সিক আবরণ কী? – ভেট এনার্জি

সিলিকন কার্বাইডএটি সিলিকন এবং কার্বন ধারণকারী একটি শক্ত যৌগ, এবং প্রকৃতিতে অত্যন্ত বিরল খনিজ ময়েসানাইট হিসাবে পাওয়া যায়। সিলিকন কার্বাইড কণাগুলিকে সিন্টারিং করে খুব শক্ত সিরামিক তৈরি করতে একসাথে আবদ্ধ করা যেতে পারে, যা উচ্চ স্থায়িত্বের প্রয়োজন এমন অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়, বিশেষ করে সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়ায়।

সিলিকন কার্বাইডের আণবিক গঠন

SiC এর ভৌত গঠন

 

SiC আবরণ কি?

SiC আবরণ হল একটি ঘন, পরিধান-প্রতিরোধী সিলিকন কার্বাইড আবরণ যার উচ্চ ক্ষয় এবং তাপ প্রতিরোধ ক্ষমতা এবং চমৎকার তাপ পরিবাহিতা রয়েছে। এই উচ্চ-বিশুদ্ধতা SiC আবরণ প্রাথমিকভাবে সেমিকন্ডাক্টর এবং ইলেকট্রনিক্স শিল্পে ওয়েফার ক্যারিয়ার, বেস এবং গরম করার উপাদানগুলিকে ক্ষয়কারী এবং প্রতিক্রিয়াশীল পরিবেশ থেকে রক্ষা করার জন্য ব্যবহৃত হয়। SiC আবরণ ভ্যাকুয়াম ফার্নেস এবং উচ্চ ভ্যাকুয়াম, প্রতিক্রিয়াশীল এবং অক্সিজেন পরিবেশে নমুনা গরম করার জন্যও উপযুক্ত।

উচ্চ বিশুদ্ধতা sic আবরণ পৃষ্ঠ (2)

উচ্চ বিশুদ্ধতা SiC আবরণ পৃষ্ঠ

 

SiC আবরণ প্রক্রিয়া কী?

 

সিলিকন কার্বাইডের একটি পাতলা স্তর সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠে জমা হয় ব্যবহার করেসিভিডি (রাসায়নিক বাষ্প জমা)। জমা সাধারণত ১২০০-১৩০০°C তাপমাত্রায় করা হয় এবং তাপীয় চাপ কমাতে সাবস্ট্রেট উপাদানের তাপীয় প্রসারণ আচরণ SiC আবরণের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ হওয়া উচিত।

সিভিডি এসআইসি ফিল্ম স্ফটিক কাঠামো

সিভিডি এসআইসি লেপ ফিল্ম স্ফটিক কাঠামো

SiC আবরণের ভৌত বৈশিষ্ট্যগুলি প্রধানত এর উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধ ক্ষমতা, কঠোরতা, জারা প্রতিরোধ ক্ষমতা এবং তাপ পরিবাহিতা দ্বারা প্রতিফলিত হয়।

 

সাধারণত শারীরিক পরামিতিগুলি নিম্নরূপ:

 

কঠোরতা: SiC আবরণের ভিকারস হার্ডনেস সাধারণত ২০০০-২৫০০ HV এর মধ্যে থাকে, যা শিল্প প্রয়োগে অত্যন্ত উচ্চ পরিধান এবং প্রভাব প্রতিরোধ ক্ষমতা প্রদান করে।

ঘনত্ব: SiC আবরণের ঘনত্ব সাধারণত 3.1-3.2 গ্রাম/সেমি³ হয়। উচ্চ ঘনত্ব আবরণের যান্ত্রিক শক্তি এবং স্থায়িত্বে অবদান রাখে।

তাপ পরিবাহিতা: SiC আবরণের তাপ পরিবাহিতা উচ্চ, সাধারণত ১২০-২০০ ওয়াট/এমকে (২০° সেলসিয়াসে)। এটি উচ্চ তাপমাত্রার পরিবেশে ভালো তাপ পরিবাহিতা প্রদান করে এবং সেমিকন্ডাক্টর শিল্পে তাপ চিকিত্সা সরঞ্জামের জন্য এটি বিশেষভাবে উপযুক্ত করে তোলে।

গলনাঙ্ক: সিলিকন কার্বাইডের গলনাঙ্ক প্রায় ২৭৩০°C এবং চরম তাপমাত্রায় চমৎকার তাপীয় স্থিতিশীলতা রয়েছে।

