Цахиурын карбидцахиур, нүүрстөрөгч агуулсан хатуу нэгдэл бөгөөд байгальд нэн ховор эрдэс моиссанит хэлбэрээр олддог. Цахиурын карбидын тоосонцорыг синтерлэх замаар хооронд нь холбож, маш хатуу керамик эдлэл үүсгэдэг бөгөөд энэ нь өндөр бат бөх чанар шаарддаг, ялангуяа хагас дамжуулагч процесст өргөн хэрэглэгддэг.
SiC-ийн физик бүтэц
SiC бүрэх гэж юу вэ?
SiC бүрэх нь өндөр зэврэлт, халуунд тэсвэртэй, маш сайн дулаан дамжуулалттай, элэгдэлд тэсвэртэй цахиурын карбидын бүрээс юм. Энэхүү өндөр цэвэршилттэй SiC бүрээсийг голчлон хагас дамжуулагч болон электроникийн үйлдвэрлэлд өрөмтөг зөөгч, суурь болон халаалтын элементүүдийг идэмхий болон реактив орчиноос хамгаалах зорилгоор ашигладаг. SiC бүрэх нь өндөр вакуум, реактив болон хүчилтөрөгчийн орчинд вакуум зуух, дээж халаахад тохиромжтой.
Өндөр цэвэршилттэй SiC бүрэх гадаргуу
SiC бүрэх процесс гэж юу вэ?
Цахиурын карбидын нимгэн давхаргыг ашиглан субстратын гадаргуу дээр байрлуулнаCVD (Химийн уурын хуримтлал). Тунадасжилтыг ихэвчлэн 1200-1300 ° C температурт гүйцэтгэдэг бөгөөд дулааны стрессийг багасгахын тулд субстратын материалын дулааны тэлэлтийн шинж чанар нь SiC бүрээстэй нийцэж байх ёстой.
CVD SIC бүрэх КИНО БОЛОР БҮТЭЦ
SiC бүрхүүлийн физик шинж чанар нь түүний өндөр температурт тэсвэртэй, хатуулаг, зэврэлтэнд тэсвэртэй, дулаан дамжуулалтаар илэрдэг.
Ердийн физик үзүүлэлтүүд нь ихэвчлэн дараах байдалтай байна.
Хатуу байдал: SiC бүрэх нь ихэвчлэн 2000-2500 HV-ийн хязгаарт Vickers хатуулагтай байдаг бөгөөд энэ нь үйлдвэрлэлийн хэрэглээнд маш өндөр элэгдэл, нөлөөллийн эсэргүүцлийг өгдөг.
Нягт: SiC бүрээс нь ихэвчлэн 3.1-3.2 г/см³ нягттай байдаг. Өндөр нягтрал нь бүрхүүлийн механик бат бөх, бат бөх байдалд хувь нэмэр оруулдаг.
Дулаан дамжилтын илтгэлцүүр: SiC бүрээс нь ихэвчлэн 120-200 Вт/мК (20°С)-ийн хүрээнд өндөр дулаан дамжуулалттай байдаг. Энэ нь өндөр температурт сайн дулаан дамжилтыг өгч, хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн дулааны боловсруулалтын төхөөрөмжид онцгой тохиромжтой болгодог.
Хайлах цэг: цахиурын карбид нь хайлах цэг нь ойролцоогоор 2730 ° C бөгөөд хэт өндөр температурт маш сайн дулааны тогтвортой байдлыг хангадаг.
Дулааны тэлэлтийн коэффициент: SiC бүрээс нь дулааны тэлэлтийн шугаман бага коэффициенттэй (CTE) ихэвчлэн 4.0-4.5 мкм/мК (25-1000 ℃ температурт) байдаг. Энэ нь түүний хэмжээсийн тогтвортой байдал нь том температурын зөрүүтэй харьцуулахад маш сайн гэсэн үг юм.
Зэврэлтэнд тэсвэртэй: SiC бүрээс нь хүчтэй хүчил, шүлт, исэлдүүлэгч орчинд зэврэлтэнд маш тэсвэртэй, ялангуяа хүчтэй хүчил (HF эсвэл HCl гэх мэт) хэрэглэх үед зэврэлтэнд тэсвэртэй байдал нь ердийн металл материалаас хамаагүй давж гардаг.
SiC бүрэх хэрэглээний субстрат
SiC бүрэх нь ихэвчлэн субстратын зэврэлт, өндөр температурт тэсвэртэй, плазмын элэгдэлд тэсвэртэй байдлыг сайжруулахад ашиглагддаг. Хэрэглээний нийтлэг субстратуудад дараахь зүйлс орно.
