Sic mipako ni nini? – VET NISHATI

Silicon Carbideni kiwanja kigumu kilicho na silicon na kaboni, na hupatikana katika asili kama moissanite ya madini adimu sana. Chembe za silicon carbide zinaweza kuunganishwa pamoja kwa kuchomwa na kutengeneza keramik ngumu sana, ambayo hutumiwa sana katika programu zinazohitaji uimara wa juu, hasa katika maandamano ya semiconductor.

Muundo wa kimwili wa SiC

Mipako ya SiC ni nini?

Mipako ya SiC ni mipako mnene, isiyoweza kuvaa ya silicon iliyo na kutu na upinzani wa joto na upitishaji bora wa mafuta. Mipako hii ya ubora wa juu ya SiC hutumiwa hasa katika tasnia ya semiconductor na vifaa vya elektroniki ili kulinda vibebea vya kaki, besi na vipengee vya kupokanzwa kutokana na mazingira babuzi na tendaji. Mipako ya SiC pia inafaa kwa tanuu za utupu na joto la sampuli katika mazingira ya utupu wa juu, tendaji na oksijeni.

Usafi wa juu wa uso wa mipako ya SiC

Mchakato wa mipako ya SiC ni nini?

Safu nyembamba ya carbudi ya silicon imewekwa kwenye uso wa substrate kwa kutumiaCVD (Uwekaji wa Mvuke wa Kemikali). Uwekaji kawaida hufanywa kwa joto la 1200-1300 ° C na tabia ya upanuzi wa mafuta ya nyenzo ya substrate inapaswa kuendana na mipako ya SiC ili kupunguza mkazo wa joto.

MUUNDO WA FUWELE WA FILAMU YA CVD SIC

CVD SIC Coating FILAMU MUUNDO WA FUWELE

Tabia za kimwili za mipako ya SiC zinaonyeshwa hasa katika upinzani wake wa joto la juu, ugumu, upinzani wa kutu na conductivity ya mafuta.

Vigezo vya kawaida vya kimwili kawaida ni kama ifuatavyo:

Ugumu: Mipako ya SiC kwa kawaida huwa na Ugumu wa Vickers katika safu ya 2000-2500 HV, ambayo huwapa kuvaa kwa juu sana na upinzani wa athari katika matumizi ya viwandani.

Msongamano: Mipako ya SiC kwa kawaida huwa na msongamano wa 3.1-3.2 g/cm³. Uzito wa juu huchangia nguvu za mitambo na uimara wa mipako.

Conductivity ya joto: Mipako ya SiC ina conductivity ya juu ya joto, kwa kawaida katika kiwango cha 120-200 W / mK (saa 20 ° C). Hii inatoa conductivity nzuri ya mafuta katika mazingira ya joto la juu na inafanya kuwa yanafaa hasa kwa vifaa vya matibabu ya joto katika sekta ya semiconductor.

Kiwango myeyuko: silicon carbide ina kiwango myeyuko cha takriban 2730°C na ina uthabiti bora wa joto katika joto kali.

Mgawo wa Upanuzi wa Joto: Mipako ya SiC ina mgawo wa chini wa mstari wa upanuzi wa joto (CTE), kwa kawaida katika safu ya 4.0-4.5 µm/mK (katika 25-1000℃). Hii ina maana kwamba utulivu wake wa dimensional ni bora juu ya tofauti kubwa za joto.

Upinzani wa kutu: Mipako ya SiC hustahimili kutu katika mazingira ya asidi kali, alkali na vioksidishaji, hasa wakati wa kutumia asidi kali (kama vile HF au HCl), upinzani wake wa kutu unazidi kwa mbali ule wa nyenzo za kawaida za chuma.

