Silikoni Carbidejẹ agbo ogun lile ti o ni ohun alumọni ati erogba, ati pe a rii ni iseda bi moissanite nkan ti o ṣọwọn toje pupọ. Awọn patikulu carbide silikoni le jẹ asopọ papọ nipasẹ sintering lati ṣe awọn ohun elo amọ lile pupọ, eyiti o lo pupọ ni awọn ohun elo ti o nilo agbara giga, ni pataki ni ilana semikondokito.
Ilana ti ara ti SiC
Kini SiC Coating?
Iboju SiC jẹ ipon, wiwọ ohun alumọni ohun alumọni carbide ti a wọ pẹlu ipata giga ati resistance ooru ati adaṣe igbona to dara julọ. Iboju SiC mimọ-giga yii ni lilo akọkọ ni semikondokito ati awọn ile-iṣẹ itanna lati daabobo awọn gbigbe wafer, awọn ipilẹ ati awọn eroja alapapo lati ipata ati awọn agbegbe ifaseyin. Iboju SiC tun dara fun awọn ileru igbale ati alapapo ayẹwo ni igbale giga, ifaseyin ati awọn agbegbe atẹgun.
Ga ti nw SiC bo dada
Kini ilana ibora SiC?
A tinrin Layer ti ohun alumọni carbide ti wa ni nile lori dada ti awọn sobusitireti liloCVD (Isọsọ Ọru Omi Kemikali). Ifipamọ nigbagbogbo ni a ṣe ni awọn iwọn otutu ti 1200-1300 ° C ati ihuwasi imugboroja gbona ti ohun elo sobusitireti yẹ ki o wa ni ibamu pẹlu ibora SiC lati dinku aapọn gbona.
CVD SIC Coating FILM CRYSTAL structture
Awọn ohun-ini ti ara ti ibora SiC jẹ afihan ni akọkọ ninu resistance otutu otutu rẹ, líle, resistance ipata ati adaṣe igbona.
Awọn paramita ti ara deede jẹ igbagbogbo bi atẹle:
Lile: SiC ti a bo ojo melo ni a Vickers líle ni ibiti o ti 2000-2500 HV, eyi ti yoo fun wọn lalailopinpin giga yiya ati ikolu resistance ni ise ohun elo.
iwuwo: Awọn ideri SiC ni igbagbogbo ni iwuwo ti 3.1-3.2 g/cm³. Iwọn iwuwo giga ṣe alabapin si agbara ẹrọ ati agbara ti a bo.
Gbona elekitiriki: Awọn aṣọ wiwọ SiC ni imudara igbona giga, ni igbagbogbo ni iwọn 120-200 W / mK (ni 20 ° C). Eyi n fun ni adaṣe igbona ti o dara ni awọn agbegbe iwọn otutu giga ati jẹ ki o dara ni pataki fun ohun elo itọju ooru ni ile-iṣẹ semikondokito.
Ojuami yo: ohun alumọni carbide ni aaye yo ti isunmọ 2730 ° C ati pe o ni iduroṣinṣin igbona to dara julọ ni awọn iwọn otutu to gaju.
olùsọdipúpọ ti Gbona Imugboroosi: Awọn aṣọ wiwu SiC ni alasọdipalẹ laini kekere ti imugboroja igbona (CTE), ni igbagbogbo ni iwọn 4.0-4.5 µm/mK (ni 25-1000℃). Eyi tumọ si pe iduroṣinṣin iwọn rẹ dara julọ lori awọn iyatọ iwọn otutu nla.
Idaabobo ipata: Awọn aṣọ wiwu SiC jẹ sooro pupọ si ipata ninu acid ti o lagbara, alkali ati awọn agbegbe oxidizing, paapaa nigba lilo awọn acids ti o lagbara (bii HF tabi HCl), ipata ipata wọn ti kọja ti awọn ohun elo irin ti aṣa.
