ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ဆီလီကွန်နှင့် ကာဗွန်များ ပါဝင်သော မာကျောသော ဒြပ်ပေါင်းဖြစ်ပြီး သဘာဝတွင် အလွန်ရှားပါးသော သတ္တုဓာတ် moissanite အဖြစ် တွေ့ရှိရသည်။ ဆီလီကွန်ကာဗိုက်အမှုန်များကို ကြိတ်ချေခြင်းဖြင့် အလွန်မာကျောသော ကြွေထည်များကို ပေါင်းစပ်နိုင်သည်၊ အထူးသဖြင့် မြင့်မားသောကြာရှည်ခံမှုလိုအပ်သော အသုံးချမှုများတွင် တွင်ကျယ်စွာအသုံးပြုနေကြပါသည်။
SiC ၏ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာဖွဲ့စည်းပုံ
SiC Coating ဆိုတာ ဘာလဲ။
SiC coating သည် မြင့်မားသော corrosion နှင့် အပူခံနိုင်ရည်ရှိပြီး အလွန်ကောင်းမွန်သော အပူစီးကူးနိုင်သော ဆီလီကွန်ကာဗိုက်အပေါ်ယံတွင် ထူထပ်ပြီး ဝတ်ဆင်မှုခံနိုင်ရည်ရှိသော ဆီလီကွန်ကာဗိုက်အလွှာတစ်ခုဖြစ်သည်။ ဤသန့်စင်မြင့် SiC coating ကို ဆီမီးကွန်ဒတ်တာနှင့် အီလက်ထရွန်းနစ်စက်မှုလုပ်ငန်းများတွင် အဓိကအားဖြင့် wafer carriers၊ bases နှင့် heating element များကို corrosive and reactive environment မှကာကွယ်ရန် အဓိကအသုံးပြုပါသည်။ SiC coating သည် မြင့်မားသော လေဟာနယ်၊ ဓာတ်ပြုမှုနှင့် အောက်ဆီဂျင်ပတ်ဝန်းကျင်များတွင် လေဟာနယ်နှင့် နမူနာအပူပေးရန်အတွက်လည်း သင့်လျော်ပါသည်။
မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော SiC အပေါ်ယံမျက်နှာပြင်
SiC coating လုပ်ငန်းစဉ်ကဘာလဲ။
ဆီလီကွန် ကာဗိုက်အလွှာကို အသုံးပြု၍ အလွှာ၏ မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် ထားရှိသည်။CVD (Chemical Vapor Deposition). သိုလှောင်ခြင်းကို များသောအားဖြင့် အပူချိန် 1200-1300°C တွင် ပြုလုပ်လေ့ရှိပြီး အလွှာပစ္စည်း၏ အပူရှိန် ချဲ့ထွင်မှု အပြုအမူသည် အပူဖိအားကို လျှော့ချရန်အတွက် SiC အပေါ်ယံပိုင်းနှင့် လိုက်ဖက်သင့်ပါသည်။

CVD SIC Coating FILM CRYSTAL StrucTURE
SiC coating ၏ ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဂုဏ်သတ္တိများကို ၎င်း၏ မြင့်မားသော အပူချိန်ခံနိုင်ရည်၊ မာကျောမှု၊ ချေးခံနိုင်ရည်နှင့် အပူစီးကူးမှုတို့တွင် အဓိကအားဖြင့် ထင်ဟပ်ပါသည်။
ပုံမှန်ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဘောင်များသည် များသောအားဖြင့် အောက်ပါအတိုင်းဖြစ်သည်-
မာကျောခြင်း။- SiC coating သည် ပုံမှန်အားဖြင့် 2000-2500 HV အကွာအဝေးအတွင်း Vickers Hardness ရှိပြီး၊ ၎င်းတို့သည် စက်မှုလုပ်ငန်းသုံးအသုံးချမှုများတွင် အလွန်မြင့်မားသော ဝတ်ဆင်မှုနှင့် ထိခိုက်မှုဒဏ်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိသည်။
