Que é o revestimento sic?

carburo de silicioé un composto duro que contén silicio e carbono, e atópase na natureza como o mineral extremadamente raro moissanita. As partículas de carburo de silicio pódense unir mediante sinterización para formar cerámicas moi duras, que se usan amplamente en aplicacións que requiren unha alta durabilidade, especialmente na procesamento de semicondutores.

Estrutura física do SiC

Que é o revestimento de SiC?

O revestimento de SiC é un revestimento de carburo de silicio denso e resistente ao desgaste con alta resistencia á corrosión e á calor e excelente condutividade térmica. Este revestimento de SiC de alta pureza úsase principalmente nas industrias de semicondutores e electrónica para protexer os portadores de obleas, as bases e os elementos de calefacción de ambientes corrosivos e reactivos. O revestimento de SiC tamén é axeitado para fornos de baleiro e quecemento de mostras en ambientes de alto baleiro, reactivos e de osíxeno.

Superficie de revestimento de SiC de alta pureza

Que é o proceso de revestimento de SiC?

Deposítase unha fina capa de carburo de silicio sobre a superficie do substrato medianteCVD (Deposición Química en Vapor)A deposición adoita levarse a cabo a temperaturas de 1200-1300 °C e o comportamento de expansión térmica do material do substrato debe ser compatible co revestimento de SiC para minimizar a tensión térmica.

ESTRUTURA CRISTALINA DA PELÍCULA SIC DE CVD

Revestimento CVD SIC ESTRUTURA CRISTALINA DA PELÍCULA

As propiedades físicas do revestimento de SiC reflíctense principalmente na súa resistencia a altas temperaturas, dureza, resistencia á corrosión e condutividade térmica.

Os parámetros físicos típicos adoitan ser os seguintes:

DurezaOs revestimentos de SiC adoitan ter unha dureza Vickers no rango de 2000-2500 HV, o que lles confire unha resistencia ao desgaste e ao impacto extremadamente alta en aplicacións industriais.

DensidadeOs recubrimentos de SiC adoitan ter unha densidade de 3,1-3,2 g/cm³. A alta densidade contribúe á resistencia mecánica e á durabilidade do recubrimento.

Condutividade térmicaOs recubrimentos de SiC teñen unha alta condutividade térmica, normalmente no rango de 120-200 W/mK (a 20 °C). Isto confírelle unha boa condutividade térmica en ambientes de alta temperatura e fainos especialmente axeitados para equipos de tratamento térmico na industria dos semicondutores.

Punto de fusiónO carburo de silicio ten un punto de fusión aproximado de 2730 °C e unha excelente estabilidade térmica a temperaturas extremas.

Coeficiente de expansión térmicaOs recubrimentos de SiC teñen un coeficiente de expansión térmica (CTE) lineal baixo, normalmente no rango de 4,0-4,5 µm/mK (no rango de 25-1000 ℃). Isto significa que a súa estabilidade dimensional é excelente en grandes diferenzas de temperatura.

Resistencia á corrosiónOs revestimentos de SiC son extremadamente resistentes á corrosión en ambientes ácidos, alcalinos e oxidantes fortes, especialmente cando se usan ácidos fortes (como HF ou HCl); a súa resistencia á corrosión supera con creces a dos materiais metálicos convencionais.

Substrato de aplicación de revestimento de SiC

O revestimento de SiC úsase a miúdo para mellorar a resistencia á corrosión, a resistencia ás altas temperaturas e a resistencia á erosión por plasma do substrato. Os substratos de aplicación común inclúen os seguintes:

Tipo de substrato	Motivo da solicitude	Uso típico
Grafito	- Estrutura lixeira, boa condutividade térmica - Pero corroese facilmente co plasma, require protección de revestimento de SiC	Pezas de cámaras de baleiro, barcos de grafito, bandexas de gravado por plasma, etc.
Cuarzo (Cuarzo/SiO₂)	- Alta pureza pero corroíbel facilmente - O revestimento mellora a resistencia á erosión por plasma	Pezas da cámara CVD/PECVD
Cerámica (como a alúmina Al₂O₃)	- Estrutura estable e de alta resistencia - O revestimento mellora a resistencia á corrosión superficial	Revestimento da cámara, accesorios, etc.
Metais (como molibdeno, titanio, etc.)	- Boa condutividade térmica pero baixa resistencia á corrosión - O revestimento mellora a estabilidade da superficie	Compoñentes de reacción de proceso especiais
Corpo sinterizado de carburo de silicio (SiC a granel)	- Para entornos con altos requisitos para condicións de traballo complexas - O revestimento mellora aínda máis a pureza e a resistencia á corrosión	Compoñentes de cámara CVD/ALD de alta gama

Os produtos revestidos de SiC úsanse habitualmente nas seguintes áreas de semicondutores

Os produtos de revestimento de SiC úsanse amplamente no procesamento de semicondutores, principalmente en ambientes de alta temperatura, alta corrosión e plasma forte. A continuación, preséntanse varios procesos ou campos de aplicación principais e breves descricións:

Proceso/campo de solicitude	Breve descrición	Función de revestimento de carburo de silicio
Gravado por plasma (gravado)	Usar gases a base de flúor ou cloro para a transferencia de patróns	Resiste a erosión do plasma e evita a contaminación por partículas e metais
Deposición química de vapor (CVD/PECVD)	Deposición de óxido, nitruro e outras películas delgadas	Resiste os gases precursores corrosivos e aumenta a vida útil dos compoñentes
cámara de deposición física de vapor (PVD)	Bombardeo de partículas de alta enerxía durante o proceso de revestimento	Mellorar a resistencia á erosión e á calor da cámara de reacción
Proceso MOCVD (como o crecemento epitaxial de SiC)	Reacción a longo prazo a altas temperaturas e atmosfera corrosiva con alto contido de hidróxeno	Manter a estabilidade do equipo e evitar a contaminación dos cristais en crecemento
Proceso de tratamento térmico (LPCVD, difusión, recocido, etc.)	Normalmente realízase a alta temperatura e en baleiro/atmosfera	Protexer os barcos e bandexas de grafito da oxidación ou corrosión
Porta-obleas/mandril (Manexo de obleas)	Base de grafito para transferencia ou soporte de obleas	Reducir a liberación de partículas e evitar a contaminación por contacto
Compoñentes da cámara ALD	Control repetido e preciso da deposición da capa atómica	O revestimento mantén a cámara limpa e ten unha alta resistencia á corrosión dos precursores

Por que elixir VET Energy?

VET Energy é un fabricante, innovador e líder líder de produtos de revestimento de SiC na China, entre os que se inclúen os principais produtos de revestimento de SiCsoporte de obleas con revestimento de SiC, revestido de SiCsusceptor epitaxial, Anel de grafito revestido de SiC, Pezas de media lúa con revestimento de SiC, Composto de carbono-carbono revestido de SiC, Barca de obleas revestida de SiC, Quentador revestido de SiC, etc. VET Energy comprométese a proporcionar á industria dos semicondutores a tecnoloxía e as solucións de produtos máis avanzadas, e ofrece servizos de personalización. Agardamos sinceramente ser o seu socio a longo prazo na China.