Ho koahela ka sic ke eng?

Silicone Carbideke motsoako o thata o nang le silicon le khabone, 'me o fumanoa tlhahong e le moissanite ea minerale e sa tloaelehang haholo. Likaroloana tsa silicon carbide li ka kopanngoa hammoho ka ho sintering ho etsa li-ceramic tse thata haholo, tse sebelisoang haholo lits'ebetsong tse hlokang ho tšoarella haholo, haholo-holo mokolokong oa semiconductor.

Sebopeho sa 'mele sa SiC

Sekoahelo sa SiC ke eng?

Sekoahelo sa SiC ke sekoahelo se teteaneng, se sa tsofaleng sa silicon carbide se nang le mafome a mangata le ho hanyetsa mocheso le ho tsamaisa mocheso hantle. Sekoahelo sena sa SiC se hloekileng haholo se sebelisoa haholo-holo indastering ea semiconductor le ea elektroniki ho sireletsa lijari tsa wafer, metheo le likarolo tsa ho futhumatsa ho tsoa libakeng tse senyang le tse arabelang. Sekoahelo sa SiC se boetse se loketse lionto tsa vacuum le ho futhumatsa sampole libakeng tse nang le vacuum e ngata, tse arabelang le tsa oksijene.

Bohloeki bo phahameng ba SiC bo koahelang bokaholimo

Mokhoa oa ho koahela SiC ke ofe?

Lera le lesesaane la silicon carbide le beoa holim'a substrate ka ho sebelisaCVD (Ho tlosoa ha mouoane oa lik'hemik'hale)Hangata ho ntsha mocheso ho etswa mochesong wa 1200-1300°C mme boitshwaro ba katoloso ya mocheso wa thepa ya substrate bo lokela ho tsamaellana le seaparo sa SiC ho fokotsa kgatello ya mocheso.

SEBOPEHO SA KHRISTALE SA FILIMI EA CVD SIC

Thepa ea 'mele ea sekoahelo sa SiC e bonahala haholo-holo ka ho hanyetsa ha sona mocheso o phahameng, ho thatafala, ho hanyetsa ho bola le ho tsamaisa mocheso.

Litekanyetso tse tloaelehileng tsa 'mele hangata ke tse latelang:

Bothata: Sekoahelo sa SiC hangata se na le Vickers Hardness e pakeng tsa 2000-2500 HV, e leng se etsang hore li se ke tsa senyeha haholo le ho hanela tšusumetso lits'ebetsong tsa indasteri.

Botenya: Likoahelo tsa SiC hangata li na le boima ba 3.1-3.2 g/cm³. Boima bo phahameng bo tlatsetsa matla a mechini le ho tšoarella ha koahelo.

Ho khanna ha mocheso: Liaparo tsa SiC li na le phallo e phahameng ea mocheso, hangata li pakeng tsa 120-200 W/mK (ho 20°C). Sena se e fa phallo e ntle ea mocheso libakeng tse nang le mocheso o phahameng 'me se etsa hore e tšoanelehe haholo bakeng sa lisebelisoa tsa kalafo ea mocheso indastering ea semiconductor.

Sebaka sa ho qhibiliha: silicon carbide e na le ntlha ea ho qhibiliha ea hoo e ka bang 2730°C 'me e na le botsitso bo botle ba mocheso maemong a feteletseng a mocheso.

Katoloso ea Thermal e sebetsang hantle: Liaparo tsa SiC li na le coefficient e tlase ea katoloso ea mocheso (CTE), hangata e pakeng tsa 4.0-4.5 µm/mK (ho 25-1000℃). Sena se bolela hore botsitso ba eona ba litekanyo bo botle haholo holim'a liphapang tse kholo tsa mocheso.

Khanyetso ea ts'enyeho: Liaparo tsa SiC li hanela mafome haholo libakeng tse matla tsa asiti, alkali le oxidizing, haholo-holo ha ho sebelisoa li-acid tse matla (tse kang HF kapa HCl), khanyetso ea tsona ea mafome e feta hōle ea thepa ea tšepe e tloaelehileng.

Sesebelisoa sa ho koahela sa SiC

Hangata ho koaheloa ha SiC ho sebelisoa ho ntlafatsa khanyetso ea mafome, khanyetso ea mocheso o phahameng, le khanyetso ea khoholeho ea plasma ea substrate. Lisebelisoa tse tloaelehileng tsa ts'ebeliso li kenyelletsa tse latelang:

