Sic qoplamasi nima?

Silikon karbidkremniy va uglerodni o'z ichiga olgan qattiq birikma bo'lib, tabiatda juda kam uchraydigan mozanit minerali sifatida uchraydi. Silikon karbid zarralarini sinterlash orqali bir-biriga bog'lab, juda qattiq keramika hosil qilish mumkin, ular yuqori chidamlilikni talab qiladigan ilovalarda, ayniqsa yarimo'tkazgichli ishlov berishda keng qo'llaniladi.

SiC ning fizik tuzilishi

SiC qoplamasi yuqori korroziyaga va issiqlikka chidamliligi va mukammal issiqlik o'tkazuvchanligiga ega bo'lgan zich, aşınmaya bardoshli silikon karbid qoplamasi. Ushbu yuqori toza SiC qoplamasi asosan yarimo'tkazgichlar va elektronika sanoatida gofret tashuvchilarni, asoslarni va isitish elementlarini korroziy va reaktiv muhitdan himoya qilish uchun ishlatiladi. SiC qoplamasi vakuumli pechlar va yuqori vakuumli, reaktiv va kislorodli muhitda namunani isitish uchun ham javob beradi.

Yuqori toza SiC qoplama yuzasi

SiC qoplama jarayoni nima?

Silikon karbidning yupqa qatlami substrat yuzasiga yotqiziladiCVD (kimyoviy bug 'birikishi). Cho'kma odatda 1200-1300 ° S haroratda amalga oshiriladi va substrat materialining termal kengayish harakati termal stressni minimallashtirish uchun SiC qoplamasi bilan mos kelishi kerak.

CVD SIC FILM KRISTAL TUZILISHI

CVD SIC qoplama FILM KRISTAL TUZILISHI

SiC qoplamasining fizik xususiyatlari asosan uning yuqori haroratga chidamliligi, qattiqligi, korroziyaga chidamliligi va issiqlik o'tkazuvchanligida namoyon bo'ladi.

Odatda jismoniy parametrlar quyidagicha:

Qattiqlik: SiC qoplamasi odatda 2000-2500 HV oralig'ida Vickers qattiqligiga ega, bu ularga sanoat ilovalarida juda yuqori aşınma va zarba qarshiligini ta'minlaydi.

Zichlik: SiC qoplamalari odatda 3,1-3,2 g/sm³ zichlikka ega. Yuqori zichlik qoplamaning mexanik kuchi va chidamliligiga hissa qo'shadi.

Issiqlik o'tkazuvchanligi: SiC qoplamalari yuqori issiqlik o'tkazuvchanligiga ega, odatda 120-200 Vt / mK oralig'ida (20 ° C da). Bu yuqori haroratli muhitda yaxshi issiqlik o'tkazuvchanligini beradi va uni yarimo'tkazgich sanoatida issiqlik bilan ishlov berish uskunalari uchun ayniqsa mos qiladi.

Erish nuqtasi: kremniy karbidning erish nuqtasi taxminan 2730 ° C va haddan tashqari haroratlarda mukammal termal barqarorlikka ega.

Issiqlik kengayish koeffitsienti: SiC qoplamalari past chiziqli issiqlik kengayish koeffitsientiga (CTE) ega, odatda 4,0-4,5 mkm/mK (25-1000 ℃ da) oralig'ida. Bu shuni anglatadiki, uning o'lchovli barqarorligi katta harorat farqlarida juda yaxshi.

Korroziyaga qarshilik: SiC qoplamalari kuchli kislota, gidroksidi va oksidlovchi muhitda korroziyaga juda chidamli, ayniqsa kuchli kislotalar (masalan, HF yoki HCl) ishlatilganda, ularning korroziyaga chidamliligi an'anaviy metall materiallardan ancha yuqori.

SiC qoplamasi uchun substrat

SiC qoplamasi ko'pincha substratning korroziyaga chidamliligini, yuqori haroratga chidamliligini va plazma eroziyasiga chidamliligini yaxshilash uchun ishlatiladi. Umumiy qo'llaniladigan substratlar quyidagilarni o'z ichiga oladi:

