Kas ir sic pārklājums? – VET ENERGY

Silīcija karbīdsir ciets savienojums, kas satur silīciju un oglekli, un dabā tas ir sastopams kā ārkārtīgi rets minerāls moissanīts. Silīcija karbīda daļiņas var savienot kopā ar sintēšanu, veidojot ļoti cietu keramiku, ko plaši izmanto lietojumos, kuriem nepieciešama augsta izturība, īpaši pusvadītāju apstrādē.

SiC fizikālā struktūra

Kas ir SiC pārklājums?

SiC pārklājums ir blīvs, nodilumizturīgs silīcija karbīda pārklājums ar augstu korozijas un karstumizturību, kā arī lielisku siltumvadītspēju. Šis augstas tīrības pakāpes SiC pārklājums galvenokārt tiek izmantots pusvadītāju un elektronikas rūpniecībā, lai aizsargātu plākšņu nesējus, pamatnes un sildelementus no kodīgas un reaģējošas vides. SiC pārklājums ir piemērots arī vakuuma krāsnīm un paraugu sildīšanai augsta vakuuma, reaktīvā un skābekļa vidē.

Augstas tīrības pakāpes SiC pārklājuma virsma

Kāds ir SiC pārklāšanas process?

Uz pamatnes virsmas tiek uzklāts plāns silīcija karbīda slānis, izmantojotCVD (ķīmiskā tvaiku pārklāšana)Uzklāšanu parasti veic 1200–1300 °C temperatūrā, un substrāta materiāla termiskās izplešanās īpašībām jābūt saderīgām ar SiC pārklājumu, lai samazinātu termisko spriegumu.

CVD SIC pārklājuma plēves kristāla struktūra

SiC pārklājuma fizikālās īpašības galvenokārt atspoguļojas tā augstajā temperatūras izturībā, cietībā, korozijas izturībā un siltumvadītspējā.

Tipiski fizikālie parametri parasti ir šādi:

CietībaSiC pārklājuma Vikersa cietība parasti ir 2000–2500 HV diapazonā, kas tiem nodrošina ārkārtīgi augstu nodilumizturību un triecienizturību rūpnieciskos lietojumos.

BlīvumsSiC pārklājumu blīvums parasti ir 3,1–3,2 g/cm³. Augstais blīvums veicina pārklājuma mehānisko izturību un ilgmūžību.

SiltumvadītspējaSiC pārklājumiem ir augsta siltumvadītspēja, parasti 120–200 W/mK diapazonā (pie 20 °C). Tas nodrošina labu siltumvadītspēju augstas temperatūras vidē un padara tos īpaši piemērotus termiskās apstrādes iekārtām pusvadītāju rūpniecībā.

Kušanas temperatūraSilīcija karbīda kušanas temperatūra ir aptuveni 2730 °C, un tam ir lieliska termiskā stabilitāte ekstremālās temperatūrās.

Termiskās izplešanās koeficientsSiC pārklājumiem ir zems lineārais termiskās izplešanās koeficients (CTE), parasti 4,0–4,5 µm/mK diapazonā (25–1000 ℃ temperatūrā). Tas nozīmē, ka to izmēru stabilitāte ir lieliska lielās temperatūras atšķirībās.

Korozijas izturībaSiC pārklājumi ir ārkārtīgi izturīgi pret koroziju stiprā skābē, sārmā un oksidējošā vidē, īpaši, ja tiek izmantotas stipras skābes (piemēram, HF vai HCl), to korozijas izturība ievērojami pārsniedz parasto metāla materiālu izturību.

SiC pārklājuma uzklāšanas substrāts

SiC pārklājumu bieži izmanto, lai uzlabotu substrāta izturību pret koroziju, izturību pret augstu temperatūru un plazmas eroziju. Bieži lietotie substrāti ir šādi:

Ar SiC pārklātus izstrādājumus parasti izmanto šādās pusvadītāju jomās

SiC pārklājuma produkti tiek plaši izmantoti pusvadītāju apstrādē, galvenokārt augstas temperatūras, augstas korozijas un spēcīgas plazmas vidēs. Tālāk ir norādīti vairāki galvenie pielietojuma procesi vai jomas un īsi apraksti:

Kāpēc izvēlēties VET Energy?

VET Energy ir vadošais SiC pārklājumu produktu ražotājs, novators un līderis Ķīnā, galvenie SiC pārklājumu produkti ietverVafeļu nesējs ar SiC pārklājumu, SiC pārklājumsepitaksiālais susceptors, SiC pārklāts grafīta gredzens, Pusmēness formas detaļas ar SiC pārklājumu, SiC pārklāts oglekļa-oglekļa kompozīts, SiC pārklāta vafeļu laiva, SiC pārklāts sildītājsu. c. VET Energy ir apņēmies nodrošināt pusvadītāju nozari ar vislabākajām tehnoloģijām un produktu risinājumiem, kā arī atbalsta pielāgošanas pakalpojumus. Mēs patiesi ceram kļūt par jūsu ilgtermiņa partneri Ķīnā.

Ja jums ir kādi jautājumi vai nepieciešama papildu informācija, lūdzu, nevilcinieties sazināties ar mums.

Whatsapp&Wechat: +86-18069021720

Email: steven@china-vet.com