SiC bo ohun elo sobusitireti
Ti a bo SiC nigbagbogbo ni a lo lati mu ilọsiwaju ipata, resistance otutu otutu, ati resistance ogbara pilasima ti sobusitireti. Awọn sobusitireti ohun elo ti o wọpọ pẹlu atẹle naa:
| Sobusitireti iru | Idi elo | Aṣoju lilo |
| Lẹẹdi | - Imọlẹ ina, iba ina elekitiriki ti o dara - Ṣugbọn ni irọrun ibajẹ nipasẹ pilasima, nilo aabo ibora SiC | Awọn ẹya iyẹwu igbale, awọn ọkọ oju omi graphite, awọn atẹ etching pilasima, ati bẹbẹ lọ. |
| Quartz (kuotisi/SiO₂) | - Ga ti nw sugbon awọn iṣọrọ ba - Aso iyi pilasima ogbara resistance | CVD/PECVD iyẹwu awọn ẹya ara |
| Awọn ohun elo seramiki (bii alumina Al₂O₃) | - Agbara giga ati eto iduroṣinṣin - Aso se dada ipata resistance | Iyẹwu iyẹwu, awọn ohun elo, ati bẹbẹ lọ. |
| Awọn irin (bii molybdenum, titanium, ati bẹbẹ lọ) | - Imudara igbona ti o dara ṣugbọn ailagbara ipata ti ko dara - Aso se dada iduroṣinṣin | Pataki ilana lenu irinše |
| Silicon carbide sintered body (SiC olopobobo) | - Fun awọn agbegbe pẹlu awọn ibeere giga fun awọn ipo iṣẹ eka - Ibora siwaju sii ilọsiwaju mimọ ati ipata resistance | Ga-opin CVD/ALD iyẹwu irinše |
Awọn ọja ti a bo SiC jẹ lilo nigbagbogbo ni awọn agbegbe semikondokito atẹle
Awọn ọja ti a bo SiC ni lilo pupọ ni iṣelọpọ semikondokito, nipataki ni iwọn otutu giga, ipata giga ati awọn agbegbe pilasima ti o lagbara. Awọn atẹle jẹ ọpọlọpọ awọn ilana ohun elo pataki tabi awọn aaye ati awọn apejuwe kukuru:
| Ilana ohun elo / aaye | Apejuwe kukuru | Silicon Carbide Coating iṣẹ |
| Pilasima etching (Etching) | Lo fluorine tabi awọn gaasi orisun chlorine fun gbigbe apẹrẹ | Koju ogbara pilasima ati ṣe idiwọ patiku ati idoti irin |
| Iṣagbejade orule kemikali (CVD/PECVD) | Ipilẹ oxide, nitride ati awọn fiimu tinrin miiran | Koju awọn gaasi iṣaju ibajẹ ati mu igbesi aye paati pọ si |
| Iyẹwu oru ti ara (PVD). | Ga-agbara patiku bombardment nigba ti a bo ilana | Mu ogbara resistance ati ooru resistance ti awọn lenu iyẹwu |
| Ilana MOCVD (gẹgẹbi idagbasoke SiC epitaxial) | Idahun igba pipẹ labẹ iwọn otutu giga ati oju-aye ipata hydrogen giga | Ṣe itọju iduroṣinṣin ohun elo ati ṣe idiwọ ibajẹ ti awọn kirisita ti ndagba |
| Ilana itọju ooru (LPCVD, itankale, annealing, ati bẹbẹ lọ) | Nigbagbogbo a ṣe ni iwọn otutu giga ati igbale / aaye | Dabobo awọn ọkọ oju omi graphite ati awọn atẹ lati ifoyina tabi ipata |
| Ti ngbe wafer/chuck (Imudani Wafer) | Ipilẹ ayaworan fun gbigbe wafer tabi atilẹyin | Din sisọ patiku silẹ ki o yago fun ibajẹ olubasọrọ |
| ALD iyẹwu irinše | Leralera ati deede ṣakoso ifisilẹ Layer atomiki | Awọn ti a bo ntọju awọn iyẹwu mọ ati ki o ni ga ipata resistance si awọn awasiwaju |
Kini idi ti o yan VET Energy?
Agbara VET jẹ olupilẹṣẹ oludari, olupilẹṣẹ ati oludari ti awọn ọja ibora SiC ni Ilu China, awọn ọja ibora SiC akọkọ pẹluwafer ti ngbe pẹlu SiC ti a bo, SiC ti a boalailagbara epitaxial, SiC ti a bo lẹẹdi oruka, Awọn ẹya idaji oṣupa pẹlu ibora SiC, Erogba-erogba apapo SiC ti a bo, SiC ti a bo wafer ọkọ, SiC ti a bo ti ngbona, ati bẹbẹ lọ VET Energy ti ni ileri lati pese ile-iṣẹ semikondokito pẹlu imọ-ẹrọ to gaju ati awọn solusan ọja, ati atilẹyin awọn iṣẹ isọdi. A n reti tọkàntọkàn lati jẹ alabaṣepọ igba pipẹ rẹ ni Ilu China.
Ti o ba ni awọn ibeere eyikeyi tabi nilo awọn alaye afikun, jọwọ ma ṣe ṣiyemeji lati kan si wa.
Whatsapp&Wechat:+86-18069021720
Email: steven@china-vet.com
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹwa-18-2024