sic কোটিং কী? – ভেট এনার্জি

সিলিকন কার্বাইডএটি সিলিকন ও কার্বন দ্বারা গঠিত একটি কঠিন যৌগ, যা প্রকৃতিতে অত্যন্ত বিরল খনিজ ময়েসানাইট হিসেবে পাওয়া যায়। সিন্টারিং প্রক্রিয়ার মাধ্যমে সিলিকন কার্বাইডের কণাগুলোকে একত্রে জুড়ে দিয়ে খুব শক্ত সিরামিক তৈরি করা যায়, যা উচ্চ স্থায়িত্বের প্রয়োজন হয় এমন ক্ষেত্রে, বিশেষ করে সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াকরণে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়।

SiC এর ভৌত কাঠামো

SiC কোটিং বলতে কী বোঝায়?

SiC কোটিং হলো একটি ঘন, ক্ষয়-প্রতিরোধী সিলিকন কার্বাইড কোটিং, যার উচ্চ ক্ষয়রোধী ও তাপ প্রতিরোধ ক্ষমতা এবং চমৎকার তাপ পরিবাহিতা রয়েছে। এই উচ্চ-বিশুদ্ধ SiC কোটিং প্রধানত সেমিকন্ডাক্টর এবং ইলেকট্রনিক্স শিল্পে ওয়েফার ক্যারিয়ার, বেস এবং হিটিং এলিমেন্টকে ক্ষয়কারী ও প্রতিক্রিয়াশীল পরিবেশ থেকে রক্ষা করার জন্য ব্যবহৃত হয়। SiC কোটিং ভ্যাকুয়াম ফার্নেস এবং উচ্চ ভ্যাকুয়াম, প্রতিক্রিয়াশীল ও অক্সিজেন পরিবেশে নমুনা গরম করার জন্যও উপযুক্ত।

উচ্চ বিশুদ্ধ SiC আবরণের পৃষ্ঠতল

SiC লেপন প্রক্রিয়াটি কী?

সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠতলে সিলিকন কার্বাইডের একটি পাতলা স্তর জমা করা হয় ব্যবহার করেCVD (রাসায়নিক বাষ্প জমা)সাধারণত ১২০০-১৩০০° সেলসিয়াস তাপমাত্রায় প্রলেপ দেওয়া হয় এবং তাপীয় পীড়ন কমানোর জন্য অধঃস্তর উপাদানের তাপীয় প্রসারণ আচরণ SiC প্রলেপের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ হওয়া উচিত।

CVD SIC কোটিং ফিল্ম ক্রিস্টাল স্ট্রাকচার

SiC আবরণের ভৌত বৈশিষ্ট্যগুলো প্রধানত এর উচ্চ তাপমাত্রা সহনশীলতা, কাঠিন্য, ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা এবং তাপ পরিবাহিতার মধ্যে প্রতিফলিত হয়।

সাধারণ ভৌত পরামিতিগুলো সাধারণত নিম্নরূপ:

কঠোরতাSiC কোটিং-এর ভিকার্স হার্ডনেস সাধারণত ২০০০-২৫০০ HV-এর মধ্যে থাকে, যা শিল্পক্ষেত্রে ব্যবহারের জন্য এটিকে অত্যন্ত উচ্চ ক্ষয় ও অভিঘাত প্রতিরোধ ক্ষমতা প্রদান করে।

ঘনত্বSiC কোটিং-এর ঘনত্ব সাধারণত ৩.১-৩.২ গ্রাম/ঘন সেন্টিমিটার হয়ে থাকে। এই উচ্চ ঘনত্ব কোটিং-এর যান্ত্রিক শক্তি এবং স্থায়িত্ব বাড়াতে সাহায্য করে।

তাপ পরিবাহিতাSiC আবরণের তাপ পরিবাহিতা অনেক বেশি, যা সাধারণত 120-200 W/mK (20°C তাপমাত্রায়) পরিসরে থাকে। এর ফলে এটি উচ্চ তাপমাত্রার পরিবেশে ভালো তাপ পরিবাহিতা প্রদর্শন করে এবং সেমিকন্ডাক্টর শিল্পের তাপ প্রক্রিয়াকরণ সরঞ্জামের জন্য বিশেষভাবে উপযুক্ত।

