Wat is sic coating? – VET ENERGY

Silisiumkarbidis in hurde ferbining dy't silisium en koalstof befettet, en wurdt yn 'e natuer fûn as it ekstreem seldsume mineraal moissanite. Silisiumkarbidpartikels kinne troch sinterjen oaninoar ferbûn wurde om tige hurde keramyk te foarmjen, dy't in soad brûkt wurde yn tapassingen dy't hege duorsumens fereaskje, benammen yn healgeleiderferwurking.

Fysyske struktuer fan SiC

Wat is SiC-coating?

SiC-coating is in tichte, slijtvaste silisiumkarbidcoating mei hege korrosje- en waarmtebestriding en poerbêste termyske geliedingsfermogen. Dizze SiC-coating mei hege suverens wurdt benammen brûkt yn 'e healgeleider- en elektroanika-yndustry om waferdragers, bases en ferwaarmingseleminten te beskermjen tsjin korrosive en reaktive omjouwings. SiC-coating is ek geskikt foar fakuümovens en it ferwaarmjen fan samples yn hege fakuüm-, reaktive en soerstofomjouwings.

Hege suverens SiC coating oerflak

Wat is it SiC-coatingproses?

In tinne laach silisiumkarbid wurdt op it oerflak fan it substraat ôfset mei help fanCVD (Gemelike Dampôfsetting)Deposysje wurdt meastal útfierd by temperatueren fan 1200-1300 °C en it termyske útwreidingsgedrach fan it substraatmateriaal moat kompatibel wêze mei de SiC-coating om termyske stress te minimalisearjen.

CVD SIC FILM KRISTALSTRUKTUER

CVD SIC Coating FILM KRISTALSTRUKTUER

De fysike eigenskippen fan SiC-coating wurde benammen wjerspegele yn syn hege temperatuerresistinsje, hurdens, korrosjebestriding en termyske geliedingsfermogen.

Typyske fysike parameters binne meastal as folget:

HurdensSiC-coatings hawwe typysk in Vickers-hurdens yn it berik fan 2000-2500 HV, wat har ekstreem hege slijtage- en slagbestindigens jout yn yndustriële tapassingen.

DichtheidSiC-coatings hawwe typysk in tichtens fan 3,1-3,2 g/cm³. De hege tichtens draacht by oan de meganyske sterkte en duorsumens fan 'e coating.

Termyske geliedingsfermogenSiC-coatings hawwe in hege termyske geliedingsfermogen, typysk yn it berik fan 120-200 W/mK (by 20 °C). Dit jout it in goede termyske geliedingsfermogen yn omjouwings mei hege temperatueren en makket it benammen geskikt foar waarmtebehannelingsapparatuer yn 'e healgeleideryndustry.

SmeltpuntSilisiumkarbid hat in smeltpunt fan sawat 2730 °C en hat poerbêste termyske stabiliteit by ekstreme temperatueren.

Koëffisjint fan termyske útwreidingSiC-coatings hawwe in lege lineêre termyske útwreidingskoëffisjint (CTE), typysk yn it berik fan 4,0-4,5 µm/mK (yn 'e 25-1000 ℃). Dit betsjut dat de dimensjonele stabiliteit poerbêst is oer grutte temperatuerferskillen.

KorrosjebestridingSiC-coatings binne ekstreem resistint tsjin korrosje yn sterke soere, alkaline en oksidearjende omjouwings, foaral by it brûken fan sterke soeren (lykas HF of HCl), har korrosjebestriding is folle grutter as dy fan konvinsjonele metalen materialen.

