சிலிக்கான் கார்பைடுசிலிக்கான் மற்றும் கார்பன் கொண்ட ஒரு கடினமான கலவை ஆகும், மேலும் இது இயற்கையில் மிகவும் அரிதான கனிம மொய்சனைட்டாகக் காணப்படுகிறது. சிலிக்கான் கார்பைடு துகள்களை சின்டரிங் மூலம் ஒன்றாக இணைத்து மிகவும் கடினமான மட்பாண்டங்களை உருவாக்கலாம், அவை அதிக ஆயுள் தேவைப்படும் பயன்பாடுகளில், குறிப்பாக குறைக்கடத்தி ஊர்வலத்தில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
SiC இன் இயற்பியல் அமைப்பு
SiC பூச்சு என்றால் என்ன?
SiC பூச்சு என்பது அதிக அரிப்பு மற்றும் வெப்ப எதிர்ப்பு மற்றும் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் கொண்ட அடர்த்தியான, தேய்மான-எதிர்ப்பு சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு ஆகும். இந்த உயர்-தூய்மை SiC பூச்சு முதன்மையாக குறைக்கடத்தி மற்றும் மின்னணுவியல் தொழில்களில் அரிக்கும் மற்றும் எதிர்வினை சூழல்களிலிருந்து வேஃபர் கேரியர்கள், தளங்கள் மற்றும் வெப்பமூட்டும் கூறுகளைப் பாதுகாக்கப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. SiC பூச்சு வெற்றிட உலைகளுக்கும், அதிக வெற்றிடம், எதிர்வினை மற்றும் ஆக்ஸிஜன் சூழல்களில் மாதிரி வெப்பமாக்கலுக்கும் ஏற்றது.
உயர் தூய்மை SiC பூச்சு மேற்பரப்பு
SiC பூச்சு செயல்முறை என்றால் என்ன?
சிலிக்கான் கார்பைடின் ஒரு மெல்லிய அடுக்கு அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பில் படிவு செய்யப்படுகிறது, இதைப் பயன்படுத்திCVD (வேதியியல் ஆவி படிவு)படிவு பொதுவாக 1200-1300°C வெப்பநிலையில் மேற்கொள்ளப்படுகிறது மற்றும் வெப்ப அழுத்தத்தைக் குறைக்க அடி மூலக்கூறு பொருளின் வெப்ப விரிவாக்க நடத்தை SiC பூச்சுடன் இணக்கமாக இருக்க வேண்டும்.

CVD SIC பூச்சு திரைப்பட படிக அமைப்பு
SiC பூச்சுகளின் இயற்பியல் பண்புகள் முக்கியமாக அதன் உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, கடினத்தன்மை, அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப கடத்துத்திறன் ஆகியவற்றில் பிரதிபலிக்கின்றன.
வழக்கமான உடல் அளவுருக்கள் பொதுவாக பின்வருமாறு:
கடினத்தன்மை: SiC பூச்சு பொதுவாக 2000-2500 HV வரம்பில் விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது, இது தொழில்துறை பயன்பாடுகளில் மிக அதிக தேய்மானம் மற்றும் தாக்க எதிர்ப்பை அளிக்கிறது.
அடர்த்தி: SiC பூச்சுகள் பொதுவாக 3.1-3.2 g/cm³ அடர்த்தியைக் கொண்டிருக்கும். அதிக அடர்த்தி பூச்சுகளின் இயந்திர வலிமை மற்றும் நீடித்து நிலைக்கும் பங்களிக்கிறது.
வெப்ப கடத்துத்திறன்: SiC பூச்சுகள் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறனைக் கொண்டுள்ளன, பொதுவாக 120-200 W/mK (20°C இல்) வரம்பில் இருக்கும். இது அதிக வெப்பநிலை சூழல்களில் நல்ல வெப்ப கடத்துத்திறனை அளிக்கிறது மற்றும் குறைக்கடத்தித் தொழிலில் வெப்ப சிகிச்சை உபகரணங்களுக்கு குறிப்பாக பொருத்தமானதாக அமைகிறது.
உருகுநிலை: சிலிக்கான் கார்பைடு தோராயமாக 2730°C உருகுநிலையைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் தீவிர வெப்பநிலையில் சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது.
