Карбід крэмнію— гэта цвёрдае злучэнне, якое змяшчае крэмній і вуглярод, і сустракаецца ў прыродзе ў выглядзе надзвычай рэдкага мінерала муасаніту. Часціцы карбіду крэмнію можна злучаць разам шляхам спякання, утвараючы вельмі цвёрдую кераміку, якая шырока выкарыстоўваецца ў прымяненнях, якія патрабуюць высокай трываласці, асабліва ў вытворчасці паўправаднікоў.
Фізічная структура SiC
Што такое SiC-пакрыццё?
Пакрыццё SiC — гэта шчыльнае, зносаўстойлівае пакрыццё з карбіду крэмнію з высокай каразійнай і цеплавой устойлівасцю і выдатнай цеплаправоднасцю. Гэта высакаякаснае пакрыццё SiC у асноўным выкарыстоўваецца ў паўправадніковай і электроннай прамысловасці для абароны носьбітаў пласцін, асноў і награвальных элементаў ад каразійных і рэактыўных асяроддзяў. Пакрыццё SiC таксама падыходзіць для вакуумных печаў і нагрэву ўзораў у высокім вакууме, рэактыўным і кіслародным асяроддзі.
Паверхня пакрыцця SiC высокай чысціні
Што такое працэс нанясення пакрыцця SiC?
Тонкі пласт карбіду крэмнію наносіцца на паверхню падкладкі з дапамогайCVD (хімічнае асаджэнне з паравой фазы)Асаджэнне звычайна праводзіцца пры тэмпературах 1200-1300°C, і цеплавое пашырэнне матэрыялу падкладкі павінна быць сумяшчальным з пакрыццём з карбіду крэмнію, каб мінімізаваць цеплавое напружанне.
Крышталічная структура плёнкі CVD SIC
Фізічныя ўласцівасці пакрыцця SiC у асноўным адлюстроўваюцца ў яго ўстойлівасці да высокіх тэмператур, цвёрдасці, каразійнай устойлівасці і цеплаправоднасці.
Тыповыя фізічныя параметры звычайна наступныя:
ЦвёрдасцьПакрыцці з карбіду крэмнію звычайна маюць цвёрдасць па Вікерсу ў дыяпазоне 2000-2500 HV, што забяспечвае ім надзвычай высокую зносаўстойлівасць і ўдаратрываласць у прамысловым ужыванні.
ШчыльнасцьПакрыцці з карбіду крэмнію звычайна маюць шчыльнасць 3,1-3,2 г/см³. Высокая шчыльнасць спрыяе механічнай трываласці і даўгавечнасці пакрыцця.
ЦеплаправоднасцьПакрыцці з карбіду крэмнію маюць высокую цеплаправоднасць, звычайна ў дыяпазоне 120-200 Вт/мК (пры 20°C). Гэта забяспечвае ім добрую цеплаправоднасць у умовах высокіх тэмператур і робіць іх асабліва прыдатнымі для абсталявання для тэрмічнай апрацоўкі ў паўправадніковай прамысловасці.
Тэмпература плаўленняКарбід крэмнію мае тэмпературу плаўлення прыблізна 2730°C і валодае выдатнай тэрмічнай стабільнасцю пры экстрэмальных тэмпературах.
Каэфіцыент цеплавога пашырэнняПакрыцці з карбіду крэмнію маюць нізкі лінейны каэфіцыент цеплавога пашырэння (КТР), звычайна ў дыяпазоне 4,0-4,5 мкм/мК (пры 25-1000℃). Гэта азначае, што яны выдатна захоўваюць памеры пры вялікіх перападах тэмператур.
Устойлівасць да карозііПакрыцці з карбіду крэмнію надзвычай устойлівыя да карозіі ў моцных кіслотных, шчолачных і акісляльных асяроддзях, асабліва пры выкарыстанні моцных кіслот (такіх як HF або HCl), іх каразійная ўстойлівасць значна перавышае каразійную ўстойлівасць звычайных металічных матэрыялаў.