তাপীয় প্রসারণের সহগ: SiC আবরণের তাপীয় প্রসারণের রৈখিক সহগ (CTE) কম থাকে, সাধারণত 4.0-4.5 µm/mK (25-1000℃ তাপমাত্রায়) এর মধ্যে থাকে। এর অর্থ হল বৃহৎ তাপমাত্রার পার্থক্যের তুলনায় এর মাত্রিক স্থিতিশীলতা চমৎকার।

জারা প্রতিরোধের: SiC আবরণ শক্তিশালী অ্যাসিড, ক্ষার এবং জারণ পরিবেশে ক্ষয়ের বিরুদ্ধে অত্যন্ত প্রতিরোধী, বিশেষ করে যখন শক্তিশালী অ্যাসিড (যেমন HF বা HCl) ব্যবহার করা হয়, তখন তাদের ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা প্রচলিত ধাতব পদার্থের চেয়ে অনেক বেশি।

 

SiC আবরণ প্রয়োগের স্তর

 

SiC আবরণ প্রায়শই সাবস্ট্রেটের ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা, উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধ ক্ষমতা এবং প্লাজমা ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা উন্নত করতে ব্যবহৃত হয়। সাধারণ প্রয়োগের সাবস্ট্রেটগুলির মধ্যে নিম্নলিখিতগুলি অন্তর্ভুক্ত রয়েছে:

 

সাবস্ট্রেটের ধরণ আবেদনের কারণ সাধারণ ব্যবহার
গ্রাফাইট - হালকা গঠন, ভালো তাপ পরিবাহিতা

- কিন্তু প্লাজমা দ্বারা সহজেই ক্ষয়প্রাপ্ত হয়, SiC আবরণ সুরক্ষা প্রয়োজন

ভ্যাকুয়াম চেম্বারের যন্ত্রাংশ, গ্রাফাইট নৌকা, প্লাজমা এচিং ট্রে ইত্যাদি।
কোয়ার্টজ (কোয়ার্টজ/SiO₂) - উচ্চ বিশুদ্ধতা কিন্তু সহজেই ক্ষয়প্রাপ্ত হয়

- আবরণ প্লাজমা ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা বাড়ায়

সিভিডি/পিইসিভিডি চেম্বারের যন্ত্রাংশ
সিরামিক (যেমন অ্যালুমিনা Al₂O₃) - উচ্চ শক্তি এবং স্থিতিশীল কাঠামো

- আবরণ পৃষ্ঠের জারা প্রতিরোধ ক্ষমতা উন্নত করে

চেম্বারের আস্তরণ, ফিক্সচার ইত্যাদি।
ধাতু (যেমন মলিবডেনাম, টাইটানিয়াম ইত্যাদি) - ভালো তাপ পরিবাহিতা কিন্তু কম জারা প্রতিরোধ ক্ষমতা

- আবরণ পৃষ্ঠের স্থায়িত্ব উন্নত করে

বিশেষ প্রক্রিয়া প্রতিক্রিয়া উপাদান
সিলিকন কার্বাইড সিন্টার্ড বডি (SiC বাল্ক) - জটিল কাজের পরিবেশের জন্য উচ্চ প্রয়োজনীয়তা সহ পরিবেশের জন্য

- আবরণ বিশুদ্ধতা এবং জারা প্রতিরোধ ক্ষমতা আরও উন্নত করে

উচ্চমানের সিভিডি/এএলডি চেম্বারের উপাদান

 

SiC লেপা পণ্যগুলি সাধারণত নিম্নলিখিত অর্ধপরিবাহী ক্ষেত্রে ব্যবহৃত হয়:

 

SiC আবরণ পণ্যগুলি সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াকরণে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়, প্রধানত উচ্চ তাপমাত্রা, উচ্চ ক্ষয় এবং শক্তিশালী প্লাজমা পরিবেশে।নিম্নলিখিত বেশ কয়েকটি প্রধান প্রয়োগ প্রক্রিয়া বা ক্ষেত্র এবং সংক্ষিপ্ত বিবরণ দেওয়া হল:

 

