Silicon Carbidedia fitambarana mafy misy silisiôma sy karbaona, ary hita amin'ny natiora ho toy ny moissanite mineraly tsy fahita firy. Ny poti-karbida silikônika dia azo ampifandraisina amin'ny alàlan'ny sintering mba hamorona seramika tena mafy, izay be mpampiasa amin'ny fampiharana mitaky faharetana avo, indrindra amin'ny filaharana semiconductor.
Ny rafitra ara-batana ny SiC
Inona no atao hoe SiC Coating?
Ny coating SiC dia coating silicone carbide matevina sy mahatohitra miaraka amin'ny harafesina sy fanoherana hafanana ary conductivity mafana tsara. Ity coating SiC madio indrindra ity dia ampiasaina voalohany indrindra amin'ny indostrian'ny semiconductor sy elektronika mba hiarovana ireo mpitatitra wafer, fototra ary singa fanafanana amin'ny tontolo manimba sy mihetsika. Ny coating SiC dia mety amin'ny lafaoro banga sy ny fanamainana santionany amin'ny tontolo misy banga avo lenta, mihetsika ary oksizenina.
SiC coating surface madio tsara
Inona no atao hoe SiC coating process?
Ny sosona manify silisiôma carbide dia napetraka eo ambonin'ny substrate mampiasaCVD (Deposition etona simika). Ny fametrahana dia matetika atao amin'ny mari-pana 1200-1300 ° C ary ny fihetsika fanitarana mafana amin'ny fitaovana substrate dia tokony hifanaraka amin'ny coating SiC mba hampihenana ny adin-tsaina mafana.
CVD SIC Coating FILM CRYSTAL STRUCTURE
Ny toetra ara-batana amin'ny coating SiC dia hita taratra indrindra amin'ny fanoherana ny hafanana avo, ny hamafin'ny fanoherana, ny fanoherana ny harafesina ary ny conductivity mafana.
Ny masontsivana ara-batana mahazatra dia matetika toy izao manaraka izao:
hamafin'ny: Ny coating SiC amin'ny ankapobeny dia manana Vickers Hardness ao anatin'ny 2000-2500 HV, izay manome azy ireo tena avo lenta sy fanoherana ny fiantraikany amin'ny fampiharana indostrialy.
hakitroky: SiC coatings mazàna manana hakitroky ny 3.1-3.2 g/cm³. Ny hakitroky avo dia manampy amin'ny hery mekanika sy ny faharetan'ny coating.
Conductivity mafana: Ny coatings SiC dia manana conductivity mafana mafana, matetika ao anatin'ny 120-200 W / mK (amin'ny 20 ° C). Izany dia manome azy tsara conductivity mafana amin'ny mari-pana ambony ary mahatonga azy ho mety indrindra ho an'ny fitaovana fitsaboana hafanana amin'ny indostria semiconductor.
Taona mitsonika: silisiôna karbida dia manana teboka levona eo amin'ny 2730°C eo ho eo ary manana fitoniana mafana tsara amin'ny hafanana tafahoatra.
Coefficient ny fanitarana Thermal: Ny coatings SiC dia manana coefficient linear ambany amin'ny fanitarana mafana (CTE), matetika ao anatin'ny 4.0-4.5 µm/mK (ao amin'ny 25-1000 ℃). Midika izany fa ny fahamarinan-toerana dia tena tsara amin'ny fahasamihafana lehibe amin'ny mari-pana.
fanoherana ny harafesina: Ny coatings SiC dia tena mahatohitra ny harafesina amin'ny asidra matanjaka, alkali ary oxidizing tontolo iainana, indrindra rehefa mampiasa asidra mahery (toy ny HF na HCl), ny fanoherana ny harafesiny dia mihoatra lavitra noho ny fitaovana metaly mahazatra.