Падкладка для нанясення пакрыцця SiC
Пакрыццё з карбіду крэмнію часта выкарыстоўваецца для паляпшэння каразійнай устойлівасці, устойлівасці да высокіх тэмператур і ўстойлівасці да плазменнай эрозіі падкладкі. Звычайныя падкладкі для прымянення ўключаюць наступнае:
| Тып субстрата | Прычына заяўкі | Тыповае выкарыстанне |
| Графіт | - Лёгкая структура, добрая цеплаправоднасць - Але лёгка падвяргаецца карозіі пад уздзеяннем плазмы, патрабуе абароны пакрыццём SiC | Дэталі вакуумных камер, графітавыя лодкі, латкі для плазменнага травлення і г.д. |
| Кварц (кварц/SiO₂) | - Высокая чысціня, але лёгка падвяргаецца карозіі - Пакрыццё павышае ўстойлівасць да плазменнай эрозіі | Дэталі камеры CVD/PECVD |
| Кераміка (напрыклад, аксід алюмінію Al₂O₃) | - Высокая трываласць і стабільная канструкцыя - Пакрыццё паляпшае ўстойлівасць паверхні да карозіі | Футэрка камеры, арматура і г.д. |
| Металы (напрыклад, малібдэн, тытан і г.д.) | - Добрая цеплаправоднасць, але дрэнная каразійная ўстойлівасць - Пакрыццё паляпшае стабільнасць паверхні | Кампаненты рэакцыі спецыяльнага працэсу |
| Спечаны корпус з карбіду крэмнію (SiC у масе) | - Для асяроддзяў з высокімі патрабаваннямі да складаных умоў працы - Пакрыццё дадаткова паляпшае чысціню і каразійную ўстойлівасць | Высокакласныя кампаненты камер CVD/ALD |
Вырабы з пакрыццём SiC звычайна выкарыстоўваюцца ў наступных паўправадніковых галінах
Пакрыцці з карбіду крэмнію шырока выкарыстоўваюцца ў апрацоўцы паўправаднікоў, галоўным чынам ва ўмовах высокіх тэмператур, высокай карозіі і моцнай плазмы. Ніжэй прыведзены некалькі асноўных працэсаў або абласцей іх прымянення і кароткія апісанні:
| Працэс/сфера падачы заяўкі | Кароткае апісанне | Функцыя пакрыцця з карбіду крэмнію |
| Плазменнае травленне (траўленне) | Выкарыстоўвайце газы на аснове фтору або хлору для пераносу малюнкаў | Супраціўляюць плазменнай эрозіі і прадухіляюць забруджванне часціцамі і металам |
| Хімічнае асаджэнне з паравой фазы (CVD/PECVD) | Асаджэнне аксідных, нітрыдных і іншых тонкіх плёнак | Супраціўляюць уздзеянню каразійных газаў-папярэднікаў і павялічваюць тэрмін службы кампанентаў |
| Камера фізічнага асаджэння з паравой фазы (PVD) | Бамбардзіроўка высокаэнергетычнымі часціцамі падчас працэсу нанясення пакрыцця | Паляпшэнне ўстойлівасці да эрозіі і цеплаўстойлівасці рэакцыйнай камеры |
| Працэс MOCVD (напрыклад, эпітаксіяльны рост SiC) | Працяглая рэакцыя пры высокай тэмпературы і каразійнай атмасферы з высокім утрыманнем вадароду | Падтрымлівайце стабільнасць абсталявання і прадухіляйце забруджванне растучых крышталяў |
| Працэс тэрмічнай апрацоўкі (LPCVD, дыфузія, адпал і г.д.) | Звычайна праводзіцца пры высокай тэмпературы і вакууме/атмасферы | Абараніце графітавыя лодкі і паддоны ад акіслення або карозіі |
| Трымальнік/заціск для пласцін (апрацоўка пласцін) | Графітавая аснова для пераносу або падтрымкі пласцін | Зніжэнне выкіду часціц і прадухіленне кантактнага забруджвання |
| Кампаненты камеры ALD | Паўторна і дакладна кантраляваць адклад атамнага пласта | Пакрыццё падтрымлівае чысціню камеры і мае высокую каразійную ўстойлівасць да папярэднікаў |
Чаму варта выбраць VET Energy?
VET Energy з'яўляецца вядучым вытворцам, інаватарам і лідэрам у Кітаі ў галіне пакрыццяў з карбіду крэмнію, асноўныя прадукты пакрыцця з карбіду крэмнію ўключаюцьносьбіт пласцін з пакрыццём SiC, пакрыццё з карбіду крэмніюэпітаксіяльны сусцэптар, Графітавае кольца з пакрыццём SiC, Паўмесяцовыя дэталі з пакрыццём SiC, Кампазіт з вуглярод-вугляродным пакрыццём SiC, Лодка з пласцін з пакрыццём SiC, Награвальнік з пакрыццём з карбіду крэмніюі г.д. VET Energy імкнецца забяспечыць паўправадніковую прамысловасць найлепшымі тэхналагічнымі і прадуктовымі рашэннямі, а таксама падтрымлівае паслугі па наладжванні. Мы шчыра спадзяемся стаць вашым доўгатэрміновым партнёрам у Кітаі.
Калі ў вас ёсць якія-небудзь пытанні або вам патрэбна дадатковая інфармацыя, калі ласка, не саромейцеся звяртацца да нас.
Whatsapp&Wechat: +86-18069021720
Email: steven@china-vet.com
Час публікацыі: 18 кастрычніка 2024 г.