Siliziumkarbidass eng haart Verbindung, déi Silizium a Kuelestoff enthält, a fënnt een an der Natur als dat extrem rar Mineral Moissanit. Siliziumcarbidpartikelen kënnen duerch Sinterung zesummegebonne ginn, fir ganz haart Keramik ze bilden, déi wäit verbreet a Uwendungen agesat gëtt, déi eng héich Haltbarkeet erfuerderen, besonnesch an der Hallefleederveraarbechtung.
Physikalesch Struktur vu SiC
Wat ass eng SiC-Beschichtung?
D'SiC-Beschichtung ass eng dicht, verschleißbeständeg Siliziumcarbid-Beschichtung mat héijer Korrosiouns- a Hëtztbeständegkeet a exzellenter Wärmeleitfäegkeet. Dës héichrein SiC-Beschichtung gëtt haaptsächlech an der Hallefleeder- an Elektronikindustrie benotzt fir Waferträger, Basen an Heizelementer virun korrosiven an reaktiven Ëmfeld ze schützen. D'SiC-Beschichtung ass och gëeegent fir Vakuumuewen an d'Erhëtze vu Proben an Héichvakuum-, Reaktiv- an Sauerstoffëmfeld.
Héichreinheets SiC-Beschichtungsoberfläche
Wat ass de SiC-Beschichtungsprozess?
Eng dënn Schicht Siliziumcarbid gëtt op d'Uewerfläch vum Substrat ofgesat mat Hëllef vun ...CVD (Chemesch Dampoflagerung)D'Oflagerung gëtt normalerweis bei Temperaturen vun 1200-1300 °C duerchgefouert an d'thermesch Expansiounsverhale vum Substratmaterial soll mat der SiC-Beschichtung kompatibel sinn, fir d'thermesch Belaaschtung ze minimiséieren.
CVD SIC Beschichtung Film Kristallstruktur
Déi physikalesch Eegeschafte vun der SiC-Beschichtung spigelen sech haaptsächlech an hirer héijer Temperaturbeständegkeet, Häert, Korrosiounsbeständegkeet a Wärmeleitfäegkeet erëm.
Typesch physikalesch Parameter sinn normalerweis wéi follegt:
HäertSiC-Beschichtunge hunn typescherweis eng Vickers-Härte am Beräich vun 2000-2500 HV, wat hinnen extrem héich Verschleiß- a Schlagfestigkeit an industriellen Uwendungen gëtt.
DichtSiC-Beschichtunge hunn typescherweis eng Dicht vun 3,1-3,2 g/cm³. Déi héich Dicht dréit zur mechanescher Stäerkt an Haltbarkeet vun der Beschichtung bäi.
WärmeleitfäegkeetSiC-Beschichtunge hunn eng héich Wärmeleitfäegkeet, typescherweis am Beräich vun 120-200 W/mK (bei 20°C). Dëst gëtt hinnen eng gutt Wärmeleitfäegkeet an Ëmfeld mat héijen Temperaturen a mécht se besonnesch gëeegent fir Wärmebehandlungsausrüstung an der Hallefleederindustrie.
SchmelzpunktSiliziumkarbid huet e Schmelzpunkt vu ronn 2730 °C an eng exzellent thermesch Stabilitéit bei extremen Temperaturen.
Koeffizient vun der thermescher ExpansiounSiC-Beschichtunge hunn e niddrege linearen thermeschen Ausdehnungskoeffizient (CTE), typescherweis am Beräich vun 4,0-4,5 µm/mK (an den Temperaturen 25-1000 ℃). Dëst bedeit, datt hir dimensional Stabilitéit bei groussen Temperaturënnerscheeder exzellent ass.
KorrosiounsbeständegkeetSiC-Beschichtunge si ganz resistent géint Korrosioun a staark sauerem, alkaleschem an oxidéierendem Ëmfeld, besonnesch wann staark Saieren (wéi HF oder HCl) benotzt ginn. Hir Korrosiounsbeständegkeet ass wäit iwwer déi vu konventionelle Metallmaterialien.