သိပ်သည်းမှုSiC အပေါ်ယံပိုင်းသည် ပုံမှန်အားဖြင့် သိပ်သည်းဆ 3.1-3.2 g/cm³ ရှိသည်။ မြင့်မားသောသိပ်သည်းဆသည် coating ၏စက်ပိုင်းဆိုင်ရာကြံ့ခိုင်မှုနှင့်ကြာရှည်ခံမှုကိုအထောက်အကူပြုသည်။
အပူစီးကူးမှု: SiC အပေါ်ယံပိုင်းများတွင် ပုံမှန်အားဖြင့် 120-200 W/mK (20°C တွင်) အကွာအဝေးတွင် မြင့်မားသောအပူစီးကူးမှုရှိသည်။ ၎င်းသည် မြင့်မားသော အပူချိန်ပတ်ဝန်းကျင်တွင် အပူစီးကူးနိုင်မှုကို ကောင်းမွန်စေပြီး ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်းရှိ အပူကုသကိရိယာများအတွက် အထူးသင့်လျော်စေသည်။
အရည်ပျော်မှတ်: ဆီလီကွန်ကာဗိုက်သည် ခန့်မှန်းခြေအားဖြင့် 2730°C အရည်ပျော်မှတ်ရှိပြီး လွန်ကဲသောအပူချိန်တွင် အလွန်ကောင်းမွန်သော အပူတည်ငြိမ်မှုရှိသည်။
Thermal Expansion ၏ CoefficientSiC အပေါ်ယံပိုင်းများတွင် အပူပိုင်းချဲ့ထွင်မှု (CTE) နည်းပါးသော linear coefficient ရှိသည်၊ ပုံမှန်အားဖြင့် 4.0-4.5 µm/mK (25-1000 ℃) အကွာအဝေးတွင်ရှိသည်။ ဆိုလိုသည်မှာ ၎င်း၏ အတိုင်းအတာ တည်ငြိမ်မှုသည် ကြီးမားသော အပူချိန် ကွာခြားချက်များထက် ကောင်းမွန်ပါသည်။
သံချေးတက်ခြင်းကိုခံနိုင်ရည်ရှိသည်။: SiC အပေါ်ယံပိုင်းသည် ပြင်းထန်သော အက်ဆစ်၊ အယ်လကာလီနှင့် ဓာတ်တိုးစေသော ပတ်ဝန်းကျင်များတွင် သံချေးတက်ခြင်းကို အလွန်ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး အထူးသဖြင့် ပြင်းထန်သော အက်ဆစ်များ (ဥပမာ HF သို့မဟုတ် HCl ကဲ့သို့) ၎င်းတို့၏ သံချေးတက်မှုကို သမားရိုးကျ သတ္တုပစ္စည်းများထက် များစွာကျော်လွန်ပါသည်။
SiC coating လျှောက်လွှာ substrate
SiC coating ကို မကြာခဏ ချေးခံနိုင်ရည်၊ မြင့်မားသော အပူချိန်ခံနိုင်ရည်နှင့် အလွှာ၏ ပလာစမာ တိုက်စားမှု ခံနိုင်ရည်တို့ကို မြှင့်တင်ရန် အသုံးပြုပါသည်။ အသုံးများသော အပလီကေးရှင်းအလွှာများတွင် အောက်ပါတို့ ပါဝင်သည်-
| Substrate အမျိုးအစား | လျှောက်ထားရခြင်း အကြောင်းအရင်း | ရိုးရိုးသုံးတယ်။ |
| ဖိုက်တင် | - အလင်းဖွဲ့စည်းပုံ၊ ကောင်းသောအပူစီးကူး - သို့သော် ပလာစမာကြောင့် အလွယ်တကူ ပုပ်သွားသည် ၊ SiC coating အကာအကွယ် လိုအပ်သည်။ | ဖုန်စုပ်ခန်း အစိတ်အပိုင်းများ၊ ဂရပ်ဖိုက်လှေများ၊ |