வெப்ப விரிவாக்க குணகம்: SiC பூச்சுகள் குறைந்த நேரியல் வெப்ப விரிவாக்க குணகம் (CTE) கொண்டவை, பொதுவாக 4.0-4.5 µm/mK (25-1000℃ இல்) வரம்பில் இருக்கும். இதன் பொருள் அதன் பரிமாண நிலைத்தன்மை பெரிய வெப்பநிலை வேறுபாடுகளுக்கு மேல் சிறப்பாக இருக்கும்.
அரிப்பு எதிர்ப்பு: வலுவான அமிலம், காரத்தன்மை மற்றும் ஆக்ஸிஜனேற்ற சூழல்களில் SiC பூச்சுகள் அரிப்பை மிகவும் எதிர்க்கின்றன, குறிப்பாக வலுவான அமிலங்களைப் (HF அல்லது HCl போன்றவை) பயன்படுத்தும் போது, அவற்றின் அரிப்பு எதிர்ப்பு வழக்கமான உலோகப் பொருட்களை விட மிக அதிகமாக உள்ளது.
SiC பூச்சு பயன்பாட்டு அடி மூலக்கூறு
அடி மூலக்கூறின் அரிப்பு எதிர்ப்பு, உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் பிளாஸ்மா அரிப்பு எதிர்ப்பை மேம்படுத்த SiC பூச்சு பெரும்பாலும் பயன்படுத்தப்படுகிறது. பொதுவான பயன்பாட்டு அடி மூலக்கூறுகளில் பின்வருவன அடங்கும்:
| அடி மூலக்கூறு வகை | விண்ணப்பக் காரணம் | வழக்கமான பயன்பாடு |
| கிராஃபைட் | - ஒளி அமைப்பு, நல்ல வெப்ப கடத்துத்திறன் - ஆனால் பிளாஸ்மாவால் எளிதில் அரிக்கப்படும், SiC பூச்சு பாதுகாப்பு தேவைப்படுகிறது. | வெற்றிட அறை பாகங்கள், கிராஃபைட் படகுகள், பிளாஸ்மா பொறித்தல் தட்டுகள் போன்றவை. |
| குவார்ட்ஸ் (குவார்ட்ஸ்/SiO₂) | - அதிக தூய்மை ஆனால் எளிதில் அரிக்கப்படும் - பூச்சு பிளாஸ்மா அரிப்பு எதிர்ப்பை அதிகரிக்கிறது. | CVD/PECVD அறை பாகங்கள் |
| மட்பாண்டங்கள் (அலுமினா Al₂O₃ போன்றவை) | - அதிக வலிமை மற்றும் நிலையான அமைப்பு - பூச்சு மேற்பரப்பு அரிப்பு எதிர்ப்பை மேம்படுத்துகிறது. | அறை புறணி, சாதனங்கள், முதலியன. |
| உலோகங்கள் (மாலிப்டினம், டைட்டானியம் போன்றவை) | - நல்ல வெப்ப கடத்துத்திறன் ஆனால் மோசமான அரிப்பு எதிர்ப்பு - பூச்சு மேற்பரப்பு நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது | சிறப்பு செயல்முறை எதிர்வினை கூறுகள் |
| சிலிக்கான் கார்பைடு சின்டர்டு பாடி (SiC மொத்தமாக) | - சிக்கலான பணி நிலைமைகளுக்கு அதிக தேவைகள் உள்ள சூழல்களுக்கு - பூச்சு தூய்மை மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பை மேலும் மேம்படுத்துகிறது. | உயர்நிலை CVD/ALD அறை கூறுகள் |
SiC பூசப்பட்ட பொருட்கள் பொதுவாக பின்வரும் குறைக்கடத்திப் பகுதிகளில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
SiC பூச்சு தயாரிப்புகள் குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, முக்கியமாக அதிக வெப்பநிலை, அதிக அரிப்பு மற்றும் வலுவான பிளாஸ்மா சூழல்களில். பின்வருவன பல முக்கிய பயன்பாட்டு செயல்முறைகள் அல்லது புலங்கள் மற்றும் சுருக்கமான விளக்கங்கள்:
| விண்ணப்ப செயல்முறை/புலம் | சுருக்கமான விளக்கம் | சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு செயல்பாடு |
