Шта је сиц премаз?

Силицијум карбидје тврдо једињење које садржи силицијум и угљеник, а у природи се налази као изузетно редак минерал моисанит. Честице силицијум карбида могу се спојити синтеровањем и формирати веома тврду керамику, која се широко користи у применама које захтевају високу издржљивост, посебно у производњи полупроводника.

Физичка структура SiC-а

Шта је SiC премаз?

SiC премаз је густ, отпоран на хабање премаз силицијум карбида са високом отпорношћу на корозију и топлоту и одличном топлотном проводљивошћу. Овај SiC премаз високе чистоће се првенствено користи у полупроводничкој и електронској индустрији за заштиту носача плочица, база и грејних елемената од корозивних и реактивних средина. SiC премаз је такође погодан за вакуумске пећи и загревање узорака у високом вакууму, реактивним и кисеоничним срединама.

Површина премаза SiC високе чистоће

Шта је процес наношења SiC премаза?

Танки слој силицијум карбида се наноси на површину подлоге помоћуCVD (Хемијско таложење из паре)Таложење се обично врши на температурама од 1200-1300°C, а понашање термичког ширења материјала подлоге треба да буде компатибилно са SiC премазом како би се минимизирало термичко напрезање.

CVD SIC ФИЛМ КРИСТАЛНА СТРУКТУРА

CVD SIC премаз КРИСТАЛНА СТРУКТУРА ФИЛМА

Физичка својства SiC премаза се углавном огледају у његовој отпорности на високе температуре, тврдоћи, отпорности на корозију и топлотној проводљивости.

Типични физички параметри су обично следећи:

ТврдоћаSiC премаз обично има Викерсову тврдоћу у опсегу од 2000-2500 HV, што му даје изузетно високу отпорност на хабање и ударце у индустријским применама.

ГустинаSiC премази обично имају густину од 3,1-3,2 g/cm³. Висока густина доприноси механичкој чврстоћи и издржљивости премаза.

Топлотна проводљивостSiC премази имају високу топлотну проводљивост, обично у опсегу од 120-200 W/mK (на 20°C). То им даје добру топлотну проводљивост у окружењима са високим температурама и чини их посебно погодним за опрему за термичку обраду у полупроводничкој индустрији.

Тачка топљењаСилицијум карбид има тачку топљења од приближно 2730°C и одличну термичку стабилност на екстремним температурама.

Коефицијент термичког ширењаSiC премази имају низак линеарни коефицијент термичког ширења (CTE), типично у опсегу од 4,0-4,5 µm/mK (у опсегу од 25-1000℃). То значи да је њихова димензионална стабилност одлична при великим температурним разликама.

Отпорност на корозијуSiC премази су изузетно отпорни на корозију у јаким киселим, алкалним и оксидационим срединама, посебно када се користе јаке киселине (као што су HF или HCl), њихова отпорност на корозију далеко превазилази отпорност конвенционалних металних материјала.

Подлога за наношење SiC премаза

SiC премаз се често користи за побољшање отпорности на корозију, отпорности на високе температуре и отпорности на плазма ерозију подлоге. Уобичајене подлоге за примену укључују следеће:

Тип подлоге	Разлог за пријаву	Типична употреба
Графит	- Лагана структура, добра топлотна проводљивост - Али лако кородира плазмом, захтева заштиту SiC премазом	Делови вакуумске коморе, графитни чамци, посуде за плазма нагризање итд.
Кварц (кварц/SiO₂)	- Висока чистоћа, али лако кородира - Премаз побољшава отпорност на плазма ерозију	Делови CVD/PECVD коморе
Керамика (као што је алуминијум оксид Al₂O₃)	- Висока чврстоћа и стабилна структура - Премаз побољшава отпорност површине на корозију	Облога коморе, арматуре итд.
Метали (као што су молибден, титанијум, итд.)	- Добра топлотна проводљивост, али лоша отпорност на корозију - Премаз побољшава стабилност површине	Компоненте реакције специјалног процеса
Синтеровано тело од силицијум карбида (SiC у расутом стању)	- За окружења са високим захтевима за сложене радне услове - Премаз додатно побољшава чистоћу и отпорност на корозију	Врхунске компоненте CVD/ALD коморе

Производи обложени SiC-ом се обично користе у следећим областима полупроводника

Производи од SiC премаза се широко користе у обради полупроводника, углавном у окружењима са високим температурама, високом корозијом и јаком плазмом. У наставку су наведени неки од главних процеса или области примене и кратки описи:

Процес/област пријаве	Кратак опис	Функција премаза силицијум-карбидом
Плазма нагризање (нагризање)	Користите гасове на бази флуора или хлора за пренос образаца	Отпорност на плазмену ерозију и спречавање контаминације честицама и металом
Хемијско таложење из парне фазе (CVD/PECVD)	Таложење оксидних, нитридних и других танких филмова	Отпорност на корозивне прекурсорске гасове и повећање века трајања компоненти
Комора за физичко таложење паре (PVD)	Бомбардовање честицама високе енергије током процеса премазивања	Побољшајте отпорност на ерозију и отпорност на топлоту реакционе коморе
MOCVD процес (као што је епитаксијални раст SiC)	Дуготрајна реакција под високом температуром и корозивном атмосфером са високим садржајем водоника	Одржавајте стабилност опреме и спречите контаминацију растућих кристала
Процес термичке обраде (LPCVD, дифузија, жарење, итд.)	Обично се изводи на високој температури и у вакууму/атмосфери	Заштитите графитне чамце и посуде од оксидације или корозије
Носач/стезач за плочице (руковање плочицама)	Графитна база за пренос или подршку плочице	Смањите осипање честица и избегавајте контактну контаминацију
Компоненте ALD коморе	Више пута и прецизно контролишите таложење атомског слоја	Премаз одржава комору чистом и има високу отпорност на корозију на прекурсоре

Зашто изабрати VET Energy?

VET Energy је водећи произвођач, иноватор и лидер у производњи SiC премаза у Кини, а главни производи SiC премаза укључујуНосач плочице са SiC премазом, SiC премазепитаксијални сусцептор, Графитни прстен са SiC премазом, Делови у облику полумесеца са SiC премазом, SiC обложени угљен-угљенични композит, SiC обложени чамац од плочице, Грејач са SiC премазомитд. VET Energy је посвећен пружању врхунских технолошких и производних решења полупроводничкој индустрији и подржава услуге прилагођавања. Искрено се радујемо што ћемо бити ваш дугорочни партнер у Кини.