SiC-coating tapassingssubstraat

SiC-coating wurdt faak brûkt om de korrosjebestriding, hege temperatuerbestriding en plasma-eroazjebestriding fan it substraat te ferbetterjen. Algemiene tapassingssubstraten omfetsje it folgjende:

Substraattype	Reden foar applikaasje	Typysk gebrûk
Grafyt	- Lichte struktuer, goede termyske geliedingsfermogen - Mar maklik korrodearre troch plasma, fereasket SiC-coatingbeskerming	Underdielen fan fakuümkeamers, grafytboaten, plasma-etsbakken, ensfh.
Kwarts (kwarts/SiO₂)	- Hege suverens mar maklik korrodearre - Coating ferbetteret plasma-eroazjebestriding	CVD/PECVD keamerûnderdielen
Keramyk (lykas aluminiumoxide Al₂O₃)	- Hege sterkte en stabile struktuer - Coating ferbetteret de korrosjebestriding fan it oerflak	Keamerbekleding, armaturen, ensfh.
Metalen (lykas molybdeen, titanium, ensfh.)	- Goede termyske geliedingsfermogen mar minne korrosjebestriding - Coating ferbetteret oerflakstabiliteit	Spesjale prosesreaksjekomponinten
Silisiumkarbid sintere lichem (SiC bulk)	- Foar omjouwings mei hege easken foar komplekse wurkomstannichheden - Coating ferbetteret fierder de suverens en korrosjebestriding	Heechweardige CVD/ALD-keamerkomponinten

SiC-coated produkten wurde faak brûkt yn 'e folgjende healgeleidergebieten

SiC-coatingprodukten wurde in soad brûkt yn healgeleiderferwurking, benammen yn omjouwings mei hege temperatuer, hege korrosje en sterke plasma. Hjirûnder binne ferskate wichtige tapassingsprosessen of fjilden en koarte beskriuwingen:

Oanfraachproses/fjild	Koarte beskriuwing	Funksje fan silisiumkarbide coating
Plasma-etsen (Etsen)	Brûk gassen op basis fan fluor of chloor foar patroanoerdracht	Wjerstean plasma-eroazje en foarkomme dieltsje- en metaalfersmoarging
Gemyske dampôfsetting (CVD/PECVD)	Ofsetting fan okside, nitride en oare tinne films	Bestindich tsjin korrosive foargongergassen en ferlingje de libbensduur fan komponinten
Fysike dampôfsettingskeamer (PVD)	Heech-enerzjy dieltsjebombardemint tidens it coatingproses	Ferbetterje de eroazjebestriding en waarmtebestriding fan 'e reaksjekeamer
MOCVD-proses (lykas SiC epitaksiale groei)	Langduorjende reaksje ûnder hege temperatuer en korrosive atmosfear mei hege wetterstof	Hâld de stabiliteit fan apparatuer behâlden en foarkom fersmoarging fan groeiende kristallen
Waarmtebehannelingsproses (LPCVD, diffúzje, annealing, ensfh.)	Meastentiids útfierd by hege temperatuer en fakuüm/atmosfear	Beskermje grafytboaten en trays tsjin oksidaasje of korrosje
Waferdrager/chuck (Waferôfhanneling)	Grafytbasis foar waferoerdracht of stipe	Ferminderje dieltsjefergieting en foarkomme kontaktfersmoarging
ALD-keamerkomponinten	Kontrolearje werhelle en sekuer atoomlaachôfsetting	De coating hâldt de keamer skjin en hat in hege korrosjebestriding tsjin foargongers

Wêrom kieze foar VET Energy?

VET Energy is in liedende fabrikant, ynnovator en lieder fan SiC-coatingprodukten yn Sina, de wichtichste SiC-coatingprodukten omfetsjewaferdrager mei SiC-coating, SiC-coatedepitaksiale susceptor, SiC-bedekte grafydring, Healmoanne-ûnderdielen mei SiC-coating, SiC-coated koalstof-koalstofkomposit, SiC-coated waferboat, SiC-coated ferwaarmingsapparaat, ensfh. VET Energy set him yn om de healgeleideryndustry te foarsjen fan 'e ultime technology- en produktoplossingen, en stipet oanpassingstsjinsten. Wy sjogge der oprjocht nei út om jo lange-termyn partner yn Sina te wêzen.