एसआयसी कोटिंग म्हणजे काय? – व्हीईटी एनर्जी

सिलिकॉन कार्बाइडसिलिकॉन कार्बाइड हे सिलिकॉन आणि कार्बन असलेले एक कठीण संयुग आहे, आणि ते निसर्गात अत्यंत दुर्मिळ खनिज मोइसानाइटच्या रूपात आढळते. सिंटरिंगद्वारे सिलिकॉन कार्बाइडचे कण एकत्र जोडून अतिशय कठीण सिरॅमिक्स बनवता येतात, ज्यांचा वापर उच्च टिकाऊपणा आवश्यक असलेल्या अनुप्रयोगांमध्ये, विशेषतः सेमीकंडक्टर प्रक्रियेमध्ये मोठ्या प्रमाणावर केला जातो.

SiC ची भौतिक रचना

एसआयसी कोटिंग म्हणजे काय?

SiC कोटिंग हे एक घन, झीज-प्रतिरोधक सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग आहे, ज्यात उच्च क्षरण आणि उष्णता प्रतिरोधकता तसेच उत्कृष्ट औष्णिक वाहकता असते. या उच्च-शुद्धतेच्या SiC कोटिंगचा उपयोग प्रामुख्याने सेमीकंडक्टर आणि इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योगांमध्ये वेफर कॅरिअर्स, बेसेस आणि हीटिंग एलिमेंट्सना क्षरणकारी आणि प्रतिक्रियाशील वातावरणापासून संरक्षित करण्यासाठी केला जातो. SiC कोटिंग व्हॅक्यूम फर्नेस आणि उच्च व्हॅक्यूम, प्रतिक्रियाशील व ऑक्सिजनयुक्त वातावरणात नमुने गरम करण्यासाठी देखील उपयुक्त आहे.

उच्च शुद्धता SiC लेपन पृष्ठभाग

एसआयसी (SiC) कोटिंग प्रक्रिया काय आहे?

सबस्ट्रेटच्या पृष्ठभागावर सिलिकॉन कार्बाइडचा पातळ थर वापरून जमा केला जातोसीव्हीडी (केमिकल व्हेपर डिपॉझिशन)निक्षेपण सामान्यतः 1200-1300°C तापमानावर केले जाते आणि औष्णिक ताण कमी करण्यासाठी सब्सट्रेट सामग्रीचे औष्णिक प्रसरण वर्तन SiC कोटिंगशी सुसंगत असले पाहिजे.

सीव्हीडी एसआयसी कोटिंग फिल्म क्रिस्टल स्ट्रक्चर

एसआयसी लेपनाचे भौतिक गुणधर्म प्रामुख्याने त्याच्या उच्च तापमान प्रतिरोध, कठीणपणा, क्षरण प्रतिरोध आणि औष्णिक वाहकतेमध्ये दिसून येतात.

सर्वसाधारण भौतिक मापदंड सहसा खालीलप्रमाणे असतात:

कठोरताएसआयसी (SiC) कोटिंगची विकर्स कठीणता सामान्यतः 2000-2500 एचव्ही (HV) च्या श्रेणीत असते, ज्यामुळे त्यांना औद्योगिक उपयोगांमध्ये अत्यंत उच्च झीज आणि आघात प्रतिरोधकता मिळते.

घनताएसआयसी (SiC) लेपनाची घनता सामान्यतः ३.१-३.२ ग्रॅम/सेमी³ असते. या उच्च घनतेमुळे लेपनाला यांत्रिक मजबुती आणि टिकाऊपणा मिळतो.

औष्णिक वाहकताएसआयसी (SiC) लेपनांमध्ये उच्च औष्णिक वाहकता असते, जी साधारणपणे 120-200 W/mK (20°C तापमानावर) असते. यामुळे उच्च तापमानाच्या वातावरणातही ते चांगले कार्य करते आणि सेमीकंडक्टर उद्योगातील उष्णता उपचार उपकरणांसाठी विशेषतः उपयुक्त ठरते.

वितळणबिंदूसिलिकॉन कार्बाइडचा वितळणांक अंदाजे २७३०°C असतो आणि अत्यंत तापमानातही त्याची औष्णिक स्थिरता उत्कृष्ट असते.

औष्णिक प्रसरण गुणांकSiC लेपनांचा रेषीय औष्णिक प्रसरण गुणांक (CTE) कमी असतो, जो साधारणपणे 4.0-4.5 µm/mK (25-1000℃ तापमानात) असतो. याचा अर्थ असा की, मोठ्या तापमानातील फरकांमध्येही त्याची आकारमान स्थिरता उत्कृष्ट असते.

गंजरोधकSiC लेपन हे तीव्र आम्ल, अल्कली आणि ऑक्सिडायझिंग वातावरणात गंजण्यास अत्यंत प्रतिरोधक असतात, विशेषतः तीव्र आम्ल (जसे की HF किंवा HCl) वापरताना, त्यांची गंज प्रतिरोधकता पारंपारिक धातूंच्या सामग्रीपेक्षा कितीतरी जास्त असते.

SiC कोटिंग ॲप्लिकेशन सबस्ट्रेट

सब्सट्रेटचा क्षरण प्रतिरोध, उच्च तापमान प्रतिरोध आणि प्लाझ्मा क्षरण प्रतिरोध सुधारण्यासाठी SiC कोटिंगचा वापर अनेकदा केला जातो. सामान्य वापरासाठीच्या सब्सट्रेट्समध्ये खालील गोष्टींचा समावेश होतो:

SiC लेपित उत्पादने सामान्यतः खालील सेमीकंडक्टर क्षेत्रांमध्ये वापरली जातात.

एसआयसी (SiC) कोटिंग उत्पादने सेमीकंडक्टर प्रक्रियेमध्ये, प्रामुख्याने उच्च तापमान, उच्च क्षरण आणि तीव्र प्लाझ्मा वातावरणात मोठ्या प्रमाणावर वापरली जातात. खाली काही प्रमुख अनुप्रयोग प्रक्रिया किंवा क्षेत्रे आणि त्यांचे संक्षिप्त वर्णन दिले आहे:

व्हीईटी एनर्जीची निवड का करावी?

व्हीईटी एनर्जी ही चीनमधील एसआयसी कोटिंग उत्पादनांची एक अग्रगण्य उत्पादक, नवप्रवर्तक आणि अग्रणी कंपनी आहे, मुख्य एसआयसी कोटिंग उत्पादनांमध्ये यांचा समावेश आहेएसआयसी कोटिंगसह वेफर कॅरियर, एसआयसी लेपितएपिटॅक्सियल ससेप्टर, SiC लेपित ग्रॅफाइट रिंग, SiC कोटिंग असलेले अर्धचंद्राकृती भाग, SiC लेपित कार्बन-कार्बन संमिश्र, एसआयसी लेपित वेफर बोट, SiC लेपित हीटरव्हीईटी एनर्जी सेमीकंडक्टर उद्योगाला अत्याधुनिक तंत्रज्ञान आणि उत्पादन उपाय प्रदान करण्यासाठी वचनबद्ध आहे, आणि सानुकूलन सेवांना समर्थन देते. आम्ही चीनमध्ये तुमचे दीर्घकालीन भागीदार होण्यास उत्सुक आहोत.

आपल्याला काही प्रश्न असल्यास किंवा अधिक माहिती हवी असल्यास, कृपया आमच्याशी संपर्क साधायला अजिबात संकोच करू नका.

Whatsapp आणि Wechat:+86-18069021720

Email: steven@china-vet.com