ಸಿಕ್ ಲೇಪನ ಎಂದರೇನು? - ವೆಟ್ ಎನರ್ಜಿ

ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ಸಿಲಿಕಾನ್ ಮತ್ತು ಇಂಗಾಲವನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುವ ಗಟ್ಟಿಯಾದ ಸಂಯುಕ್ತವಾಗಿದ್ದು, ಪ್ರಕೃತಿಯಲ್ಲಿ ಅತ್ಯಂತ ಅಪರೂಪದ ಖನಿಜ ಮೊಯಿಸನೈಟ್ ಆಗಿ ಕಂಡುಬರುತ್ತದೆ. ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಕಣಗಳನ್ನು ಸಿಂಟರ್ ಮಾಡುವ ಮೂಲಕ ಒಟ್ಟಿಗೆ ಬಂಧಿಸಿ ತುಂಬಾ ಗಟ್ಟಿಯಾದ ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್ ಅನ್ನು ರೂಪಿಸಬಹುದು, ಇವುಗಳನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿನ ಬಾಳಿಕೆ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಅರೆವಾಹಕ ಮೆರವಣಿಗೆಯಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

SiC ಯ ಭೌತಿಕ ರಚನೆ

SiC ಲೇಪನ ಎಂದರೇನು?

SiC ಲೇಪನವು ಹೆಚ್ಚಿನ ತುಕ್ಕು ಮತ್ತು ಶಾಖ ನಿರೋಧಕತೆ ಮತ್ತು ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ದಟ್ಟವಾದ, ಉಡುಗೆ-ನಿರೋಧಕ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನವಾಗಿದೆ. ಈ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ SiC ಲೇಪನವನ್ನು ಪ್ರಾಥಮಿಕವಾಗಿ ಅರೆವಾಹಕ ಮತ್ತು ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ ಉದ್ಯಮಗಳಲ್ಲಿ ವೇಫರ್ ವಾಹಕಗಳು, ಬೇಸ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ತಾಪನ ಅಂಶಗಳನ್ನು ನಾಶಕಾರಿ ಮತ್ತು ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಪರಿಸರಗಳಿಂದ ರಕ್ಷಿಸಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. SiC ಲೇಪನವು ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿರ್ವಾತ, ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಮತ್ತು ಆಮ್ಲಜನಕ ಪರಿಸರಗಳಲ್ಲಿ ನಿರ್ವಾತ ಕುಲುಮೆಗಳು ಮತ್ತು ಮಾದರಿ ತಾಪನಕ್ಕೂ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.

ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ SiC ಲೇಪನ ಮೇಲ್ಮೈ

SiC ಲೇಪನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಎಂದರೇನು?

ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್‌ನ ತೆಳುವಾದ ಪದರವನ್ನು ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಸಂಗ್ರಹಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದನ್ನು ಬಳಸಿಸಿವಿಡಿ (ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ)ಶೇಖರಣೆಯನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 1200-1300°C ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ನಡೆಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ಒತ್ತಡವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ತಲಾಧಾರದ ವಸ್ತುವಿನ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ನಡವಳಿಕೆಯು SiC ಲೇಪನದೊಂದಿಗೆ ಹೊಂದಿಕೆಯಾಗಬೇಕು.

CVD SIC ಲೇಪನ ಫಿಲ್ಮ್ ಸ್ಫಟಿಕ ರಚನೆ

SiC ಲೇಪನದ ಭೌತಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಅದರ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಪ್ರತಿರೋಧ, ಗಡಸುತನ, ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆ ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆಯಲ್ಲಿ ಪ್ರತಿಫಲಿಸುತ್ತದೆ.

ವಿಶಿಷ್ಟ ಭೌತಿಕ ನಿಯತಾಂಕಗಳು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಈ ಕೆಳಗಿನಂತಿರುತ್ತವೆ:

ಗಡಸುತನ: SiC ಲೇಪನವು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 2000-2500 HV ವ್ಯಾಪ್ತಿಯಲ್ಲಿ ವಿಕರ್ಸ್ ಗಡಸುತನವನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತದೆ, ಇದು ಕೈಗಾರಿಕಾ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ ಅವುಗಳಿಗೆ ಅತ್ಯಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಡುಗೆ ಮತ್ತು ಪ್ರಭಾವ ನಿರೋಧಕತೆಯನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ.

ಸಾಂದ್ರತೆ: SiC ಲೇಪನಗಳು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 3.1-3.2 g/cm³ ಸಾಂದ್ರತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತವೆ. ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಯು ಲೇಪನದ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಶಕ್ತಿ ಮತ್ತು ಬಾಳಿಕೆಗೆ ಕೊಡುಗೆ ನೀಡುತ್ತದೆ.

ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ: SiC ಲೇಪನಗಳು ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತವೆ, ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 120-200 W/mK (20°C ನಲ್ಲಿ) ವ್ಯಾಪ್ತಿಯಲ್ಲಿರುತ್ತವೆ. ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಉತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆಯನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ಶಾಖ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಉಪಕರಣಗಳಿಗೆ ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.

ಕರಗುವ ಬಿಂದು: ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸರಿಸುಮಾರು 2730°C ಕರಗುವ ಬಿಂದುವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ ಮತ್ತು ತೀವ್ರ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ.

ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆಯ ಗುಣಾಂಕ: SiC ಲೇಪನಗಳು ಕಡಿಮೆ ರೇಖೀಯ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಗುಣಾಂಕವನ್ನು (CTE) ಹೊಂದಿರುತ್ತವೆ, ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 4.0-4.5 µm/mK ವ್ಯಾಪ್ತಿಯಲ್ಲಿ (25-1000℃ ನಲ್ಲಿ). ಇದರರ್ಥ ದೊಡ್ಡ ತಾಪಮಾನ ವ್ಯತ್ಯಾಸಗಳ ಮೇಲೆ ಅದರ ಆಯಾಮದ ಸ್ಥಿರತೆ ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾಗಿರುತ್ತದೆ.

ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆ: SiC ಲೇಪನಗಳು ಬಲವಾದ ಆಮ್ಲ, ಕ್ಷಾರ ಮತ್ತು ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ತುಕ್ಕುಗೆ ಅತ್ಯಂತ ನಿರೋಧಕವಾಗಿರುತ್ತವೆ, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಬಲವಾದ ಆಮ್ಲಗಳನ್ನು (HF ಅಥವಾ HCl ನಂತಹ) ಬಳಸುವಾಗ, ಅವುಗಳ ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆಯು ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ಲೋಹದ ವಸ್ತುಗಳಿಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚು.

SiC ಲೇಪನ ಅನ್ವಯಿಕ ತಲಾಧಾರ

ತಲಾಧಾರದ ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಪ್ರತಿರೋಧ ಮತ್ತು ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಸವೆತ ನಿರೋಧಕತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಲು SiC ಲೇಪನವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಸಾಮಾನ್ಯ ಅನ್ವಯಿಕ ತಲಾಧಾರಗಳು ಈ ಕೆಳಗಿನವುಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿವೆ:

SiC ಲೇಪಿತ ಉತ್ಪನ್ನಗಳನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಈ ಕೆಳಗಿನ ಅರೆವಾಹಕ ಪ್ರದೇಶಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ:

SiC ಲೇಪನ ಉತ್ಪನ್ನಗಳನ್ನು ಅರೆವಾಹಕ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ, ಹೆಚ್ಚಿನ ತುಕ್ಕು ಮತ್ತು ಬಲವಾದ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ.ಕೆಳಗಿನವುಗಳು ಹಲವಾರು ಪ್ರಮುಖ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳು ಅಥವಾ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳು ಮತ್ತು ಸಂಕ್ಷಿಪ್ತ ವಿವರಣೆಗಳಾಗಿವೆ:

VET ಎನರ್ಜಿಯನ್ನು ಏಕೆ ಆರಿಸಬೇಕು?

VET ಎನರ್ಜಿ ಚೀನಾದಲ್ಲಿ SiC ಲೇಪನ ಉತ್ಪನ್ನಗಳ ಪ್ರಮುಖ ತಯಾರಕ, ನಾವೀನ್ಯಕಾರ ಮತ್ತು ನಾಯಕನಾಗಿದ್ದು, ಪ್ರಮುಖ SiC ಲೇಪನ ಉತ್ಪನ್ನಗಳಲ್ಲಿ ಇವು ಸೇರಿವೆSiC ಲೇಪನ ಹೊಂದಿರುವ ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್, SiC ಲೇಪಿತಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಸಸೆಪ್ಟರ್, SiC ಲೇಪಿತ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಉಂಗುರ, SiC ಲೇಪನ ಹೊಂದಿರುವ ಅರ್ಧಚಂದ್ರಾಕಾರದ ಭಾಗಗಳು, SiC ಲೇಪಿತ ಕಾರ್ಬನ್-ಕಾರ್ಬನ್ ಸಂಯುಕ್ತ, SiC ಲೇಪಿತ ವೇಫರ್ ದೋಣಿ, SiC ಲೇಪಿತ ಹೀಟರ್, ಇತ್ಯಾದಿ. VET ಎನರ್ಜಿ ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮಕ್ಕೆ ಅಂತಿಮ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ ಮತ್ತು ಉತ್ಪನ್ನ ಪರಿಹಾರಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸಲು ಬದ್ಧವಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಗ್ರಾಹಕೀಕರಣ ಸೇವೆಗಳನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ. ಚೀನಾದಲ್ಲಿ ನಿಮ್ಮ ದೀರ್ಘಾವಧಿಯ ಪಾಲುದಾರರಾಗಲು ನಾವು ಪ್ರಾಮಾಣಿಕವಾಗಿ ಎದುರು ನೋಡುತ್ತಿದ್ದೇವೆ.

ನಿಮಗೆ ಯಾವುದೇ ವಿಚಾರಣೆಗಳಿದ್ದರೆ ಅಥವಾ ಹೆಚ್ಚುವರಿ ವಿವರಗಳ ಅಗತ್ಯವಿದ್ದರೆ, ದಯವಿಟ್ಟು ನಮ್ಮನ್ನು ಸಂಪರ್ಕಿಸಲು ಹಿಂಜರಿಯಬೇಡಿ.

Whatsapp&Wechat:+86-18069021720

Email: steven@china-vet.com