| Quartz (Quartz/SiO₂) | - သန့်ရှင်းမှုမြင့်မားသော်လည်း ပုပ်သွားလွယ်သည်။ - Coating သည် ပလာစမာတိုက်စားမှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိစေပါသည်။ | CVD/PECVD အခန်း အစိတ်အပိုင်းများ |
| ကြွေထည်များ (ဥပမာ အလူမီနာ Al₂O₃) | - မြင့်မားသောခိုင်ခံ့မှုနှင့်တည်ငြိမ်ဖွဲ့စည်းပုံ - Coating သည် မျက်နှာပြင် သံချေးတက်ခြင်းကို ပိုမိုကောင်းမွန်စေသည်။ | အခန်းတွင်း၊ ပရိဘောဂများ စသည်တို့ |
| သတ္တုများ (ဥပမာ- မိုလစ်ဘဒင်နမ်၊ တိုက်တေနီယမ် စသည်ဖြင့်) | - ကောင်းသောအပူစီးကူးနိုင်သော်လည်းချေးခံနိုင်ရည်ညံ့ဖျင်း - Coating သည် မျက်နှာပြင်တည်ငြိမ်မှုကို တိုးတက်စေသည်။ | အထူးလုပ်ငန်းစဉ်တုံ့ပြန်မှုအစိတ်အပိုင်းများ |
| ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကို သန့်စင်ထားသော ကိုယ်ထည် (SiC အစုလိုက်) | - ရှုပ်ထွေးသော လုပ်ငန်းခွင်အခြေအနေများအတွက် မြင့်မားသောလိုအပ်ချက်ရှိသော ပတ်ဝန်းကျင်အတွက် - Coating သည် သန့်စင်မှုနှင့် သံချေးတက်မှုကို ပိုမိုတိုးတက်ကောင်းမွန်စေသည်။ | အဆင့်မြင့် CVD/ALD အခန်း အစိတ်အပိုင်းများ |
SiC coated ထုတ်ကုန်များကို အောက်ဖော်ပြပါ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းနေရာများတွင် အသုံးများသည်။
SiC coating ထုတ်ကုန်များကို အဓိကအားဖြင့် မြင့်မားသောအပူချိန်၊ သံချေးတက်ခြင်းနှင့် ပြင်းထန်သော ပလာစမာပတ်ဝန်းကျင်များတွင် အဓိကအားဖြင့် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းလုပ်ဆောင်ခြင်းတွင် တွင်ကျယ်စွာအသုံးပြုကြသည်။ အောက်ပါတို့သည် အဓိက အသုံးချမှု လုပ်ငန်းစဉ်များ သို့မဟုတ် နယ်ပယ်များနှင့် အကျဉ်းချုပ် ဖော်ပြချက်များစွာ ဖြစ်သည်-
| လျှောက်လွှာလုပ်ငန်းစဉ် / နယ်ပယ် | အကျဉ်းဖော်ပြချက် | Silicon Carbide Coating လုပ်ဆောင်ချက် |
| ပလာစမာ ခြစ်ခြင်း (Etching) | ပုံစံပြောင်းရန်အတွက် ဖလိုရင်း သို့မဟုတ် ကလိုရင်းအခြေခံဓာတ်ငွေ့များကို အသုံးပြုပါ။ | ပလာစမာတိုက်စားမှုကို တွန်းလှန်ပြီး အမှုန်အမွှားများနှင့် သတ္တုညစ်ညမ်းမှုကို ကာကွယ်ပေးသည်။ |
| ဓာတုအခိုးအငွေ့ထွက်ခြင်း (CVD/PECVD) | အောက်ဆိုဒ်၊ နိုက်ထရိတ်နှင့် အခြားပါးလွှာသော ဖလင်များ ဖြစ်ထွန်းသည်။ | အဆိပ်သင့်စေသော ရှေ့ပြေးဓာတ်ငွေ့များကို တွန်းလှန်ပြီး အစိတ်အပိုင်းများ၏ အသက်ကို တိုးစေသည်။ |
| Physical vapor deposition (PVD) အခန်း | အပေါ်ယံလုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း စွမ်းအင်မြင့် အမှုန်အမွှားများကို ဗုံးကြဲခြင်း။ | ဓာတ်ပြုခန်း၏ တိုက်စားခံနိုင်ရည်နှင့် အပူခံနိုင်ရည်ကို မြှင့်တင်ပါ။ |