আবেদন প্রক্রিয়া/ক্ষেত্র সংক্ষিপ্ত বিবরণ সিলিকন কার্বাইড লেপ ফাংশন
প্লাজমা এচিং (এচিং) প্যাটার্ন স্থানান্তরের জন্য ফ্লোরিন বা ক্লোরিন-ভিত্তিক গ্যাস ব্যবহার করুন প্লাজমা ক্ষয় প্রতিরোধ করুন এবং কণা এবং ধাতু দূষণ প্রতিরোধ করুন
রাসায়নিক বাষ্প জমা (CVD/PECVD) অক্সাইড, নাইট্রাইড এবং অন্যান্য পাতলা ফিল্মের জমা ক্ষয়কারী পূর্বসূরী গ্যাস প্রতিরোধ করুন এবং উপাদানের আয়ু বৃদ্ধি করুন
ভৌত বাষ্প জমা (PVD) চেম্বার আবরণ প্রক্রিয়ার সময় উচ্চ-শক্তির কণা বোমাবর্ষণ প্রতিক্রিয়া চেম্বারের ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা এবং তাপ প্রতিরোধ ক্ষমতা উন্নত করুন
MOCVD প্রক্রিয়া (যেমন SiC এপিট্যাক্সিয়াল বৃদ্ধি) উচ্চ তাপমাত্রা এবং উচ্চ হাইড্রোজেন ক্ষয়কারী বায়ুমণ্ডলে দীর্ঘমেয়াদী প্রতিক্রিয়া সরঞ্জামের স্থিতিশীলতা বজায় রাখুন এবং ক্রমবর্ধমান স্ফটিকের দূষণ রোধ করুন
তাপ চিকিত্সা প্রক্রিয়া (LPCVD, প্রসারণ, অ্যানিলিং, ইত্যাদি) সাধারণত উচ্চ তাপমাত্রা এবং ভ্যাকুয়াম/বায়ুমণ্ডলে সঞ্চালিত হয় জারণ বা ক্ষয় থেকে গ্রাফাইট নৌকা এবং ট্রে রক্ষা করুন
ওয়েফার ক্যারিয়ার/চাক (ওয়েফার হ্যান্ডলিং) ওয়েফার ট্রান্সফার বা সাপোর্টের জন্য গ্রাফাইট বেস কণা ঝরে পড়া কমানো এবং সংস্পর্শে দূষণ এড়ানো
ALD চেম্বারের উপাদানগুলি বারবার এবং সঠিকভাবে পারমাণবিক স্তর জমা নিয়ন্ত্রণ করুন এই আবরণটি চেম্বারটিকে পরিষ্কার রাখে এবং পূর্বসূরীদের বিরুদ্ধে উচ্চ জারা প্রতিরোধ ক্ষমতা রাখে।

সিলিকন কার্বাইড সিক লেপা গ্রাফাইট সাবস্ট্রেট

 

কেন VET এনার্জি বেছে নেবেন?

 

VET Energy হল চীনের SiC আবরণ পণ্যের একটি শীর্ষস্থানীয় প্রস্তুতকারক, উদ্ভাবক এবং নেতা, প্রধান SiC আবরণ পণ্যগুলির মধ্যে রয়েছেSiC আবরণ সহ ওয়েফার ক্যারিয়ার, SiC লেপাএপিট্যাক্সিয়াল সাসপেকটর, SiC লেপা গ্রাফাইট রিং, SiC আবরণ সহ অর্ধচন্দ্রাকার অংশগুলি, SiC লেপা কার্বন-কার্বন কম্পোজিট, SiC লেপা ওয়েফার নৌকা, SiC লেপা হিটার, ইত্যাদি। VET Energy সেমিকন্ডাক্টর শিল্পকে সর্বোত্তম প্রযুক্তি এবং পণ্য সমাধান প্রদানের জন্য প্রতিশ্রুতিবদ্ধ এবং কাস্টমাইজেশন পরিষেবাগুলিকে সমর্থন করে। আমরা আন্তরিকভাবে চীনে আপনার দীর্ঘমেয়াদী অংশীদার হওয়ার জন্য উন্মুখ।

আপনার যদি কোনও জিজ্ঞাসা থাকে বা অতিরিক্ত বিশদের প্রয়োজন হয়, তাহলে অনুগ্রহ করে আমাদের সাথে যোগাযোগ করতে দ্বিধা করবেন না।

হোয়াটসঅ্যাপ ও ওয়েচ্যাট:+86-18069021720

Email: steven@china-vet.com


পোস্টের সময়: অক্টোবর-১৮-২০২৪
হোয়াটসঅ্যাপ অনলাইন চ্যাট!