SiC mipako maombi substrate

Mipako ya SiC mara nyingi hutumiwa kuboresha upinzani wa kutu, upinzani wa joto la juu, na upinzani wa mmomonyoko wa plasma ya substrate. Substrates za kawaida za maombi ni pamoja na zifuatazo:

Aina ya substrate	Sababu ya maombi	Matumizi ya kawaida
Grafiti	- Muundo wa mwanga, conductivity nzuri ya mafuta - Lakini kuharibiwa kwa urahisi na plasma, inahitaji ulinzi wa mipako ya SiC	Sehemu za chumba cha utupu, boti za grafiti, tray za etching za plasma, nk.
Quartz (Quartz/SiO₂)	- Usafi wa hali ya juu lakini kuharibika kwa urahisi - Mipako huongeza upinzani wa mmomonyoko wa plasma	Sehemu za chumba cha CVD/PECVD
Kauri (kama vile alumina Al₂O₃)	- Nguvu ya juu na muundo thabiti - Mipako inaboresha upinzani wa kutu wa uso	Uwekaji wa vyumba, muundo, nk.
Vyuma (kama vile molybdenum, titani, nk)	- conductivity nzuri ya mafuta lakini upinzani duni wa kutu - Mipako inaboresha utulivu wa uso	Vipengele maalum vya mmenyuko wa mchakato
Mwili wa silicon carbide sintered (SiC wingi)	- Kwa mazingira yenye mahitaji ya juu kwa hali ngumu ya kufanya kazi - Mipako inaboresha zaidi usafi na upinzani wa kutu	Vipengele vya vyumba vya CVD/ALD vya hali ya juu

Bidhaa zilizofunikwa za SiC hutumiwa kwa kawaida katika maeneo yafuatayo ya semiconductor

Bidhaa za mipako ya SiC hutumiwa sana katika usindikaji wa semiconductor, hasa katika joto la juu, kutu ya juu na mazingira yenye nguvu ya plasma. Ifuatayo ni michakato kadhaa kuu ya maombi au nyanja na maelezo mafupi:

Mchakato/uga wa maombi	Maelezo mafupi	Kazi ya Mipako ya Silicon Carbide
Uwekaji wa plasma (Kuchoma)	Tumia gesi zenye florini au klorini kwa kuhamisha muundo	Zuia mmomonyoko wa plasma na uzuie uchafuzi wa chembe na chuma
Uwekaji wa mvuke wa kemikali (CVD/PECVD)	Uwekaji wa oksidi, nitridi na filamu zingine nyembamba	Zuia gesi tangulizi za babuzi na uongeze maisha ya sehemu
Chumba cha uwekaji wa mvuke (PVD).	Mlipuko wa chembe za nishati ya juu wakati wa mchakato wa mipako	Kuboresha upinzani wa mmomonyoko wa udongo na upinzani wa joto wa chumba cha majibu
Mchakato wa MOCVD (kama vile ukuaji wa SiC epitaxial)	Mmenyuko wa muda mrefu chini ya joto la juu na anga ya juu ya hidrojeni yenye babuzi	Dumisha utulivu wa vifaa na kuzuia uchafuzi wa fuwele zinazokua
Mchakato wa matibabu ya joto (LPCVD, usambazaji, annealing, nk)	Kawaida hufanywa kwa joto la juu na utupu / anga	Linda boti za grafiti na trei kutokana na oxidation au kutu
Mbeba kaki/chuck (Ushughulikiaji wa kaki)	Msingi wa grafiti kwa uhamishaji wa kaki au usaidizi	Punguza umwagaji wa chembe na epuka uchafuzi wa mguso
Vipengele vya chumba cha ALD	Kurudia na kwa usahihi kudhibiti utuaji wa safu ya atomiki	Mipako huweka chumba safi na ina upinzani wa juu wa kutu kwa watangulizi

Kwa nini uchague Nishati ya VET?

VET Energy ni mtengenezaji anayeongoza, mvumbuzi na kiongozi wa bidhaa za mipako ya SiC nchini China, bidhaa kuu za mipako ya SiC ni pamoja na.carrier kaki na mipako ya SiC, SiC coatedkiharusi cha epitaxial, SiC iliyofunikwa na pete ya grafiti, Sehemu za nusu mwezi na mipako ya SiC, Mchanganyiko wa kaboni-kaboni wa SiC, Boti ya kaki iliyofunikwa na SiC, SiC coated heater, n.k. VET Energy imejitolea kuipa tasnia ya semicondukta masuluhisho ya mwisho ya teknolojia na bidhaa, na inasaidia huduma za ubinafsishaji. Tunatazamia kwa dhati kuwa mshirika wako wa muda mrefu nchini China.