SiC coating substrate fampiharana
Ny coating SiC dia matetika ampiasaina hanatsarana ny fanoherana ny harafesina, ny fanoherana ny mari-pana ambony ary ny fanoherana ny erosion'ny plasma amin'ny substrate. Ny substrate fampiharana mahazatra dia ahitana ireto manaraka ireto:
| Karazana substrate | Antony fampiharana | Fampiasana mahazatra |
| manjarano | - Firafitra maivana, conductivity mafana tsara - Fa mora harafesina amin'ny plasma, mitaky fiarovana SiC coating | Ny ampahany amin'ny efitrano banga, sambo graphite, takelaka etching plasma, sns. |
| Quartz (Quartz/SiO₂) | - Hadio madio nefa mora harafesina - Ny coating dia manatsara ny fanoherana ny erosiation plasma | CVD / PECVD efitra fisakafoana |
| Seramika (toy ny alumina Al₂O₃) | - Hery ambony sy rafitra stable - Manatsara ny fanoherana ny harafesina ny coating | Efitrano fandraisam-bahiny, fitaovana, sns. |
| Metaly (toy ny molybdène, titane, sns.) | - Conductivity mafana tsara fa tsy mahatohitra harafesina - Manatsara ny fahamarinan-toerana ny coating | singa fanehoan-kevitra dingana manokana |
| Silicon carbide sintered vatana (SiC ampahany) | - Ho an'ny tontolo misy fepetra avo lenta amin'ny fepetra fiasana sarotra - Ny coating dia manatsara ny fahadiovana sy ny fanoherana ny harafesina | Ireo singa efi-trano CVD/ALD avo lenta |
Ny vokatra vita amin'ny SiC dia matetika ampiasaina amin'ny faritra semiconductor manaraka
Ny vokatra coating SiC dia ampiasaina betsaka amin'ny fanodinana semiconductor, indrindra amin'ny hafanana avo, ny harafesina avo ary ny tontolo iainana plasma matanjaka. Ireto manaraka ireto dia dingana maro na sehatra fampiharana lehibe sy famaritana fohy:
| Dingana fampiharana / saha | Famaritana fohy | Silicon Carbide Coating asa |
| Plasma etching (Etching) | Mampiasà entona miompana amin'ny fluorine na chlore ho an'ny famindrana lamina | Tohero ny fikorontanan'ny plasma ary misoroka ny fandotoana poti sy metaly |
| Fametrahana etona simika (CVD/PECVD) | Fametrahana ny oxide, nitride ary sarimihetsika manify hafa | Tohero ny entona mpialoha lalana manimba ary mampitombo ny fiainan'ny singa |
| Efitrano fitehirizana etona ara-batana (PVD). | Fanapoahana baomba misy angovo mahery vaika mandritra ny fizotran'ny coating | Manatsara ny fanoherana ny erosion sy ny fanoherana ny hafanana amin'ny efitrano fanehoan-kevitra |
| MOCVD (toy ny SiC epitaxial growth) | Fihetseham-po maharitra eo ambanin'ny mari-pana ambony sy ny atmosfera manimba ny hydrogène | Mitazona ny fahamarinan'ny fitaovana ary misoroka ny fandotoana ny kristaly mitombo |
| Fomba fitsaboana hafanana (LPCVD, diffusion, annealing, sns.) | Matetika atao amin'ny hafanana ambony sy ny banga/rivotra | Arovy ny sambo graphite sy ny lovia amin'ny oxidation na harafesina |
| Mpitondra Wafer/chuck (Fikarakarana Wafer) | Fototra grafit ho an'ny famindrana na fanohanana | Ahena ny fandatsaham-bato ary ialao ny loto mifandray |
| Ireo singa mifandraika amin'ny ALD | Miverimberina sy mifehy tsara ny fametrahana ny sosona atomika | Ny coating dia mitazona ny efitrano ho madio ary manana fanoherana avo lenta amin'ny precursors |
Nahoana no misafidy ny VET Energy?
VET Energy dia mpanamboatra, mpamorona ary mpitarika ny vokatra SiC coating any Shina, ny vokatra SiC coating lehibe dia misywafer carrier misy SiC coating, SiC mifonoepitaxial susceptor, Peratra graphite misy SiC, Ny tapany antsasaky ny volana misy ny SiC coating, SiC mifono carbon-carbon composite, SiC coated wafer boat, SiC coated heater, sns. VET Energy dia manolo-tena hanome ny indostrian'ny semiconductor miaraka amin'ny teknolojia farany indrindra sy vahaolana amin'ny vokatra, ary manohana ny serivisy fanamboarana. Miandrandra amim-pahatsorana ny ho mpiara-miasa aminao maharitra any Shina izahay.
Raha manana fanontaniana ianao na mila antsipiriany fanampiny dia aza misalasala mifandray aminay.
Whatsapp & Wechat: + 86-18069021720
Email: steven@china-vet.com
Fotoana fandefasana: Oct-18-2024