Sic örtük nədir? – VET ENERGY

Silikon Karbidsilisium və karbon tərkibli sərt bir birləşmədir və təbiətdə olduqca nadir mineral moissanit kimi tapılır. Silisium karbid hissəcikləri, xüsusilə yarımkeçirici emalında yüksək davamlılıq tələb edən tətbiqlərdə geniş istifadə olunan çox sərt keramika əmələ gətirmək üçün sinterləşmə yolu ilə birləşdirilə bilər.

SiC-nin fiziki quruluşu

SiC örtüyü nədir?

SiC örtüyü, yüksək korroziyaya və istiliyə davamlılığa və əla istilik keçiriciliyinə malik sıx, aşınmaya davamlı silikon karbid örtüyüdür. Bu yüksək təmizlikli SiC örtüyü əsasən yarımkeçirici və elektronika sənayesində lövhə daşıyıcılarını, əsasları və qızdırıcı elementləri korroziyaya və reaktiv mühitlərdən qorumaq üçün istifadə olunur. SiC örtüyü həmçinin vakuum sobaları və yüksək vakuum, reaktiv və oksigen mühitlərində nümunə qızdırılması üçün də uyğundur.

Yüksək təmizlikli SiC örtük səthi

SiC örtük prosesi nədir?

Substratın səthinə nazik bir silikon karbid təbəqəsi tətbiq olunurCVD (Kimyəvi Buxar Çökməsi)Çökdürmə adətən 1200-1300°C temperaturda aparılır və istilik gərginliyini minimuma endirmək üçün substrat materialının istilik genişlənmə davranışı SiC örtüyü ilə uyğun olmalıdır.

CVD SIC FİLM KRİSTAL STRUKTURU

CVD SIC Örtüklü Film Kristal Quruluşu

SiC örtüyünün fiziki xüsusiyyətləri əsasən onun yüksək temperatur müqaviməti, sərtliyi, korroziyaya davamlılığı və istilik keçiriciliyində əks olunur.

Tipik fiziki parametrlər adətən aşağıdakı kimidir:

SərtlikSiC örtükləri adətən 2000-2500 HV aralığında Vickers sərtliyinə malikdir ki, bu da onlara sənaye tətbiqlərində son dərəcə yüksək aşınma və zərbəyə davamlılıq verir.

SıxlıqSiC örtüklərinin sıxlığı adətən 3,1-3,2 q/sm³ təşkil edir. Yüksək sıxlıq örtüyün mexaniki möhkəmliyinə və davamlılığına kömək edir.

İstilik keçiriciliyiSiC örtükləri yüksək istilik keçiriciliyinə malikdir, adətən 120-200 Vt/mK (20°C-də) arasında dəyişir. Bu, ona yüksək temperaturlu mühitlərdə yaxşı istilik keçiriciliyi verir və xüsusilə yarımkeçirici sənayesində istilik emalı avadanlıqları üçün əlverişli edir.

Ərimə nöqtəsi: silisium karbidi təxminən 2730°C ərimə nöqtəsinə malikdir və həddindən artıq temperaturda əla istilik stabilliyinə malikdir.

İstilik Genişlənməsi ƏmsalıSiC örtükləri aşağı xətti istilik genişlənmə əmsalına (CTE) malikdir, adətən 4.0-4.5 µm/mK (25-1000℃ temperaturda) arasında dəyişir. Bu o deməkdir ki, onun ölçülü stabilliyi böyük temperatur fərqləri zamanı əladır.

Korroziyaya davamlılıqSiC örtükləri, xüsusilə güclü turşular (məsələn, HF və ya HCl) istifadə edildikdə, güclü turşu, qələvi və oksidləşdirici mühitlərdə korroziyaya son dərəcə davamlıdır və onların korroziyaya davamlılığı ənənəvi metal materialların korroziyaya davamlılığından xeyli yüksəkdir.