গলনাঙ্কসিলিকন কার্বাইডের গলনাঙ্ক প্রায় ২৭৩০° সেলসিয়াস এবং এটি চরম তাপমাত্রায়ও চমৎকার তাপীয় স্থিতিশীলতা বজায় রাখে।

তাপীয় প্রসারণ সহগSiC কোটিং-এর রৈখিক তাপীয় প্রসারণ সহগ (CTE) কম, যা সাধারণত 4.0-4.5 µm/mK (25-1000℃ তাপমাত্রার পরিসরে) হয়ে থাকে। এর মানে হলো, তাপমাত্রার ব্যাপক পার্থক্যের ক্ষেত্রেও এর মাত্রিক স্থিতিশীলতা চমৎকার।

ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতাSiC কোটিংগুলি তীব্র অ্যাসিড, ক্ষার এবং জারক পরিবেশে ক্ষয়ের বিরুদ্ধে অত্যন্ত প্রতিরোধী, বিশেষ করে যখন তীব্র অ্যাসিড (যেমন HF বা HCl) ব্যবহার করা হয়, তখন এর ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা প্রচলিত ধাতব পদার্থের চেয়ে অনেক বেশি হয়।

SiC আবরণ প্রয়োগের সাবস্ট্রেট

সাবস্ট্রেটের ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা, উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধ ক্ষমতা এবং প্লাজমা ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা উন্নত করার জন্য প্রায়শই SiC কোটিং ব্যবহার করা হয়। সাধারণ প্রয়োগক্ষেত্রগুলির মধ্যে নিম্নলিখিতগুলি অন্তর্ভুক্ত:

SiC প্রলেপযুক্ত পণ্যগুলি সাধারণত নিম্নলিখিত সেমিকন্ডাক্টর ক্ষেত্রগুলিতে ব্যবহৃত হয়।

SiC কোটিং পণ্যগুলো সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াকরণে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়, প্রধানত উচ্চ তাপমাত্রা, উচ্চ ক্ষয়কারক এবং শক্তিশালী প্লাজমা পরিবেশে। নিচে এর কয়েকটি প্রধান প্রয়োগ প্রক্রিয়া বা ক্ষেত্র এবং সংক্ষিপ্ত বিবরণ দেওয়া হলো:

কেন VET এনার্জি বেছে নেবেন?

VET এনার্জি চীনের SiC কোটিং পণ্যের একটি শীর্ষস্থানীয় উৎপাদক, উদ্ভাবক এবং অগ্রণী প্রতিষ্ঠান, যার প্রধান SiC কোটিং পণ্যগুলোর মধ্যে রয়েছে:SiC আবরণ সহ ওয়েফার ক্যারিয়ারSiC প্রলেপযুক্তএপিট্যাক্সিয়াল সাসসেপ্টর, SiC প্রলেপযুক্ত গ্রাফাইট রিং, SiC আবরণযুক্ত অর্ধচন্দ্রাকার অংশ, SiC প্রলেপযুক্ত কার্বন-কার্বন যৌগ, SiC প্রলেপযুক্ত ওয়েফার বোট, SiC প্রলেপযুক্ত হিটারইত্যাদি। ভিইটি এনার্জি সেমিকন্ডাক্টর শিল্পকে সর্বাধুনিক প্রযুক্তি ও পণ্য সমাধান প্রদানে প্রতিশ্রুতিবদ্ধ এবং কাস্টমাইজেশন পরিষেবা সমর্থন করে। আমরা চীনে আপনার দীর্ঘমেয়াদী অংশীদার হওয়ার জন্য আন্তরিকভাবে উন্মুখ।

আপনার কোনো জিজ্ঞাসা থাকলে বা অতিরিক্ত তথ্যের প্রয়োজন হলে, আমাদের সাথে যোগাযোগ করতে দ্বিধা করবেন না।

হোয়াটসঅ্যাপ ও ওয়েচ্যাট:+86-18069021720

Email: steven@china-vet.com