sic कोटिंग म्हणजे काय? – VET ENERGY

सिलिकॉन कार्बाइडहे सिलिकॉन आणि कार्बन असलेले एक कठीण संयुग आहे आणि निसर्गात अत्यंत दुर्मिळ खनिज मॉइसॅनाइट म्हणून आढळते. सिलिकॉन कार्बाइड कणांना सिंटरिंगद्वारे एकत्र बांधून खूप कठीण सिरेमिक बनवता येतात, जे उच्च टिकाऊपणा आवश्यक असलेल्या अनुप्रयोगांमध्ये, विशेषतः अर्धसंवाहक प्रक्रियेत मोठ्या प्रमाणावर वापरले जातात.

SiC ची भौतिक रचना

SiC कोटिंग म्हणजे काय?

SiC कोटिंग हे एक दाट, पोशाख-प्रतिरोधक सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग आहे ज्यामध्ये उच्च गंज आणि उष्णता प्रतिरोधकता आणि उत्कृष्ट थर्मल चालकता आहे. हे उच्च-शुद्धता असलेले SiC कोटिंग प्रामुख्याने सेमीकंडक्टर आणि इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योगांमध्ये वेफर कॅरियर्स, बेस आणि हीटिंग घटकांना गंज आणि प्रतिक्रियाशील वातावरणापासून संरक्षित करण्यासाठी वापरले जाते. SiC कोटिंग व्हॅक्यूम फर्नेस आणि उच्च व्हॅक्यूम, प्रतिक्रियाशील आणि ऑक्सिजन वातावरणात नमुना गरम करण्यासाठी देखील योग्य आहे.

उच्च शुद्धता असलेले SiC कोटिंग पृष्ठभाग

SiC कोटिंग प्रक्रिया काय आहे?

सिलिकॉन कार्बाइडचा पातळ थर थराच्या पृष्ठभागावर ठेवला जातो.सीव्हीडी (रासायनिक वाष्प निक्षेपण). निक्षेपण सामान्यतः १२००-१३००°C तापमानावर केले जाते आणि थर्मल ताण कमी करण्यासाठी सब्सट्रेट मटेरियलचे थर्मल विस्तार वर्तन SiC कोटिंगशी सुसंगत असले पाहिजे.

सीव्हीडी एसआयसी कोटिंग फिल्म क्रिस्टल स्ट्रक्चर

SiC कोटिंगचे भौतिक गुणधर्म प्रामुख्याने त्याच्या उच्च तापमान प्रतिकार, कडकपणा, गंज प्रतिरोध आणि थर्मल चालकता मध्ये प्रतिबिंबित होतात.

सामान्यतः भौतिक मापदंड खालीलप्रमाणे असतात:

कडकपणा: SiC कोटिंगमध्ये सामान्यतः २०००-२५०० HV च्या श्रेणीत विकर्स हार्डनेस असतो, जो त्यांना औद्योगिक अनुप्रयोगांमध्ये अत्यंत उच्च झीज आणि प्रभाव प्रतिरोधकता देतो.

घनता: SiC कोटिंग्जची घनता सामान्यतः 3.1-3.2 g/cm³ असते. उच्च घनतेमुळे कोटिंगची यांत्रिक ताकद आणि टिकाऊपणा वाढतो.

औष्णिक चालकता: SiC कोटिंग्जमध्ये उच्च थर्मल चालकता असते, सामान्यत: १२०-२०० W/mK (२०°C वर) च्या श्रेणीत. यामुळे उच्च तापमानाच्या वातावरणात चांगली थर्मल चालकता मिळते आणि ते सेमीकंडक्टर उद्योगातील उष्णता उपचार उपकरणांसाठी विशेषतः योग्य बनते.

द्रवणांक: सिलिकॉन कार्बाइडचा वितळण्याचा बिंदू अंदाजे २७३०°C असतो आणि अत्यंत तापमानात उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता असते.

औष्णिक विस्ताराचे गुणांक: SiC कोटिंग्जमध्ये थर्मल एक्सपेंशनचा रेषीय गुणांक (CTE) कमी असतो, जो सामान्यत: ४.०-४.५ µm/mK (२५-१०००℃ मध्ये) च्या श्रेणीत असतो. याचा अर्थ असा की मोठ्या तापमान फरकांवर त्याची मितीय स्थिरता उत्कृष्ट असते.

गंज प्रतिकार: SiC कोटिंग्ज मजबूत आम्ल, अल्कली आणि ऑक्सिडायझिंग वातावरणात गंजण्यास अत्यंत प्रतिरोधक असतात, विशेषतः जेव्हा मजबूत आम्ल (जसे की HF किंवा HCl) वापरतात, तेव्हा त्यांचा गंज प्रतिकार पारंपारिक धातूच्या पदार्थांपेक्षा खूपच जास्त असतो.

SiC कोटिंग अॅप्लिकेशन सब्सट्रेट

सब्सट्रेटचा गंज प्रतिकार, उच्च तापमान प्रतिकार आणि प्लाझ्मा इरोशन प्रतिरोध सुधारण्यासाठी SiC कोटिंगचा वापर केला जातो. सामान्य वापराच्या सब्सट्रेटमध्ये खालील गोष्टींचा समावेश आहे:

खालील अर्धवाहक क्षेत्रांमध्ये SiC लेपित उत्पादने सामान्यतः वापरली जातात:

SiC कोटिंग उत्पादने अर्धसंवाहक प्रक्रियेत मोठ्या प्रमाणावर वापरली जातात, प्रामुख्याने उच्च तापमान, उच्च गंज आणि मजबूत प्लाझ्मा वातावरणात. खालील अनेक प्रमुख अनुप्रयोग प्रक्रिया किंवा फील्ड आणि संक्षिप्त वर्णने आहेत:

व्हीईटी एनर्जी का निवडावी?

व्हीईटी एनर्जी ही चीनमधील एक आघाडीची उत्पादक, नवोन्मेषक आणि SiC कोटिंग उत्पादनांची आघाडीची कंपनी आहे, मुख्य SiC कोटिंग उत्पादनांमध्ये हे समाविष्ट आहेSiC कोटिंगसह वेफर कॅरियर, SiC लेपितएपिटॅक्सियल ससेप्टर, SiC लेपित ग्रेफाइट रिंग, SiC कोटिंग असलेले अर्धचंद्र भाग, SiC लेपित कार्बन-कार्बन संमिश्र, SiC लेपित वेफर बोट, SiC लेपित हीटर, इत्यादी. व्हीईटी एनर्जी सेमीकंडक्टर उद्योगाला सर्वोत्तम तंत्रज्ञान आणि उत्पादन उपाय प्रदान करण्यासाठी वचनबद्ध आहे आणि कस्टमायझेशन सेवांना समर्थन देते. आम्ही चीनमध्ये तुमचे दीर्घकालीन भागीदार होण्यास प्रामाणिकपणे उत्सुक आहोत.

जर तुम्हाला काही चौकशी करायची असेल किंवा तुम्हाला अधिक माहिती हवी असेल, तर कृपया आमच्याशी संपर्क साधण्यास अजिबात संकोच करू नका.

Whatsapp आणि Wechat:+86-18069021720

Email: steven@china-vet.com