SiC örtük tətbiqi substratı

SiC örtüyü tez-tez substratın korroziyaya davamlılığını, yüksək temperatura davamlılığını və plazma eroziyasına davamlılığını artırmaq üçün istifadə olunur. Ümumi tətbiq olunan substratlara aşağıdakılar daxildir:

Substrat növü	Ərizə səbəbi	Tipik istifadə
Qrafit	- Yüngül quruluş, yaxşı istilik keçiriciliyi - Lakin plazma ilə asanlıqla korroziyaya uğrayır, SiC örtük qorunması tələb edir	Vakuum kamerası hissələri, qrafit qayıqları, plazma aşındırma qabları və s.
Kvars (Kvars/SiO₂)	- Yüksək təmizlik, lakin asanlıqla korroziyaya uğrayır - Örtük plazma eroziyasına qarşı müqaviməti artırır	CVD/PECVD kamera hissələri
Keramika (məsələn, alüminium oksidi Al₂O₃)	- Yüksək möhkəmlik və sabit struktur - Kaplama səthin korroziyaya davamlılığını artırır	Kamera astarları, qurğular və s.
Metallar (məsələn, molibden, titan və s.)	- Yaxşı istilik keçiriciliyi, lakin zəif korroziyaya davamlılıq - Kaplama səthin sabitliyini artırır	Xüsusi proses reaksiya komponentləri
Silikon karbid sinterləşdirilmiş gövdə (SiC toplu)	- Mürəkkəb iş şəraiti üçün yüksək tələblərə malik mühitlər üçün - Örtük təmizliyi və korroziyaya davamlılığı daha da artırır	Yüksək səviyyəli CVD/ALD kamera komponentləri

SiC örtüklü məhsullar aşağıdakı yarımkeçirici sahələrdə geniş istifadə olunur

SiC örtük məhsulları, əsasən yüksək temperatur, yüksək korroziya və güclü plazma mühitlərində yarımkeçirici emalda geniş istifadə olunur. Aşağıda bir neçə əsas tətbiq prosesi və ya sahələri və qısa təsvirləri verilmişdir:

Ərizə prosesi/sahəsi	Qısa təsvir	Silikon Karbid Örtük funksiyası
Plazma aşındırma (Ovma)	Nümunə ötürülməsi üçün flüor və ya xlor əsaslı qazlardan istifadə edin	Plazma eroziyasına qarşı durun və hissəciklərin və metal çirklənməsinin qarşısını alın
Kimyəvi buxar çöküntüsü (CVD/PECVD)	Oksid, nitrid və digər nazik təbəqələrin çökməsi	Korroziyaya uğrayan prekursor qazlarına qarşı müqavimət göstərin və komponentin ömrünü artırın
Fiziki buxar çökmə kamerası (PVD)	Örtük prosesi zamanı yüksək enerjili hissəcik bombardmanı	Reaksiya kamerasının eroziyaya davamlılığını və istilik müqavimətini artırın
MOCVD prosesi (məsələn, SiC epitaksial böyüməsi)	Yüksək temperatur və yüksək hidrogen korroziyalı atmosfer altında uzunmüddətli reaksiya	Avadanlıqların sabitliyini qoruyun və böyüyən kristalların çirklənməsinin qarşısını alın
İstilik emalı prosesi (LPCVD, diffuziya, tavlama və s.)	Adətən yüksək temperaturda və vakuumda/atmosferdə aparılır	Qrafit qayıqlarını və qablarını oksidləşmə və ya korroziyadan qoruyun
Lövhə daşıyıcısı/patron (Lövhə daşınması)	Plitənin ötürülməsi və ya dayağı üçün qrafit bazası	Hissəciklərin tökülməsini azaldın və təmas çirklənməsinin qarşısını alın
ALD kamera komponentləri	Atom təbəqəsinin çökməsini dəfələrlə və dəqiq şəkildə idarə edin	Örtük kameranı təmiz saxlayır və prekursorlara qarşı yüksək korroziyaya davamlılığa malikdir

Niyə VET Energy-ni seçməlisiniz?

VET Energy, Çində SiC örtük məhsullarının aparıcı istehsalçısı, novatoru və lideridir, əsas SiC örtük məhsullarına daxildirSiC örtüklü lövhə daşıyıcısı, SiC örtüklüepitaksial susseptor, SiC örtüklü qrafit halqası, SiC örtüklü yarım ay hissələr, SiC örtüklü karbon-karbon kompozit, SiC örtüklü vafli qayıq, SiC örtüklü qızdırıcıvə s. VET Energy yarımkeçirici sənayesini ən son texnologiya və məhsul həlləri ilə təmin etməyə sadiqdir və fərdiləşdirmə xidmətlərini dəstəkləyir. Çində sizin uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səmimi qəlbdən gözləyirik.