንጣፎች የሚከተሉትን ያካትታሉ:

Substrate አይነት	የትግበራ ምክንያት	የተለመደ አጠቃቀም
ግራፋይት	- የብርሃን መዋቅር, ጥሩ የሙቀት መቆጣጠሪያ - ነገር ግን በቀላሉ በፕላዝማ የተበላሸ, የሲሲ ሽፋን መከላከያ ያስፈልገዋል	የቫኩም ክፍል ክፍሎች፣ ግራፋይት ጀልባዎች፣ የፕላዝማ ኢቲች ትሪዎች፣ ወዘተ.
ኳርትዝ (ኳርትዝ/SiO₂)	- ከፍተኛ ንፅህና ግን በቀላሉ የተበላሸ - ሽፋን የፕላዝማ የአፈር መሸርሸርን ይጨምራል	CVD/PECVD ክፍል ክፍሎች
ሴራሚክስ (እንደ አልሙና አልኦ₃ ያሉ)	- ከፍተኛ ጥንካሬ እና የተረጋጋ መዋቅር - ሽፋን የገጽታ ዝገት የመቋቋም ያሻሽላል	የቻምበር ሽፋን, የቤት እቃዎች, ወዘተ.
ብረቶች (እንደ ሞሊብዲነም ፣ ቲታኒየም ፣ ወዘተ.)	- ጥሩ የሙቀት መቆጣጠሪያ ነገር ግን ደካማ የዝገት መቋቋም - ሽፋን የገጽታ መረጋጋትን ያሻሽላል	ልዩ ሂደት ምላሽ ክፍሎች
የሲሊኮን ካርቦዳይድ የተቀላቀለ አካል (ሲሲ ጅምላ)	- ለተወሳሰቡ የሥራ ሁኔታዎች ከፍተኛ መስፈርቶች ላላቸው አካባቢዎች - ሽፋን የንጽህና እና የዝገት መቋቋምን የበለጠ ያሻሽላል	ከፍተኛ-ደረጃ CVD/ALD ክፍል ክፍሎች

በሲሲ የተሸፈኑ ምርቶች በተለምዶ በሚከተሉት ሴሚኮንዳክተር ቦታዎች ጥቅም ላይ ይውላሉ

የሲሲ ሽፋን ምርቶች በሴሚኮንዳክተር ማቀነባበሪያ ውስጥ በሰፊው ጥቅም ላይ ይውላሉ, በዋናነት በከፍተኛ ሙቀት, ከፍተኛ ዝገት እና ጠንካራ የፕላዝማ አካባቢዎች. የሚከተሉት በርካታ ዋና ዋና የትግበራ ሂደቶች ወይም መስኮች እና አጭር መግለጫዎች ናቸው፡

የማመልከቻ ሂደት / መስክ	አጭር መግለጫ	የሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋን ተግባር
የፕላዝማ ማሳከክ (ማሳከክ)	ለስርዓተ-ጥለት ማስተላለፍ በፍሎራይን ወይም በክሎሪን ላይ የተመሰረቱ ጋዞችን ይጠቀሙ	የፕላዝማ መሸርሸርን መቋቋም እና የንጥረትን እና የብረት ብክለትን መከላከል
የኬሚካል ትነት ክምችት (CVD/PECVD)	የኦክሳይድ, ናይትሬድ እና ሌሎች ቀጭን ፊልሞች ማስቀመጥ	የበሰበሱ ቀዳሚ ጋዞችን መቋቋም እና የአካል ህይወትን ይጨምሩ
አካላዊ የእንፋሎት ማጠራቀሚያ (PVD) ክፍል	በሸፈነው ሂደት ውስጥ ከፍተኛ ኃይል ያለው የንጥል ቦምብ	የምላሽ ክፍሉን የአፈር መሸርሸር መቋቋም እና የሙቀት መቋቋምን ያሻሽሉ
የMOCVD ሂደት (እንደ ሲሲ ኤፒታክሲያል እድገት)	የረጅም ጊዜ ምላሽ በከፍተኛ ሙቀት እና ከፍተኛ ሃይድሮጂን የሚበላሽ ከባቢ አየር ውስጥ	የመሣሪያዎች መረጋጋትን ይጠብቁ እና የሚበቅሉ ክሪስታሎች እንዳይበከሉ ይከላከሉ።
የሙቀት ሕክምና ሂደት (LPCVD ፣ ስርጭት ፣ ማደንዘዣ ፣ ወዘተ)	ብዙውን ጊዜ በከፍተኛ ሙቀት እና በቫኩም / በከባቢ አየር ውስጥ ይካሄዳል	የግራፋይት ጀልባዎችን እና ትሪዎችን ከኦክሳይድ ወይም ከዝገት ይጠብቁ
ዋፈር ተሸካሚ/ቺክ (የዋፈር አያያዝ)	የግራፋይት መሰረት ለዋፈር ማስተላለፍ ወይም ድጋፍ	የንጥል መፍሰስን ይቀንሱ እና የእውቂያ ብክለትን ያስወግዱ
ALD ክፍል ክፍሎች	የአቶሚክ ንብርብር አቀማመጥን በተደጋጋሚ እና በትክክል ይቆጣጠሩ	ሽፋኑ ክፍሉን በንጽህና ይይዛል እና ለቅድመ-ቅደም ተከተሎች ከፍተኛ የዝገት መከላከያ አለው

ለምን VET ኢነርጂ ይምረጡ?

VET ኢነርጂ በቻይና ውስጥ የሲሲ ሽፋን ምርቶች መሪ አምራች, ፈጣሪ እና መሪ ነው, ዋናው የሲሲ ሽፋን ምርቶች ያካትታሉ.የዋፈር ተሸካሚ ከሲሲ ሽፋን ጋር, SiC የተሸፈነepitaxial susceptor, በሲሲ የተሸፈነ ግራፋይት ቀለበት, የግማሽ ጨረቃ ክፍሎች ከሲሲ ሽፋን ጋር, በሲሲ የተሸፈነ የካርቦን-ካርቦን ድብልቅ, በሲሲ የተሸፈነ ዋፈር ጀልባ, የሲሲ ሽፋን ማሞቂያወዘተ. VET ኢነርጂ ሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪውን የመጨረሻውን ቴክኖሎጂ እና የምርት መፍትሄዎችን ለማቅረብ ቁርጠኛ ነው፣ እና የማበጀት አገልግሎቶችን ይደግፋል። በቻይና የረጅም ጊዜ አጋርዎ ለመሆን በቅንነት እንጠባበቃለን።