| பிளாஸ்மா பொறித்தல் (பொறித்தல்) | மாதிரி பரிமாற்றத்திற்கு ஃப்ளோரின் அல்லது குளோரின் சார்ந்த வாயுக்களைப் பயன்படுத்தவும். | பிளாஸ்மா அரிப்பைத் தடுத்து, துகள் மற்றும் உலோக மாசுபாட்டைத் தடுக்கிறது. |
| வேதியியல் நீராவி படிவு (CVD/PECVD) | ஆக்சைடு, நைட்ரைடு மற்றும் பிற மெல்லிய படலங்களின் படிவு | அரிக்கும் முன்னோடி வாயுக்களை எதிர்த்து, கூறுகளின் ஆயுளை அதிகரிக்கும். |
| இயற்பியல் நீராவி படிவு (PVD) அறை | பூச்சு செயல்பாட்டின் போது உயர் ஆற்றல் துகள் குண்டுவீச்சு | எதிர்வினை அறையின் அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப எதிர்ப்பை மேம்படுத்தவும். |
| MOCVD செயல்முறை (SiC எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி போன்றவை) | அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அதிக ஹைட்ரஜன் அரிக்கும் வளிமண்டலத்தின் கீழ் நீண்டகால எதிர்வினை | உபகரணங்களின் நிலைத்தன்மையைப் பராமரித்தல் மற்றும் வளரும் படிகங்களால் மாசுபடுவதைத் தடுக்குதல் |
| வெப்ப சிகிச்சை செயல்முறை (LPCVD, பரவல், அனீலிங், முதலியன) | பொதுவாக அதிக வெப்பநிலை மற்றும் வெற்றிடம்/வளிமண்டலத்தில் மேற்கொள்ளப்படுகிறது | கிராஃபைட் படகுகள் மற்றும் தட்டுகளை ஆக்ஸிஜனேற்றம் அல்லது அரிப்பிலிருந்து பாதுகாக்கவும். |
| வேஃபர் கேரியர்/சக் (வேஃபர் கையாளுதல்) | வேஃபர் பரிமாற்றம் அல்லது ஆதரவுக்கான கிராஃபைட் அடிப்படை | துகள் உதிர்தலைக் குறைத்து, தொடர்பு மாசுபாட்டைத் தவிர்க்கவும். |
| ALD அறை கூறுகள் | அணு அடுக்கு படிவை மீண்டும் மீண்டும் துல்லியமாக கட்டுப்படுத்துதல் | இந்தப் பூச்சு அறையை சுத்தமாக வைத்திருக்கிறது மற்றும் முன்னோடிகளுக்கு அதிக அரிப்பு எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது. |
ஏன் VET எனர்ஜியை தேர்வு செய்ய வேண்டும்?
VET எனர்ஜி சீனாவில் SiC பூச்சு தயாரிப்புகளின் முன்னணி உற்பத்தியாளர், புதுமைப்பித்தன் மற்றும் முன்னணி நிறுவனமாகும், முக்கிய SiC பூச்சு தயாரிப்புகளில் பின்வருவன அடங்கும்:SiC பூச்சுடன் கூடிய வேஃபர் கேரியர், SiC பூசப்பட்டதுஎபிடாக்சியல் சசெப்டர், SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் வளையம், SiC பூச்சுடன் கூடிய அரை நிலவு பாகங்கள், SiC பூசப்பட்ட கார்பன்-கார்பன் கலவை, SiC பூசப்பட்ட வேஃபர் படகு, SiC பூசப்பட்ட ஹீட்டர், முதலியன. VET எனர்ஜி குறைக்கடத்தித் தொழிலுக்கு இறுதி தொழில்நுட்பம் மற்றும் தயாரிப்பு தீர்வுகளை வழங்க உறுதிபூண்டுள்ளது, மேலும் தனிப்பயனாக்குதல் சேவைகளை ஆதரிக்கிறது. சீனாவில் உங்கள் நீண்டகால கூட்டாளியாக இருக்க நாங்கள் உண்மையிலேயே எதிர்நோக்குகிறோம்.
உங்களுக்கு ஏதேனும் விசாரணைகள் இருந்தால் அல்லது கூடுதல் விவரங்கள் தேவைப்பட்டால், தயவுசெய்து எங்களைத் தொடர்பு கொள்ள தயங்க வேண்டாம்.
Whatsapp&Wechat:+86-18069021720
Email: steven@china-vet.com
இடுகை நேரம்: அக்டோபர்-18-2024