Substrat turi	Qo'llash sababi	Oddiy foydalanish
Grafit	- Engil tuzilish, yaxshi issiqlik o'tkazuvchanligi - Ammo plazma bilan osongina korroziyaga uchraydi, SiC qoplamali himoya talab qiladi	Vakuum kamerasi qismlari, grafitli qayiqlar, plazma bilan ishlov berish uchun tovoqlar va boshqalar.
Kvarts (Kvars/SiO₂)	- Yuqori tozalik, lekin oson korroziyaga uchraydi - Qoplama plazma eroziyaga chidamliligini oshiradi	CVD/PECVD kamera qismlari
Seramika (masalan, alumina Al₂O₃)	- Yuqori quvvat va barqaror tuzilish - Qoplama sirt korroziyaga chidamliligini yaxshilaydi	Kamera qoplamasi, armatura va boshqalar.
Metalllar (molibden, titan va boshqalar)	- Yaxshi issiqlik o'tkazuvchanligi, lekin zaif korroziyaga chidamliligi - Qoplama sirt barqarorligini yaxshilaydi	Maxsus jarayon reaktsiyasi komponentlari
Silikon karbid sinterlangan korpus (SiC bulk)	- Murakkab ish sharoitlari uchun yuqori talablarga ega bo'lgan muhitlar uchun - Qoplama tozaligi va korroziyaga chidamliligini yanada yaxshilaydi	Yuqori darajadagi CVD/ALD kamerasi komponentlari

SiC bilan qoplangan mahsulotlar odatda quyidagi yarimo'tkazgich sohalarida qo'llaniladi

SiC qoplama mahsulotlari, asosan, yuqori harorat, yuqori korroziya va kuchli plazma muhitida yarimo'tkazgichlarni qayta ishlashda keng qo'llaniladi. Quyida bir nechta asosiy dastur jarayonlari yoki sohalari va qisqacha tavsiflari keltirilgan:

Ariza jarayoni/maydon	Qisqacha tavsif	Silikon karbid qoplamasi funktsiyasi
Plazma bilan qirqish (Etching)	Naqshni uzatish uchun ftor yoki xlorga asoslangan gazlardan foydalaning	Plazma eroziyasiga qarshi turing va zarrachalar va metall ifloslanishini oldini oling
Kimyoviy bug'larning cho'kishi (CVD/PECVD)	Oksid, nitrid va boshqa yupqa plyonkalarning cho'kishi	Korroziv prekursor gazlariga qarshi turing va komponentlarning ishlash muddatini oshiring
Jismoniy bug 'cho'ktirish (PVD) kamerasi	Qoplash jarayonida yuqori energiyali zarrachalarni bombardimon qilish	Reaksiya kamerasining eroziyaga chidamliligi va issiqlikka chidamliligini yaxshilang
MOCVD jarayoni (masalan, SiC epitaksial o'sishi)	Yuqori harorat va yuqori vodorodli korroziy atmosfera ostida uzoq muddatli reaktsiya	Uskunaning barqarorligini saqlang va o'sib borayotgan kristallarning ifloslanishini oldini oling
Issiqlik bilan ishlov berish jarayoni (LPCVD, diffuziya, tavlanish va boshqalar)	Odatda yuqori harorat va vakuum/atmosferada amalga oshiriladi	Grafitli qayiq va tovoqlarni oksidlanish yoki korroziyadan saqlang
Gofret tashuvchi/chuk (gofret bilan ishlov berish)	Gofretni uzatish yoki qo'llab-quvvatlash uchun grafit bazasi	Zarrachalar to'kilishini kamaytiring va kontakt bilan ifloslanishdan saqlaning
ALD kamerasi komponentlari	Atom qatlamining joylashishini takroriy va aniq nazorat qilish	Qoplama kamerani toza saqlaydi va prekursorlarga nisbatan yuqori korroziyaga chidamliligiga ega

Nima uchun VET Energy ni tanlaysiz?

VET Energy Xitoyda SiC qoplama mahsulotlarining etakchi ishlab chiqaruvchisi, innovatori va yetakchisi bo'lib, asosiy SiC qoplama mahsulotlariga kiradi.SiC qoplamali gofret tashuvchisi, SiC bilan qoplanganepitaksial sezgir, SiC bilan qoplangan grafit halqa, SiC qoplamali yarim oy qismlari, SiC bilan qoplangan uglerod-uglerodli kompozit, SiC qoplangan gofretli qayiq, SiC bilan qoplangan isitgich, va hokazo. VET Energy yarimo'tkazgich sanoatini so'nggi texnologiya va mahsulot yechimlari bilan ta'minlashga intiladi va moslashtirish xizmatlarini qo'llab-quvvatlaydi. Biz chin dildan Xitoyda uzoq muddatli hamkoringiz bo'lishni orziqib kutamiz.