SiC-Beschichtungsapplikatiounssubstrat
SiC-Beschichtung gëtt dacks benotzt fir d'Korrosiounsbeständegkeet, d'Héichtemperaturbeständegkeet an d'Plasmaerosiounsbeständegkeet vum Substrat ze verbesseren. Zu de gängegen Uwendungssubstrater gehéieren déi folgend:
| Substrattyp | Grond vun der Applikatioun | Typesch Benotzung |
| Grafit | - Liicht Struktur, gutt Wärmeleitfäegkeet - Awer liicht duerch Plasma korrodéiert, erfuerdert eng SiC-Beschichtung | Vakuumkammerdeeler, Graphitbooter, Plasmaätztabletten, etc. |
| Quarz (Quarz/SiO₂) | - Héich Rengheet awer liicht korrodéiert - Beschichtung verbessert d'Resistenz géint Plasmaerosioun | CVD/PECVD Kammerdeeler |
| Keramik (wéi Aluminiumoxid Al₂O₃) | - Héichfestigkeit a stabil Struktur - Beschichtung verbessert d'Korrosiounsbeständegkeet vun der Uewerfläch | Kammerausstattung, Armaturen, etc. |
| Metaller (wéi Molybdän, Titan, asw.) | - Gutt thermesch Konduktivitéit awer schlecht Korrosiounsbeständegkeet - Beschichtung verbessert d'Uewerflächenstabilitéit | Spezial Prozessreaktiounskomponenten |
| Siliziumkarbid-Sinterkierper (SiC-Bulk) | - Fir Ëmfeld mat héijen Ufuerderungen u komplex Aarbechtsbedingungen - D'Beschichtung verbessert d'Reinheet an d'Korrosiounsbeständegkeet weider | High-End CVD/ALD Kammerkomponenten |
SiC-beschichtete Produkter ginn dacks an de folgende Hallefleederberäicher benotzt
SiC-Beschichtungsprodukter gi wäit verbreet an der Hallefleederveraarbechtung benotzt, haaptsächlech an Ëmfeld mat héijen Temperaturen, héijer Korrosioun a staarkem Plasma. Hei sinn e puer wichteg Uwendungsprozesser oder -felder a kuerz Beschreiwungen:
| Bewerbungsprozess/Beräich | Kuerz Beschreiwung | Siliziumkarbidbeschichtungsfunktioun |
| Plasmaätzen (Ätzen) | Benotzt Fluor- oder Chlorgaser fir Mustertransfer | Plasmaerosioun widderstoen a Partikel- a Metallkontaminatioun verhënneren |
| Chemesch Gasoflagerung (CVD/PECVD) | Oflagerung vun Oxid, Nitrid an aner dënn Schichten | Widderstand géint korrosiv Virleefergaser a verlänger d'Liewensdauer vun de Komponenten |
| Physikalesch Dampfoflagerungskammer (PVD) | Héichenergetescht Partikelbombardement während dem Beschichtungsprozess | Verbessert d'Erosiounsbeständegkeet an d'Hëtztbeständegkeet vun der Reaktiounskammer |
| MOCVD-Prozess (wéi z.B. SiC-epitaxialwachstum) | Laangfristeg Reaktioun ënner héijer Temperatur an enger staarker Waasserstoffkorrosiv Atmosphär | Stabilitéit vun der Ausrüstung garantéieren a Kontaminatioun vu wuessende Kristaller vermeiden |
| Wärmebehandlungsprozess (LPCVD, Diffusioun, Glühen, etc.) | Normalerweis bei héijer Temperatur a Vakuum/Atmosphär duerchgefouert | Schützt Graphitbooter a -Schacht virun Oxidatioun oder Korrosioun |
| Waferträger/Spannfutter (Waferbehandlung) | Grafitbasis fir Wafertransfer oder Ënnerstëtzung | Reduzéiert d'Partikelverdeelung a vermeit Kontaktkontaminatioun |
| Komponenten vun der ALD-Kammer | Widderhuelend a präzis Kontroll vun der Atomschichtoflagerung | D'Beschichtung hält d'Kammer propper an huet eng héich Korrosiounsbeständegkeet géint Virgänger |
Firwat VET Energy wielen?
VET Energy ass e féierende Produzent, Innovator a Leader vu SiC-Beschichtungsprodukter a China, zu den Haapt-SiC-Beschichtungsprodukter gehéierenWaferträger mat SiC-Beschichtung, SiC beschichtetepitaktischen Susceptor, SiC-beschichtete Graphitring, Hallefmounddeeler mat SiC-Beschichtung, SiC-beschichtete Kuelestoff-Kuelestoff-Komposit, SiC-beschichtete Waferboot, SiC-beschichtete Heizung, etc. VET Energy engagéiert sech fir d'Hallefleederindustrie mat den ultimativen Technologie- a Produktléisungen ze bidden, a ënnerstëtzt personaliséiert Servicer. Mir freeën eis häerzlech drop, Äre laangfristege Partner a China ze sinn.
Wann Dir Froen hutt oder weider Detailer braucht, zéckt net, eis ze kontaktéieren.
Whatsapp & Wechat: +86-18069021720
Email: steven@china-vet.com
Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 18. Oktober 2024