| Субстратын төрөл | Өргөдөл гаргах шалтгаан | Ердийн хэрэглээ |
| Графит | - Хөнгөн бүтэцтэй, дулаан дамжуулалт сайтай - Гэхдээ плазмаар амархан зэвэрдэг тул SiC бүрэх хамгаалалт шаарддаг | Вакуум камерын эд анги, бал чулуун завь, плазмын сийлбэрийн тавиур гэх мэт. |
| Кварц (Кварц/SiO₂) | - Өндөр цэвэршилттэй боловч амархан зэвэрдэг - Бүрхүүл нь плазмын элэгдэлд тэсвэртэй байдлыг сайжруулдаг | CVD/PECVD камерын эд анги |
| Керамик (хөнгөн цагаан Al₂O₃ гэх мэт) | - Өндөр бат бэх, тогтвортой бүтэцтэй - Бүрхүүл нь гадаргуугийн зэврэлтээс хамгаалах чадварыг сайжруулдаг | Тасалгааны доторлогоо, бэхэлгээ гэх мэт. |
| Металл (молибден, титан гэх мэт) | - Дулаан дамжуулалт сайн боловч зэврэлтэнд тэсвэртэй - Бүрхүүл нь гадаргуугийн тогтвортой байдлыг сайжруулдаг | Тусгай процессын урвалын бүрэлдэхүүн хэсгүүд |
| Цахиурын карбидын шингэрүүлсэн бие (SiC задгай) | - Ажлын нарийн төвөгтэй нөхцөлд өндөр шаардлага тавьдаг орчинд - Бүрхүүл нь цэвэршилт, зэврэлтэнд тэсвэртэй байдлыг сайжруулдаг | Дээд зэрэглэлийн CVD/ALD камерын бүрэлдэхүүн хэсгүүд |
SiC бүрсэн бүтээгдэхүүнийг дараах хагас дамжуулагч хэсгүүдэд ихэвчлэн ашигладаг
SiC бүрэх бүтээгдэхүүнийг хагас дамжуулагчийн боловсруулалтад ихэвчлэн өндөр температур, өндөр зэврэлт, хүчтэй плазмын орчинд өргөн ашигладаг. Дараах нь хэрэглээний хэд хэдэн үндсэн процесс эсвэл талбарууд болон товч тайлбарууд юм.
| Өргөдөл гаргах үйл явц/талбар | Товч тайлбар | Цахиурын карбидын бүрэх функц |
| Плазмын сийлбэр (сийлбэр) | Загвар дамжуулахын тулд фтор эсвэл хлорт суурилсан хий ашиглана | Плазмын элэгдлийг эсэргүүцэж, тоосонцор болон металлын бохирдлоос сэргийлнэ |
| Химийн уурын хуримтлал (CVD/PECVD) | Исэл, нитрид болон бусад нимгэн хальсыг хуримтлуулах | Идэмхий урьдал хийг эсэргүүцэж, эд ангиудын ашиглалтын хугацааг нэмэгдүүлнэ |
| Физик уурын хуримтлуулах (PVD) камер | Бүрэх явцад өндөр энергитэй бөөмийн бөмбөгдөлт | Урвалын камерын элэгдлийн эсэргүүцэл ба халуунд тэсвэртэй байдлыг сайжруулах |
| MOCVD процесс (SiC эпитаксиаль өсөлт гэх мэт) | Өндөр температур, өндөр устөрөгчийн идэмхий уур амьсгалд удаан хугацааны урвал | Тоног төхөөрөмжийн тогтвортой байдлыг хангах, өсөн нэмэгдэж буй талстыг бохирдуулахаас сэргийлнэ |
| Дулааны боловсруулалтын үйл явц (LPCVD, тархалт, зөөлрүүлэх гэх мэт) | Ихэвчлэн өндөр температур, вакуум/агаар мандалд хийгддэг | Бал чулуун завь, тавиурыг исэлдэлт, зэврэлтээс хамгаална |
| Вафель зөөгч/чак (Ваффер зөөгч) | Өрөөнд шилжүүлэх эсвэл дэмжих зориулалттай графит суурь | Бөөмийн ялгаралтыг бууруулж, контактын бохирдлоос сэргийлнэ |
| ALD танхимын бүрэлдэхүүн хэсгүүд | Атомын давхаргын хуримтлалыг дахин дахин, нарийвчлалтай хянах | Бүрхүүл нь танхимыг цэвэрхэн байлгаж, урьдал бодисуудад зэврэлтэнд тэсвэртэй байдаг |
Яагаад VET Energy сонгох вэ?
VET Energy нь Хятад дахь SiC бүрэх бүтээгдэхүүний тэргүүлэгч үйлдвэрлэгч, шинийг санаачлагч, тэргүүлэгч бөгөөд SiC бүрэх гол бүтээгдэхүүнүүд орно.SiC бүрээстэй вафель зөөгч, SiC бүрсэнэпитаксиаль мэдрэгч, SiC бүрсэн бал чулуун цагираг, SiC бүрээстэй хагас сарны хэсгүүд, SiC бүрсэн нүүрстөрөгч-нүүрстөрөгчийн нийлмэл, SiC бүрсэн вафель завь, SiC бүрсэн халаагуур, гэх мэт VET Energy нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийг хамгийн сүүлийн үеийн технологи, бүтээгдэхүүний шийдлээр хангах үүрэг хүлээдэг бөгөөд хувийн тохиргооны үйлчилгээг дэмждэг. Бид таны Хятад дахь урт хугацааны түнш байхыг чин сэтгэлээсээ хүсч байна.
Хэрэв танд ямар нэгэн асуулт байвал эсвэл нэмэлт мэдээлэл авах шаардлагатай бол бидэнтэй холбоо барина уу.
Whatsapp&Wechat:+86-18069021720
Email: steven@china-vet.com
Шуудангийн цаг: 2024 оны 10-р сарын 18