Mofuta oa substrate	Lebaka la kopo	Tšebeliso e tloaelehileng
Graphite	- Sebopeho se bobebe, tsamaiso e ntle ea mocheso - Empa e senyeha habonolo ke plasma, e hloka tšireletso ea ho koahela SiC	Likarolo tsa kamore ea vacuum, likepe tsa graphite, literei tsa ho betla ka plasma, jj.
Quartz (Quartz/SiO₂)	- Bohloeki bo phahameng empa bo senyeha habonolo - Ho koahela ho eketsa ho hanyetsa khoholeho ea plasma	Likarolo tsa kamore ea CVD/PECVD
Liseramike (tse kang alumina Al₂O₃)	- Matla a phahameng le sebopeho se tsitsitseng - Ho koahela ho ntlafatsa ho hanyetsa ho bola ha bokaholimo	Lithapo tsa kamore, lisebelisoa tsa ho kenya, jj.
Litšepe (tse kang molybdenum, titanium, jj.)	- Ho tsamaisa mocheso hantle empa ho hanyetsa ho bola ho fokola - Ho koahela ho ntlafatsa botsitso ba bokaholimo	Likarolo tse ikhethang tsa karabelo ea ts'ebetso
'Mele o sintered oa silicon carbide (bongata ba SiC)	- Bakeng sa libaka tse nang le litlhoko tse phahameng bakeng sa maemo a rarahaneng a mosebetsi - Ho koahela ho ntlafatsa bohloeki le ho hanyetsa mafome	Likarolo tsa kamore ea CVD/ALD ea maemo a holimo

Lihlahisoa tse koahetsoeng ka SiC li sebelisoa hangata libakeng tse latelang tsa semiconductor.

Lihlahisoa tsa ho koahela tsa SiC li sebelisoa haholo ts'ebetsong ea li-semiconductor, haholo-holo mochesong o phahameng, mafome a phahameng le tikolohong e matla ea plasma. Tse latelang ke lits'ebetso tse 'maloa tse kholo tsa ts'ebeliso kapa masimo le litlhaloso tse khutšoane:

Ts'ebetso/tšimo ea kopo	Tlhaloso e khutšoanyane	Mosebetsi oa ho roala oa Silicon Carbide
Ho hlaba ka lero la mali (Plasma)	Sebelisa likhase tse thehiloeng ho fluorine kapa chlorine bakeng sa phetiso ea lipaterone	Hanela khoholeho ea plasma 'me u thibele tšilafalo ea likaroloana le tšepe
Ho tlosoa ha mouoane ka lik'hemik'hale (CVD/PECVD)	Ho ntshwa ha oxide, nitride le difilimi tse ding tse tshesane	Hanela likhase tse senyang tsa pele ho nako 'me u eketse bophelo ba likarolo
Kamore ea ho boloka mouoane oa 'mele (PVD)	Ho phatloha ha likaroloana tse nang le matla a mangata nakong ea ts'ebetso ea ho roala	Ntlafatsa khanyetso ea khoholeho ea mobu le khanyetso ea mocheso ea kamore ea karabelo
Mokhoa oa MOCVD (joalo ka kholo ea SiC epitaxial)	Karabelo ea nako e telele tlas'a mocheso o phahameng le sepakapaka se nang le haeterojene e ngata e senyang	Boloka botsitso ba lisebelisoa le ho thibela tšilafalo ea likristale tse ntseng li hola
Mokhoa oa ho phekola mocheso (LPCVD, ho hasana, ho annealing, jj.)	Hangata e etsoa mochesong o phahameng le ka vacuum/sepakapakeng	Sireletsa likepe tsa graphite le literei khahlanong le oxidation kapa mafome
Sejana sa wafer/chuck (Tšebeliso ea wafer)	Setsi sa graphite bakeng sa phetisetso kapa tšehetso ea wafer	Fokotsa ho tšoloha ha likaroloana 'me u qobe tšilafalo ea ho kopana le tsona
Likarolo tsa kamore ea ALD	Laola ho beoa ha lera la athomo khafetsa le ka nepo	Seaparo se boloka kamore e hloekile 'me se na le khanyetso e phahameng ea mafome khahlanong le lintho tse tlang pele ho sona

Hobaneng o lokela ho kgetha VET Energy?

VET Energy ke moetsi ea ka sehloohong, moqapi le moetapele oa lihlahisoa tsa ho roala tsa SiC Chaena, lihlahisoa tse ka sehloohong tsa ho roala tsa SiC li kenyelletsasejana sa wafer se nang le sekoahelo sa SiC, SiC e koahetsoengsesebelisoa sa epitaxial, SiC e koahetsoeng ka graphite lesale, Likarolo tse halofo ea khoeli tse nang le sekoahelo sa SiC, Motsoako oa khabone-khabone o koahetsoeng ke SiC, Sekepe sa wafer se koahetsoeng ka SiC, Sehatsetsi se koahetsoeng ka SiCjj. VET Energy e ikemiselitse ho fa indasteri ea semiconductor litharollo tsa theknoloji le lihlahisoa tse phethahetseng, 'me e tšehetsa lits'ebeletso tsa ho iketsetsa lintho. Re labalabela ka tieo ho ba molekane oa hau oa nako e telele Chaena.