| MOCVD လုပ်ငန်းစဉ် (ဥပမာ SiC epitaxial ကြီးထွားမှု) | မြင့်မားသောအပူချိန်နှင့် မြင့်မားသော ဟိုက်ဒရိုဂျင် အဆိပ်သင့်သောလေထုအောက်တွင် ရေရှည်တုံ့ပြန်မှု | စက်ပစ္စည်းများ၏ တည်ငြိမ်မှုကို ထိန်းသိမ်းပြီး ကြီးထွားလာသော crystals များ ညစ်ညမ်းခြင်းမှ ကာကွယ်ပါ။ |
| အပူကုသမှု လုပ်ငန်းစဉ် (LPCVD၊ ပျံ့နှံ့မှု၊ လိမ်းကျံခြင်း စသည်)၊ | အများအားဖြင့် မြင့်မားသော အပူချိန်နှင့် လေဟာနယ်/လေထုတွင် ပြုလုပ်ကြသည်။ | ဂရပ်ဖိုက်လှေများနှင့် ဗူးခွံများကို ဓာတ်တိုးခြင်း သို့မဟုတ် သံချေးတက်ခြင်းမှ ကာကွယ်ပါ။ |
| Wafer carrier/chuck (wafer ကိုင်တွယ်ခြင်း) | wafer လွှဲပြောင်းခြင်း သို့မဟုတ် ပံ့ပိုးမှုအတွက် ဂရပ်ဖိုက်အခြေစိုက်စခန်း | အမှုန်အမွှားများထွက်ခြင်းကို လျှော့ချပြီး ထိတွေ့ညစ်ညမ်းမှုကို ရှောင်ကြဉ်ပါ။ |
| ALD အခန်း အစိတ်အပိုင်းများ | အဏုမြူအလွှာ အစစ်ခံမှုကို ထပ်ခါထပ်ခါ တိကျစွာ ထိန်းချုပ်ပါ။ | coating သည် အခန်းကို သန့်ရှင်းစေပြီး ရှေ့ပြေးအရာများကို မြင့်မားသော corrosion resistance ရှိသည်။ |
အဘယ်ကြောင့် VET Energy ကိုရွေးချယ်သနည်း။
VET Energy သည် တရုတ်နိုင်ငံရှိ SiC coating ထုတ်ကုန်များ၏ ဦးဆောင်ထုတ်လုပ်သူ၊ တီထွင်သူနှင့် ဦးဆောင်သူဖြစ်ပြီး အဓိက SiC coating ထုတ်ကုန်များ ပါဝင်သည်။SiC coating ဖြင့် wafer carrier, SiC coatedepitaxial ခံနိုင်ရည်ရှိသည်။, SiC coated ဂရပ်ဖိုက်လက်စွပ်, SiC coating ဖြင့် လဝက်အပိုင်းများ, SiC coated ကာဗွန်-ကာဗွန်ပေါင်းစပ်, SiC coated wafer လှေ, SiC coated အပူပေးစက်စသည်ဖြင့် VET Energy သည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်းအား အဆုံးစွန်သောနည်းပညာနှင့် ထုတ်ကုန်ဖြေရှင်းချက်များနှင့် ဖြည့်ဆည်းပေးကာ စိတ်ကြိုက်ပြုပြင်ခြင်းဝန်ဆောင်မှုများကို ပံ့ပိုးပေးနိုင်ရန် ကတိပြုပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့သည် တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင်၏ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် ရိုးသားစွာမျှော်လင့်ပါသည်။
သင့်တွင် စုံစမ်းမေးမြန်းမှုများ သို့မဟုတ် နောက်ထပ်အသေးစိတ်အချက်အလက်များ လိုအပ်ပါက၊ ကျွန်ုပ်တို့ထံ ဆက်သွယ်ရန် တုံ့ဆိုင်းမနေပါနှင့်။
Whatsapp&Wechat-+86-18069021720
Email: steven@china-vet.com
စာတိုက်အချိန်- အောက်တိုဘာ-၁၈-၂၀၂၄
